真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類,機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲長(zhǎng)筒械具的掃描電鏡的真空要求,但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射長(zhǎng)筒械具或六硼化鑭及六硼化鈰長(zhǎng)筒械具的掃描電鏡,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室,用于放置樣品。需要真空的原因包括:一是電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成象的電子更多。掃描電鏡普遍應(yīng)用于油氣地質(zhì)領(lǐng)域的研究。韶關(guān)臺(tái)式掃描電鏡怎么樣
肖特基發(fā)射式掃描電鏡的操作溫度為1800K,它是在鎢(100)單晶上鍍ZrO覆蓋層,ZrO將功函數(shù)從純鎢的4.5eV降至2.8eV,而外加高電場(chǎng)更使電位障壁變窄變低,使得電子很容易以熱能的方式跳過(guò)能障(并非穿隧效應(yīng)),逃出針尖表面,所需真空度約10-8~10-9torr。其發(fā)射電流穩(wěn)定度佳,而且發(fā)射的總電流也大。而其電子能量散布很小,但稍遜于冷場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具。其電子源直徑比冷式大,所以影像分辨率也比冷場(chǎng)發(fā)射式稍差一點(diǎn)。由于ZrO一直是覆在燈絲上的,因此肖特基的束流非常穩(wěn)定,但較終ZrO耗盡時(shí),燈絲的壽命也就到了,一般在2-3年。韶關(guān)日立分析儀器掃描電鏡的廠家有哪些掃描電鏡普遍應(yīng)用于沉積學(xué)領(lǐng)域的研究。
掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管(顯像管)上,并由照相機(jī)拍照記錄。顯像管有兩個(gè),一個(gè)用來(lái)觀察,分辨率較低,是長(zhǎng)余輝的管子;另一個(gè)用來(lái)照相記錄,分辨率較高,是短余輝的管子。真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng):掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵組成,其作用是使鏡筒內(nèi)達(dá)到10的真空度。電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。掃描電鏡:掃描電鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌,形態(tài)圖像(二次電子探測(cè)器SEI)-形貌分析(表面幾何形態(tài),形狀,尺寸)。顯示化學(xué)成分的空間變化,基于化學(xué)成分的相鑒定---化學(xué)成分像分布,微區(qū)化學(xué)成分分析。
掃描電鏡襯度像:二次電子像:在入射電子束作用下被轟擊出來(lái)并離開(kāi)樣品表面的核外電子叫做二次電子。這是一種真空中的自由電子。二次電子一般都是在表層5~10nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來(lái)的,它對(duì)樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效地顯示樣品的表面形貌。二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒(méi)有明顯的依賴關(guān)系,所以不能用它來(lái)進(jìn)行成分分析。背散射電子像:背散射電子是被固體樣品中的原子核反彈回來(lái)的一部分入射電子,背散射電子來(lái)自樣品表層幾百納米的深度范圍。由于它的產(chǎn)能隨樣品原子序數(shù)增大而增多,所以不但能用作形貌分析,而且可以用來(lái)顯示原子序數(shù)襯度,定性地用作成分分析。背散射電子信號(hào)強(qiáng)度要比二次電子低的多,所以粗糙表面的原子序數(shù)襯度往往被形貌襯度所掩蓋。掃描電鏡可以進(jìn)行材料斷口的分析。
掃描電鏡主要是觀察物體的表面形貌,能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),也可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察,樣品制備過(guò)程簡(jiǎn)單。掃描電鏡有普通掃描電鏡、分析型掃描電鏡和場(chǎng)發(fā)射長(zhǎng)筒械具掃描電鏡。掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的人射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。掃描電鏡普遍應(yīng)用于礦床學(xué)領(lǐng)域的研究。韶關(guān)日立分析儀器掃描電鏡的廠家有哪些
掃描電鏡可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場(chǎng)進(jìn)行觀察。韶關(guān)臺(tái)式掃描電鏡怎么樣
熱場(chǎng)發(fā)射式(thermalfieldemission,TF):熱場(chǎng)發(fā)式電子長(zhǎng)筒械具是在1800K溫度下操作,避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面,所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發(fā)射電流穩(wěn)定度,并能在較差的真空度下(10-9torr)操作,雖然亮度與冷式相類似,但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍。熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析,但其影像分辨率較差。肖特基發(fā)射式(Schottkyemission,SE):雖然很多廠商都稱其為場(chǎng)發(fā)射,但其實(shí)它并不是一個(gè)場(chǎng)發(fā)射源,因?yàn)樗念^部是較鈍的,而且如果停止加熱,就不會(huì)有發(fā)射電流,更確切的說(shuō)肖特基是“場(chǎng)輔助熱電子源”。韶關(guān)臺(tái)式掃描電鏡怎么樣
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