適宜的存儲環(huán)境:應(yīng)將鎳靶材存放在干燥、陰涼、通風(fēng)良好的環(huán)境中。避免高濕度和極端溫度,因為這些條件可能導(dǎo)致材料氧化或其他化學(xué)變化。防止污染:存儲鎳靶材時,應(yīng)避免與其他化學(xué)品或污染源直接接觸,以防止表面污染或化學(xué)反應(yīng)。防塵措施:在存儲和搬運過程中,需保持環(huán)境的潔凈,避免塵埃和顆粒物沉積在靶材表面,這些顆??赡苡绊懫湓跒R射過程中的性能。包裝和防護:使用原廠包裝或適當(dāng)?shù)姆雷o材料(如防靜電袋)進行封裝,保護鎳靶材不受物理損傷或環(huán)境影響。定期檢查:定期檢查鎳靶材的狀態(tài),特別是在長期存儲后。檢查是否有氧化、變色或其他形式的退化。正確搬運:在搬運鎳靶材時,應(yīng)小心輕放,避免跌落或撞擊,因為物理損傷可能影響材料的結(jié)構(gòu)和性能。使用后的處理:使用過的鎳靶材應(yīng)根據(jù)其化學(xué)和物理狀態(tài)妥善處理。如果有可回收價值,應(yīng)考慮回收再利用。對靶材進行表面處理可以提高其性能,例如提高耐腐蝕性或改變表面的電學(xué)特性。江蘇靶材推薦廠家
不過在實際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。安徽氧化鋅靶材磁光盤需要的TbFeCo合金靶材還在進一步發(fā)展。
四、應(yīng)用建議:1.觸摸屏和顯示器:-在制備觸摸屏和液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管(OLED)等顯示設(shè)備的透明導(dǎo)電膜(TCF)時,建議使用高純度、粒度細小的ITO靶材以獲得良好的透明度和電導(dǎo)率。-控制濺射功率和基板溫度,可以優(yōu)化膜層的均勻性和附著力。2.光伏組件:-對于太陽能電池,如薄膜太陽能電池,使用ITO靶材可以增加電池的光電轉(zhuǎn)換效率。-建議使用低溫濺射工藝,避免高溫對光伏材料的潛在損傷。3.光電器件:-在LED和激光二極管等光電器件中,ITO薄膜作為電流擴散層或者抗反射層。-為了提高器件性能,應(yīng)選擇電導(dǎo)率和透光率均衡的ITO靶材,并優(yōu)化濺射參數(shù)以降低薄膜的光學(xué)損耗。4.傳感器:-在氣體傳感器、生物傳感器等領(lǐng)域,ITO薄膜常用于制作敏感層或電極。-建議根據(jù)傳感器的敏感性要求選擇合適的靶材,并在制備過程中嚴格控制靶材的純度和厚度。5.防靜電涂層和電磁屏蔽:-ITO薄膜的導(dǎo)電性使其成為電子設(shè)備防靜電干擾和電磁屏蔽的理想材料。-應(yīng)考慮薄膜的導(dǎo)電性與透明度之間的平衡,并選擇適合的靶材以滿足不同環(huán)境的需求。結(jié)合ITO靶材的性能參數(shù)和具體應(yīng)用場景,對濺射工藝進行優(yōu)化。
化學(xué)特性化學(xué)穩(wěn)定性:碳化硅在多數(shù)酸性和堿性環(huán)境中都顯示出極好的化學(xué)穩(wěn)定性,這一特性是制造過程中重要的考量因素,確保了長期運行的可靠性和穩(wěn)定性。耐腐蝕性:碳化硅能夠抵抗多種化學(xué)物質(zhì)的腐蝕,包括酸、堿和鹽。這使得碳化硅靶材在化學(xué)蝕刻和清潔過程中,能夠保持其完整性和功能性。光電特性寬帶隙:碳化硅的帶隙寬度約為3.26eV,比傳統(tǒng)的硅材料大得多。寬帶隙使得碳化硅器件能在更高的溫度、電壓和頻率下工作,非常適合用于高功率和高頻率的電子器件。高電子遷移率:碳化硅的電子遷移率高,這意味著電子可以在材料內(nèi)部更快速地移動。這一特性提高了電子器件的性能,尤其是在功率器件和高頻器件中,可以***提升效率和響應(yīng)速度。靶材,也稱為濺射靶材,是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。
在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),永久磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。金屬靶材以其高導(dǎo)電性和熱導(dǎo)性著稱,常用于半導(dǎo)體和電子工業(yè)。AZO靶材
此過程包括粉碎、混合、壓制成形和燒結(jié),以形成均勻和緊密的靶材。江蘇靶材推薦廠家
基于鍺銻碲化物的相變存儲器(PCM)顯示出***的商業(yè)化潛力,是NOR型閃存和部分DRAM市場的一項替代性存儲器技術(shù),不過,在實現(xiàn)更快速地按比例縮小的道路上存在的挑戰(zhàn)之一,便是缺乏能夠生產(chǎn)可進一步調(diào)低復(fù)位電流的完全密閉單元。降低復(fù)位電流可降低存儲器的耗電量,延長電池壽命和提高數(shù)據(jù)帶寬,這對于當(dāng)前以數(shù)據(jù)為中心的、高度便攜式的消費設(shè)備來說都是很重要的特征。TbFeCo/AI結(jié)構(gòu)的Kerr旋轉(zhuǎn)角達到58,而TbFeCofFa則可以接近0.8。經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn),低磁導(dǎo)率的靶材高交流局部放電電壓l抗電強度。江蘇靶材推薦廠家