柳州日立掃描電鏡制造商

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-04-20

真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類,機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲長(zhǎng)筒械具的掃描電鏡的真空要求,但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射長(zhǎng)筒械具或六硼化鑭及六硼化鈰長(zhǎng)筒械具的掃描電鏡,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室,用于放置樣品。需要真空的原因包括:一是電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成象的電子更多。掃描電鏡普遍應(yīng)用于構(gòu)造地質(zhì)領(lǐng)域的研究。柳州日立掃描電鏡制造商

掃描電鏡試樣制備技術(shù):塊狀試樣制備:導(dǎo)電性材料:主要是指金屬,一些礦物和半導(dǎo)體材料也具有一定的導(dǎo)電性。這類材料的試樣制備較為簡(jiǎn)單。只要使試樣大小不得超過(guò)儀器規(guī)定(如試樣直徑較大為φ25mm,較厚不超過(guò)20mm等),然后用雙面膠帶粘在載物盤,再用導(dǎo)電銀漿連通試樣與載物盤(以確保導(dǎo)電良好),等銀漿干了(一般用臺(tái)燈近距離照射10分鐘,如果銀漿沒(méi)干透的話,在蒸金抽真空時(shí)將會(huì)不斷揮發(fā)出氣體,使得抽真空過(guò)程變慢)之后就可放到掃描電鏡中直接進(jìn)行觀察。非導(dǎo)電性材料:試樣的制備也比較簡(jiǎn)單,基本可以像導(dǎo)電性塊狀材料試樣的制備一樣,但是要注意的是在涂導(dǎo)電銀漿的時(shí)候一定要從載物盤一直連到塊狀材料試樣的上表面,因?yàn)橛^察時(shí)候電子束是直接照射在試樣的上表面的。安順日本電子掃描電鏡多少錢一臺(tái)掃描電鏡儀器放大倍數(shù)變化范圍大。

鎢(W)燈絲掃描電鏡:價(jià)錢較便宜使用較普遍的是鎢燈絲,以熱發(fā)射(Thermionization)式來(lái)發(fā)射電子,電子能量散布為2eV,鎢的功函數(shù)約為4.5eV,鎢燈絲系一直徑約100μm,彎曲成V形的細(xì)線,操作溫度約2700K,電流密度為1.75A/cm2,在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小,使用壽命約為40~80小時(shí)。熱發(fā)射方式電子長(zhǎng)筒械具工作原理:鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲都是熱發(fā)射方式的電子長(zhǎng)筒械具,此類掃描電鏡對(duì)真空度要求不如場(chǎng)發(fā)射的高,一般不需要配離子泵。它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子長(zhǎng)筒械具材料的功函數(shù)(workfunction)能障而逃離。對(duì)發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù),但因操作電子長(zhǎng)筒械具時(shí)均希望能以較低的溫度來(lái)操作,以減少材料的揮發(fā),所以在操作溫度不提高的狀況下,就需采用低功函數(shù)的材料來(lái)提高發(fā)射電流密度。對(duì)于鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲作為陰極材料的熱發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具,束斑尺寸增加,束斑電流增大,圖像信噪比提高,但分辨率相對(duì)較低。

SEM的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子,次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說(shuō)與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級(jí)電子由探測(cè)體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào),再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。分辨率高,放大倍數(shù)范圍廣,可以從幾倍到幾十萬(wàn)倍,連續(xù)可調(diào),便于尋找缺陷并建立微觀形貌和宏觀形貌之間的聯(lián)系;景深大,有很強(qiáng)的立體感,適于觀察像斷口那樣粗糙的表面;加配能譜儀和波譜儀后,可同時(shí)進(jìn)行成分分析。掃描電鏡普遍應(yīng)用于化學(xué)領(lǐng)域的微觀研究。

冷場(chǎng)發(fā)射式掃描電鏡典型特點(diǎn):在工作5-10分鐘后,頭部就會(huì)覆蓋一單層氣體。然后發(fā)射源會(huì)穩(wěn)定一段時(shí)間,新設(shè)備大概2小時(shí),較成熟的設(shè)備大概8小時(shí)。通常設(shè)備在工作了8-12小時(shí)后自動(dòng)提示做flash還原。因?yàn)槔鋱?chǎng)方式對(duì)真空度要求是所有掃描電鏡中較高的,因此為了保證足夠的真空度,冷場(chǎng)掃描電鏡的樣品室往往都比較小。因冷場(chǎng)的電子束流較小,同時(shí)穩(wěn)定性相對(duì)較差,因此這較大限定了冷場(chǎng)掃描的擴(kuò)展分析功能,通常情況下冷場(chǎng)掃描電鏡只能做能譜擴(kuò)展分析,無(wú)法實(shí)現(xiàn)波譜、EBSD、動(dòng)態(tài)拉伸等擴(kuò)展分析功能。掃描電鏡景深大、分辨率高。廣州掃描電鏡批發(fā)

掃描電鏡成像直觀、立體感強(qiáng)。柳州日立掃描電鏡制造商

掃描電鏡基本知識(shí):在材料領(lǐng)域中,掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著極其重要的作用,被普遍應(yīng)用于各種材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能預(yù)測(cè)等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過(guò)程,可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實(shí)邊界,也可以觀察在不同條件下邊界移動(dòng)的方式,還可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等。掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分。鏡體部分由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集和顯示系統(tǒng)以及真空抽氣系統(tǒng)組成。柳州日立掃描電鏡制造商

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