掃描電鏡基本原理：掃描電鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個(gè)微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時(shí)間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用較普遍,分辨本領(lǐng)較高的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。掃描電鏡是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。廣西臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用
因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r(shí)記錄的,它是分解為近百萬個(gè)逐次依此記錄構(gòu)成的,因而使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外,還能進(jìn)行成分和元素的分析,以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,選區(qū)尺寸可以從10μm到2μm。由于掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能,所以越來越受到科研人員的重視,用途日益普遍。掃描電鏡已普遍用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。廣西臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用掃描電鏡可測(cè)樣品種類豐富。
掃描電鏡：衍射襯度：衍射襯度是來源于晶體試樣各部分滿足布拉格反射條件不同和結(jié)構(gòu)振幅的差異。例如電壓一定時(shí)，入射束強(qiáng)度是一定的，假為L(zhǎng)，衍射束強(qiáng)度為ID。在忽略吸收的情況下，透射束為L(zhǎng)-ID。這樣如果只讓透射束通過物鏡光闌成像，那么就會(huì)由于樣品中各晶面或強(qiáng)衍射或弱衍射或不衍射，導(dǎo)致透射束相應(yīng)強(qiáng)度的變化，從而在熒光屏上形成襯度。形成襯度的過程中，起決定作用的是晶體對(duì)電子束的衍射。SEM制樣對(duì)樣品的厚度沒有特殊要求，可以采用切、磨、拋光或解理等方法將特定剖面呈現(xiàn)出來，從而轉(zhuǎn)化為可以觀察的表面。這樣的表面如果直接觀察，看到的只有表面加工損傷，一般要利用不同的化學(xué)溶液進(jìn)行擇優(yōu)腐蝕，才能產(chǎn)生有利于觀察的襯度。不過腐蝕會(huì)使樣品失去原結(jié)構(gòu)的部分真實(shí)情況，同時(shí)引入部分人為的干擾，對(duì)樣品中厚度極小的薄層來說，造成的誤差更大。
掃描電鏡應(yīng)用范圍：在大視場(chǎng)、低放大倍數(shù)下觀察樣品。用掃描電鏡觀察試樣的視場(chǎng)大。在掃描電鏡中,能同時(shí)觀察試樣的視場(chǎng)范圍F由下式來確定:F=L/M，式中F——視場(chǎng)范圍;M——觀察時(shí)的放大倍數(shù);L——顯象管的熒光屏尺寸。若掃描電鏡采用30cm(12英寸)的顯象管,放大倍數(shù)15倍時(shí),其視場(chǎng)范圍可達(dá)20mm。大視場(chǎng)、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對(duì)有些領(lǐng)域是很必要的,如刑事偵察和考古。進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察。放大倍數(shù)的可變范圍很寬,且不用經(jīng)常對(duì)焦。掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍,從低倍到高倍連續(xù)觀察,不用重新聚焦,這對(duì)進(jìn)行事故分析特別方便。掃描電鏡普遍應(yīng)用于地球化學(xué)領(lǐng)域的研究。
電源系統(tǒng)：電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。掃描電鏡由電子長(zhǎng)筒械具發(fā)射出來的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5nm，經(jīng)過二至三個(gè)電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束會(huì)聚成一個(gè)細(xì)的電子束聚焦在樣品表面。在末級(jí)透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用，結(jié)果產(chǎn)生了各種信息：二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等。這些信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流是與顯像管相應(yīng)的亮度一一對(duì)應(yīng)，也就是說，電子束打到樣品上一點(diǎn)時(shí)，在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個(gè)亮點(diǎn)。掃描電鏡就是這樣采用逐點(diǎn)成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序，成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào)，完成一幀圖像，從而使我們?cè)跓晒馄辽嫌^察到樣品表面的各種特征圖像。掃描電鏡在電子掃描中,把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做幀掃描或稱作垂直掃描。廣西臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用
掃描電鏡成像立體效果好。廣西臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用
掃描電鏡對(duì)樣品的要求：四無(無磁、無毒、無污染、無放射性)，三有(具有穩(wěn)定性、干燥性、導(dǎo)電性)，兩不(不發(fā)光、非高溫）。盡量保持樣品原始的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)。顆?；蚍勰?shù)量要適中，避免團(tuán)聚;塊狀樣品體積要控制在120mm×80mm×50mm以內(nèi)、高度限制在5～10mm左右。測(cè)試的整個(gè)流程要注意清潔。為降低樣品污染程度，可事先用酒精或超聲波清洗。觀察成分相的樣品表面應(yīng)盡量光滑，高度差異不可太大，必要時(shí)需精細(xì)拋光。待測(cè)面為錐狀、似錐狀或有明顯棱角、尖角等的突兀狀樣品無法測(cè)試。同樣，樣品底面因不平整而阻礙導(dǎo)電處理的樣品需要磨平。廣西臺(tái)式掃描電鏡費(fèi)用
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