安徽AZO陶瓷靶材一般多少錢

來源: 發(fā)布時間:2023-08-14

氧化鈮由于其獨特的物理和化學(xué)性質(zhì)而被廣地應(yīng)用于現(xiàn)代技術(shù)的許多領(lǐng)域。例如,利用其較強(qiáng)的紫外線吸收能力,可將其用作紫外敏感材料的保護(hù)膜;利用其薄膜折射率較高的特性,可與SiO2等配合可制備具有不同折射率的薄膜。由于這些明顯的優(yōu)點,氧化鈮靶材被廣地應(yīng)用于太陽能電池、液晶顯示器、離子顯示器、收集觸屏、光學(xué)玻璃、氣體傳感器等眾多領(lǐng)域。隨著科技的不斷發(fā)展以及應(yīng)用領(lǐng)域的不斷延伸,氧化鈮靶材的需求量也不斷增大。目前,市場上使用的多的是氧化鈮平面靶材,大都采用真空熱壓法來制備。但是采用該方法,氧化鈮靶坯厚度較大,加工過程中需要通過機(jī)加工剖片工藝加工達(dá)到所需的厚度要求。冷等靜壓法制備ITO靶材優(yōu)點。安徽AZO陶瓷靶材一般多少錢

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制備一種同質(zhì)雙層氧化鉿減反膜,屬于光學(xué)薄膜技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明在透明或半透明基底上依次沉積高折射率的致密氧化鉿層和低折射率的多孔氧化鉿層。兩層氧化鉿的折射率由電子束蒸鍍的入射角度控制,厚度根據(jù)基底不同而調(diào)節(jié)。本發(fā)明采用電子束蒸鍍方法,并且雙層減反膜由同種材料制成,制備成本低、效率高。該雙層氧化鉿減反膜對于可見光范圍內(nèi)的多角度入射光均具有很好的減反增透能力,可用于降低窗板、觸屏電極或液晶顯示屏等表面的反射,具有廣的應(yīng)用前景。中國香港陶瓷靶材咨詢報價薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)是當(dāng)前的主流平面顯示技術(shù)。

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靶材是制備薄膜的主要材料之一,主要應(yīng)用于集成電路、平板顯示、太陽能電池、記錄媒體、智能玻璃等,對材料純度和穩(wěn)定性要求高。濺射靶材的工作原理:濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一,它利用離子源產(chǎn)生的離子,在真空中經(jīng)過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體即為濺射靶材。靶材發(fā)展趨勢是:高濺射率、晶粒晶向控制、大尺寸、高純金屬。

ITO陶瓷靶材在磁控濺射過程中,靶材表面受到Ar轟擊和被濺射原子再沉積的多重作用而發(fā)生復(fù)雜的物理化學(xué)變化,ITO靶材表面會產(chǎn)生許多小的結(jié)瘤,這個現(xiàn)象被稱為ITO靶材的毒化現(xiàn)象。靶材結(jié)瘤毒化后.靶材的濺射速率降低,孤光放電頻率增加,所制備的薄膜電阻增加,透光率降低且均一性變差,此時必須停止濺射,清理靶材表面或更換靶材,這嚴(yán)重降低濺射鍍膜效率。目前對于結(jié)瘤形成機(jī)理尚未有統(tǒng)一定論,如孔偉華研究了不同密度ITO陶瓷材磁控射后的表面形貌,認(rèn)為結(jié)瘤是In2O3、分解所致,導(dǎo)電導(dǎo)熱性能不好的In2O3又成為熱量聚集的中心,使結(jié)瘤進(jìn)一步發(fā)展;姚吉升等研究了結(jié)瘤物相組成及化學(xué)組分,認(rèn)為結(jié)瘤是偏離了化學(xué)計量的ITO材料在靶材表面再沉積的結(jié)果;Nakashima等采用In2O3和SnO2,的混合粉末制備ITO靶材,研究了SnO2,分布狀態(tài)對靶材表面結(jié)瘤形成速率的影響,認(rèn)為低濺射速率的SnO2,在ITO靶材中的不均勻分布是結(jié)瘤的主要原因。盡管結(jié)瘤機(jī)理尚不明確,但毋庸置疑的是,結(jié)瘤的產(chǎn)生嚴(yán)重影響ITO陶瓷靶材的濺射性能,因此,對結(jié)瘤的形成機(jī)理進(jìn)行深入研究具有重要意義。透明導(dǎo)電薄膜的種類很多,主要有 ITO,TCO,AZO 等,其中 ITO的性能比較好。

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濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。 濺射靶材有金屬,合金,陶瓷化合物等。從整體上看,ITO在光電綜合性能上高于AZO靶材,但AZO靶材的優(yōu)勢或?qū)榘胁膸斫当究臻g。河南氧化鋅陶瓷靶材市場價

ITO靶材中氧化銦:氧化錫的配比分為90:10,93:7,95:5, 97:3, 99:1。安徽AZO陶瓷靶材一般多少錢

陶瓷靶材的制備工藝烘料:稱量前將起始原料置于烘箱中烘料3~6小時,烘料溫度為100~120℃;配料:將烘干的原料按照相應(yīng)的化學(xué)計量比稱量;球磨:將稱量好的原料以某種制備方式混料,混料時間為4~12小時,制成均勻漿料;干燥:將制得的均勻漿料烘干;煅燒:將烘干的粉料過篩并輕壓成塊狀坯體置于馬弗爐中,在800~950℃煅燒4~8小時,制成煅燒粉料;球磨:將煅燒后的粉料研磨成細(xì)粉,再次球磨、烘干得到陶瓷粉料;制坯:將制成的陶瓷粉料采用鋼模手壓成直徑5~20mm、厚度約0.5~1.2mm的樣片,將樣片放入冷等靜壓機(jī)中,施加200~350MPa的壓力,保壓60~180s,制成所得陶瓷坯體;燒結(jié):將制成的陶瓷坯體置于馬弗爐中,在1100~1200℃燒結(jié)4~6小時;冷卻:自然冷卻至室溫,即制得某種陶瓷靶材.注:提供的溫度、時間只當(dāng)做參考數(shù)據(jù).陶瓷靶材的特性要求純度:陶瓷靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大,純度越高,濺射薄膜的均勻性和批量產(chǎn)品的質(zhì)量的一致性越好.密度:為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度.成分與結(jié)構(gòu)均勻性:為保證濺射薄膜均勻,尤其在復(fù)雜的大面積鍍膜應(yīng)用中,必須做到靶材成分與結(jié)構(gòu)均勻性好.安徽AZO陶瓷靶材一般多少錢

江蘇迪納科精細(xì)材料股份有限公司是我國濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材專業(yè)化較早的私營股份有限公司之一,公司位于南京市江寧區(qū)芳園西路10號九龍湖國際企業(yè)園創(chuàng)新中心A座8層,成立于2011-07-22,迄今已經(jīng)成長為電子元器件行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。公司主要提供2011年成立,一直專注于PVD磁控濺射靶材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、應(yīng)用推廣以及靶材回收再利用。產(chǎn)品涵蓋陶瓷靶材、高純金屬靶材、合金靶材、貴金屬靶材、等離子噴涂靶材、蒸發(fā)鍍顆粒及高純陶瓷粉末。20年專注專業(yè),1站式靶材供應(yīng)。等領(lǐng)域內(nèi)的業(yè)務(wù),產(chǎn)品滿意,服務(wù)可高,能夠滿足多方位人群或公司的需要。將憑借高精尖的系列產(chǎn)品與解決方案,加速推進(jìn)全國電子元器件產(chǎn)品競爭力的發(fā)展。

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