掃描電鏡(scanningelectronmicroscope,SEM)是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測樣品種類豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。目前,掃描電鏡已被普遍應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究,但在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。掃描電鏡可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息。廣西臺式掃描電鏡多少錢一臺
場發(fā)射掃描電鏡：場發(fā)射式電子長筒械具則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度又分別高出10-100倍，放大倍率由25倍到650000倍，同時電子能量散布但為0.2-0.3eV，在使用加速電壓15kV時，分辨率可達(dá)到1nm，加速電壓1kV時，分辨率可達(dá)到2.2nm，所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場發(fā)射式電子長筒械具，一般鎢絲型的掃描電鏡儀器上的放大倍率可到200000倍，實際操作時，大部份均在20000倍時影像便不清楚了，但如果樣品的表面形貌及導(dǎo)電度合適，較大倍率650000倍是可以達(dá)成的。廣西臺式掃描電鏡多少錢一臺掃描電鏡成像直觀、立體感強(qiáng)。
掃描電鏡應(yīng)用范圍：進(jìn)行材料斷口的分析。掃描電鏡的另一個重要特點(diǎn)是景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的焦深比透射掃描電鏡大10倍,比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大,故所得掃描電子象富有立體感,具有三維形態(tài),能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息,這個特點(diǎn)對使用者很有價值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì),在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中,有不可替代的作用,在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強(qiáng)有力的手段。
掃描電鏡較基本的功能是對各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，例如：生物學(xué)，植物學(xué)，地質(zhì)學(xué)，冶金學(xué)等等。觀察可以是一個樣品的表面，也可以是一個切開的面，或是一個斷面。冶金學(xué)家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶體的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過的木頭的細(xì)微結(jié)構(gòu)，生物學(xué)家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。掃描電鏡普遍應(yīng)用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成。
掃描電鏡鏡筒：鏡筒包括電子長筒械具、聚光鏡、物鏡及掃描系統(tǒng)。其作用是產(chǎn)生很細(xì)的電子束(直徑約幾個nm)，并且使該電子束在樣品表面掃描，同時激發(fā)出各種信號。電子信號的收集與處理系統(tǒng)在樣品室中，掃描電子束與樣品發(fā)生相互作用后產(chǎn)生多種信號，其中包括二次電子、背散射電子、X射線、吸收電子、俄歇(Auger)電子等。在上述信號中，較主要的是二次電子，它是被入射電子所激發(fā)出來的樣品原子中的外層電子，產(chǎn)生于樣品表面以下幾nm至幾十nm的區(qū)域，其產(chǎn)生率主要取決于樣品的形貌和成分。通常所說的掃描電鏡像指的就是二次電子像，它是研究樣品表面形貌的較有用的電子信號。檢測二次電子的檢測器的探頭是一個閃爍體，當(dāng)電子打到閃爍體上時，就在其中產(chǎn)生光，這種光被光導(dǎo)管傳送到光電倍增管，光信號即被轉(zhuǎn)變成電流信號，再經(jīng)前置放大及視頻放大，電流信號轉(zhuǎn)變成電壓信號，較后被送到顯像管的柵極。掃描電鏡在電子掃描中,把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動叫做幀掃描或稱作垂直掃描。廣西臺式掃描電鏡多少錢一臺
掃描電鏡可以進(jìn)行材料斷口的分析。廣西臺式掃描電鏡多少錢一臺
掃描電鏡對樣品的要求：四無(無磁、無毒、無污染、無放射性)，三有(具有穩(wěn)定性、干燥性、導(dǎo)電性)，兩不(不發(fā)光、非高溫）。盡量保持樣品原始的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)。顆?；蚍勰?shù)量要適中，避免團(tuán)聚;塊狀樣品體積要控制在120mm×80mm×50mm以內(nèi)、高度限制在5～10mm左右。測試的整個流程要注意清潔。為降低樣品污染程度，可事先用酒精或超聲波清洗。觀察成分相的樣品表面應(yīng)盡量光滑，高度差異不可太大，必要時需精細(xì)拋光。待測面為錐狀、似錐狀或有明顯棱角、尖角等的突兀狀樣品無法測試。同樣，樣品底面因不平整而阻礙導(dǎo)電處理的樣品需要磨平。廣西臺式掃描電鏡多少錢一臺
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