氬氣作為一種保護(hù)氣體包圍在單晶硅和多晶硅的液面周圍,可以保護(hù)單晶硅和多晶硅不被氧化。
氬氣是一種單原子氣體,以原子狀 態(tài)存在,在高溫下沒(méi)有分子分解或原子吸熱的現(xiàn)象。氬氣的比熱容和熱傳導(dǎo)能力小,即本身吸 收量小,向外傳熱也少,所以氬氣的存在還可以減少熱能的散失,起到節(jié)能的作用。不僅如此 ,由于氬氣在單晶爐內(nèi)是流動(dòng)的,所以還可以帶走硅液中的揮發(fā)物,以及高溫下的其他部位的揮發(fā)物,這樣一來(lái),就可以防止單晶硅或多晶硅液被沾污,而影響單晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量。另外,氬氣從上而下形成均勻的層流從晶體表面掠過(guò),可以帶走結(jié)晶潛熱,從而可以保證單晶硅正常生長(zhǎng)。單晶硅氬氣用量一般是多晶硅的4倍,單晶逐步替代多晶,需求大量氬氣。因此,氬氣回收系統(tǒng)成為單晶硅廠家的方案。 想要提高產(chǎn)能,選擇氬氣回收裝置是明智的選擇。廣東氬氣回收裝置價(jià)格
將氬氣尾氣過(guò)濾除雜質(zhì)灰塵后輸送至氬回收系統(tǒng),在回收工藝中采用壓力檢測(cè)裝置,避免造成拉晶爐設(shè)備的氬氣排放口出現(xiàn)超壓,影響到車間設(shè)備的生產(chǎn)。排放口的壓力根據(jù)買方的需要,保持微正壓或微負(fù)壓狀態(tài),以免影響客戶拉晶爐的其主要部件有:1.安裝在尾氣總管道上的壓力傳感器:根據(jù)買方需求,監(jiān)測(cè)管道內(nèi)的壓力。2.放空閥:當(dāng)管道壓力超壓時(shí)放空,維持單晶爐排氣壓力不超高。3.自潔式尾氣過(guò)濾器:一開(kāi)一備設(shè)計(jì),做到在更換濾芯時(shí)不停氣。除塵裝置設(shè)置差壓監(jiān)測(cè)和自動(dòng)反吹功能。4.尾氣風(fēng)機(jī):一開(kāi)一備設(shè)計(jì),當(dāng)某臺(tái)風(fēng)機(jī)故障時(shí),切換至備機(jī)啟動(dòng),確保管道內(nèi)壓力穩(wěn)定。主管道有壓力檢測(cè),當(dāng)壓力超過(guò)C值時(shí)報(bào)警(C值可調(diào)),并自動(dòng)轉(zhuǎn)換到放空側(cè)重慶純化撬塊真空爐氬氣回收裝置,科技之光,照亮環(huán)保之路。
每年應(yīng)檢查一次夾層真空度,若真空度低于60pa,則應(yīng)對(duì)夾層進(jìn)行抽空。注于光伏、半導(dǎo)體領(lǐng)域的尾排廢氣回收主營(yíng)產(chǎn)品為光伏、半導(dǎo)體拉晶生產(chǎn)中的氬氣回收裝置。氣體回收成套解決方案供應(yīng)商氬氣回收裝置:尾氣成分實(shí)地檢測(cè),設(shè)備出廠檢驗(yàn),變頻儀控,全無(wú)油壓縮機(jī),壓縮整體撬塊,高性能純化設(shè)備多元化:我司可提供的氬氣回收服務(wù)種類較多,選擇靈活,滿足不多的場(chǎng)地需求。我們有產(chǎn)品化設(shè)備(200-600Nm3/h)、定制化設(shè)備(≥800Nm3/h)等。安全可靠:全程無(wú)油,無(wú)氫氣等易燃易爆化學(xué)品,也不會(huì)產(chǎn)生有毒有害物質(zhì)。配置多種分析儀,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)回收氣體品質(zhì)。專業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì):我司擁有強(qiáng)大的服務(wù)團(tuán)隊(duì)包括:項(xiàng)目管理團(tuán)隊(duì)、設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)質(zhì)量管控團(tuán)隊(duì)、施工團(tuán)隊(duì)、現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試團(tuán)隊(duì)、售后團(tuán)隊(duì)。
冷箱本系統(tǒng)的作用是去除氬氣中的氮?dú)猓瑲錃?,一氧化碳等雜質(zhì);
1.板式換熱器:將低溫精餾后的產(chǎn)品氬氣及廢氣通過(guò)換熱器進(jìn)行冷量回收并使粗氬氣溫度從常溫降溫至工況所需的溫度(-157℃);
2.精餾塔主塔:利用低溫精餾的原理,在主塔頂部蒸發(fā)器得到5N標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品氬氣
3.精餾塔II塔:從主塔頂部引出一股廢氣,由于廢氣中含有大量的氬組分。
