掃描電鏡襯度像：二次電子像：在入射電子束作用下被轟擊出來(lái)并離開(kāi)樣品表面的核外電子叫做二次電子。這是一種真空中的自由電子。二次電子一般都是在表層5~10nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來(lái)的，它對(duì)樣品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效地顯示樣品的表面形貌。二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒(méi)有明顯的依賴關(guān)系，所以不能用它來(lái)進(jìn)行成分分析。背散射電子像：背散射電子是被固體樣品中的原子核反彈回來(lái)的一部分入射電子，背散射電子來(lái)自樣品表層幾百納米的深度范圍。由于它的產(chǎn)能隨樣品原子序數(shù)增大而增多，所以不但能用作形貌分析，而且可以用來(lái)顯示原子序數(shù)襯度，定性地用作成分分析。背散射電子信號(hào)強(qiáng)度要比二次電子低的多，所以粗糙表面的原子序數(shù)襯度往往被形貌襯度所掩蓋。掃描電鏡成像直觀、立體感強(qiáng)。柳州臺(tái)式掃描電鏡批發(fā)
光學(xué)顯微鏡以可見(jiàn)光為介質(zhì)，掃描電鏡以電子束為介質(zhì)，由于電子束波長(zhǎng)遠(yuǎn)較可見(jiàn)光小，故掃描電鏡分辨率遠(yuǎn)比光學(xué)顯微鏡高。光學(xué)顯微鏡放大倍率較高只有約1500倍，掃描電鏡可放大到10000倍以上。在10KV的加速電壓之下，電子的波長(zhǎng)但為0.12?，遠(yuǎn)低于可見(jiàn)光的4000-7000?，所以掃描電鏡分辨率自然比光學(xué)顯微鏡優(yōu)越許多，但是掃描電鏡的電子束直徑大多在50-100?之間，電子與原子核的彈性散射(ElasticScattering)與非彈性散射(InelasticScattering)的反應(yīng)體積又會(huì)比原有的電子束直徑增大，因此一般穿透式掃描電鏡的分辨率比掃描電鏡高。國(guó)產(chǎn)掃描電鏡供應(yīng)商新式的掃描電鏡的分辨率可以達(dá)到1nm。
掃描電鏡有一重要特色是具有超大的景深，約為光學(xué)顯微鏡的300倍，使得掃描電鏡比光學(xué)顯微鏡更適合觀察表面起伏程度較大的樣品。掃描電鏡，其系統(tǒng)設(shè)計(jì)由上而下，由電子長(zhǎng)筒械具發(fā)射電子束，經(jīng)過(guò)一組磁透鏡聚焦聚焦后，用遮蔽孔徑選擇電子束的尺寸后，通過(guò)一組控制電子束的掃描線圈，再透過(guò)物鏡聚焦，打在樣品上，在樣品的上側(cè)裝有訊號(hào)接收器，用以擇取二次電子或背向散射電子成像。電子長(zhǎng)筒械具的必要特性是亮度要高、電子能量散布要小，目前常用的種類(lèi)計(jì)有三種，鎢(W)燈絲、六硼化鑭燈絲、場(chǎng)發(fā)射，不同的燈絲在電子源大小、電流量、電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異。
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡注意事項(xiàng)：平時(shí)操作，若要將樣品室真空亦保持在10-8pa(10-10torr)，則抽真空的時(shí)間將變長(zhǎng)而降低儀器的便利性，更增加儀器購(gòu)置成本，因此一些儀器設(shè)計(jì)了階段式真空(stepvacuum)，亦即使電子長(zhǎng)筒械具、磁透鏡及樣品室的真空度依序降低，并分成三個(gè)部份來(lái)讀取真空計(jì)讀數(shù)，如此可將樣品保持在真空度10-5pa的環(huán)境下即可操作。平時(shí)待機(jī)或更換樣品時(shí)，為防止電子長(zhǎng)筒械具污染，皆使用真空閥(gunvalve)將電子長(zhǎng)筒械具及磁透鏡部份與樣品室隔離，實(shí)際觀察時(shí)再打開(kāi)使電子束通過(guò)而打擊到樣品。掃描電鏡可以進(jìn)行材料斷口的分析。
掃描電鏡特點(diǎn)：裝上波長(zhǎng)色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測(cè)樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時(shí),對(duì)樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件,通過(guò)電動(dòng)勢(shì)象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動(dòng)和半自動(dòng)控制,因而較大提高了定量分析的速度。掃描電鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。福建臺(tái)式掃描電鏡批發(fā)
掃描電鏡觀察樣品的景深大,視場(chǎng)大,圖像富有立體感。柳州臺(tái)式掃描電鏡批發(fā)
掃描電鏡類(lèi)型多樣,不同類(lèi)型的掃描電鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子長(zhǎng)筒械具種類(lèi)可分為三種:場(chǎng)發(fā)射電子長(zhǎng)筒械具、鎢絲長(zhǎng)筒械具和六硼化鑭。其中,場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡根據(jù)光源性能可分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡和熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡對(duì)真空條件要求高,束流不穩(wěn)定,發(fā)射體使用壽命短,需要定時(shí)對(duì)針尖進(jìn)行清洗,但局限于單一的圖像觀察,應(yīng)用范圍有限;而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中,我們不但需要對(duì)樣品進(jìn)行初步形貌觀察,還需要結(jié)合分析儀對(duì)樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析,所以熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的應(yīng)用更為普遍。柳州臺(tái)式掃描電鏡批發(fā)
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