氣柜是用于貯存各種氬氣氣體,平衡氣體需用量的不均勻性的一種容器設(shè)備氬氣雙膜氣柜由內(nèi)外兩層薄膜組成,中間充滿了壓縮空氣。當(dāng)單晶爐產(chǎn)生的廢氣進(jìn)入雙膜氣柜時(shí),它會(huì)壓縮和儲(chǔ)存起來(lái),雙膜氣柜主要由底膜、內(nèi)膜、外膜、恒壓控制柜、安全保護(hù)器及一些控制設(shè)備和輔助材料組成。其工作原理如下:底膜、內(nèi)膜和外膜共同形成兩個(gè)空間。內(nèi)膜與底膜之間形成容量可變的氣密空間,用于儲(chǔ)存沼氣。充氣外膜形成球形保護(hù)外殼,外膜與內(nèi)膜夾層之間的空間作為壓力調(diào)節(jié)空間,以保持壓力平衡。利用外膜進(jìn)氣鼓風(fēng)機(jī)恒壓,當(dāng)內(nèi)膜氣量減少時(shí),氣柜壓力下降,外膜通過(guò)鼓風(fēng)機(jī)補(bǔ)充空氣到內(nèi)外膜之間,保持內(nèi)膜氣體的設(shè)計(jì)壓力。當(dāng)氣量增加時(shí),氣柜壓力上升,夾層內(nèi)多余空氣會(huì)排出,使內(nèi)膜氣體壓力始終恒定在一個(gè)需要的設(shè)計(jì)壓力。 氣體回收新技術(shù),綠色生產(chǎn)新潮流。
安裝氬氣回收裝置時(shí),需要注意以下安全問(wèn)題:確保裝置的安裝位置符合安全要求,遠(yuǎn)離火源、高溫和潮濕的環(huán)境。同時(shí),確保裝置安裝在容易操作和監(jiān)控的位置,以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理任何潛在的安全問(wèn)題。在安裝過(guò)程中,應(yīng)遵循制造商的指導(dǎo)手冊(cè)和安全規(guī)定,確保裝置的正確安裝和安全運(yùn)行。在安裝過(guò)程中,應(yīng)檢查氬氣回收裝置的所有部件是否完好無(wú)損,確保沒(méi)有損壞或缺陷。特別是對(duì)于一些關(guān)鍵部件,如壓力容器、閥門、管道等,應(yīng)進(jìn)行嚴(yán)格的檢查和測(cè)試,確保其安全可靠。在安裝過(guò)程中,應(yīng)注意電氣連接的安全性。確保電線和電纜連接正確、牢固,避免出現(xiàn)漏電、短路等現(xiàn)象。同時(shí),應(yīng)確保裝置的接地良好,以防止靜電和電火花引起的火災(zāi)。在安裝過(guò)程中,應(yīng)遵循安全操作規(guī)程,特別是在處理氬氣時(shí)。應(yīng)確保氬氣的純度和質(zhì)量符合要求,避免出現(xiàn)泄漏和混入其他氣體的情況。同時(shí),應(yīng)遵循操作規(guī)程,避免出現(xiàn)誤操作或違規(guī)操作等現(xiàn)象。在安裝過(guò)程中,應(yīng)注意人員的安全。操作人員應(yīng)佩戴適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)裝備,如手套、眼睛保護(hù)器、呼吸器等,以防止氬氣泄漏、化學(xué)物質(zhì)侵蝕、高溫等對(duì)人體的危害。在裝置運(yùn)行過(guò)程中,應(yīng)定期進(jìn)行維護(hù)和檢查,確保裝置的安全可靠和長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。對(duì)于一些關(guān)鍵部件。靈活安裝,適應(yīng)各種生產(chǎn)線,氬氣回收裝置為您量身打造。低溫氫氣純化器真空爐
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罐裝氬氣的使用1氬氣儲(chǔ)罐在生產(chǎn)、運(yùn)輸、貯存、使用過(guò)程中,應(yīng)遠(yuǎn)離火源,嚴(yán)格禁止野蠻使用、撞擊,不可傾倒使用。2氬氣儲(chǔ)罐在使用過(guò)程中,堵塞不出氣時(shí),嚴(yán)禁用工具拆卸,應(yīng)及時(shí)報(bào)告直接上級(jí)處理。3在夏季炎熱季節(jié),儲(chǔ)罐應(yīng)保存在陰涼處,不可在烈日下暴曬,以免升壓,如環(huán)境溫度超過(guò)50℃,應(yīng)用涼水降溫。4嚴(yán)禁用焊槍焊切儲(chǔ)罐、鉆孔等危險(xiǎn)作業(yè)。5每罐氬氣使用后,必須保證罐內(nèi)有余壓保異常情況操作;1.如果在沖液或使用結(jié)束后需關(guān)閉閥門而閥門被凍死時(shí),可用水沖將其解凍;2.罐內(nèi)壓力異常升高,應(yīng)減少增壓閥的開(kāi)啟度和升壓調(diào)節(jié)閥的啟動(dòng)壓力,若無(wú)效應(yīng)取下升壓調(diào)節(jié)閥進(jìn)行維修;3.罐內(nèi)壓力異常升高,應(yīng)關(guān)閉液體出液閥,打開(kāi)氣體出氣閥來(lái)調(diào)節(jié)罐內(nèi)壓力或打開(kāi)排空閥排空使罐內(nèi)壓力達(dá)到使用安全要求廣東氬氣回收裝置價(jià)格