遵義日立分析儀器掃描電鏡制造商

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-26

掃描電鏡:掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測(cè)器,使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)X射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。掃描電鏡普遍應(yīng)用于天文地質(zhì)領(lǐng)域的研究。遵義日立分析儀器掃描電鏡制造商

和透射電鏡相比,掃描電鏡試樣制備比較簡(jiǎn)單。在保持材料原始形狀情況下,可以直接觀察和研究試樣表面形貌及其它物理效應(yīng)(特征),這是掃描電鏡的一個(gè)突出優(yōu)點(diǎn)。掃描電鏡的有關(guān)制樣技術(shù)是以透射電鏡、光學(xué)顯微鏡及電子探針X射線顯微分析制樣技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的,有些方面還兼具透射電鏡制樣技術(shù),所用設(shè)備也基本相同。但因掃描電鏡有其本身的特點(diǎn)和觀察條件,只簡(jiǎn)單地引用已有的制樣方法是不夠的。掃描電鏡的特點(diǎn)是:觀察試樣為不同大小的固體(塊狀、薄膜、顆粒),并可在真空中直接進(jìn)行觀察。試樣應(yīng)具有良好的導(dǎo)電性能,不導(dǎo)電的試樣,其表面一般需要蒸涂一層金屬導(dǎo)電膜。試樣表面一般起伏(凹凸)較大。觀察方式不同,制樣方法有明顯區(qū)別。試樣制備與加速電壓、電子束流、掃描速度(方式)等觀察條件的選擇有密切關(guān)系。遵義日立分析儀器掃描電鏡制造商新式的掃描電鏡的分辨率可以達(dá)到1nm。

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡注意事項(xiàng):平時(shí)操作,若要將樣品室真空亦保持在10-8pa(10-10torr),則抽真空的時(shí)間將變長(zhǎng)而降低儀器的便利性,更增加儀器購(gòu)置成本,因此一些儀器設(shè)計(jì)了階段式真空(stepvacuum),亦即使電子長(zhǎng)筒械具、磁透鏡及樣品室的真空度依序降低,并分成三個(gè)部份來讀取真空計(jì)讀數(shù),如此可將樣品保持在真空度10-5pa的環(huán)境下即可操作。平時(shí)待機(jī)或更換樣品時(shí),為防止電子長(zhǎng)筒械具污染,皆使用真空閥(gunvalve)將電子長(zhǎng)筒械具及磁透鏡部份與樣品室隔離,實(shí)際觀察時(shí)再打開使電子束通過而打擊到樣品。

掃描電鏡襯度像:二次電子像:在入射電子束作用下被轟擊出來并離開樣品表面的核外電子叫做二次電子。這是一種真空中的自由電子。二次電子一般都是在表層5~10nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來的,它對(duì)樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效地顯示樣品的表面形貌。二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒有明顯的依賴關(guān)系,所以不能用它來進(jìn)行成分分析。背散射電子像:背散射電子是被固體樣品中的原子核反彈回來的一部分入射電子,背散射電子來自樣品表層幾百納米的深度范圍。由于它的產(chǎn)能隨樣品原子序數(shù)增大而增多,所以不但能用作形貌分析,而且可以用來顯示原子序數(shù)襯度,定性地用作成分分析。背散射電子信號(hào)強(qiáng)度要比二次電子低的多,所以粗糙表面的原子序數(shù)襯度往往被形貌襯度所掩蓋。掃描電鏡的發(fā)展速度很快。

掃描電鏡的分類主要是根據(jù)其電子長(zhǎng)筒械具的種類來分的,電子長(zhǎng)筒械具的必要特性是亮度要高、電子能量散布(EnergySpread)要小,目前常用的電子長(zhǎng)筒械具有鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲、場(chǎng)發(fā)射三種,不同的燈絲在電子源大小、電流量、電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異。鎢(W)燈絲掃描電鏡:價(jià)錢較便宜使用較普遍的是鎢燈絲,以熱發(fā)射(Thermionization)式來發(fā)射電子,電子能量散布為2eV,鎢的功函數(shù)約為4.5eV,鎢燈絲系一直徑約100μm,彎曲成V形的細(xì)線,操作溫度約2700K,電流密度為1.75A/cm2,在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小,使用壽命約為40~80小時(shí)。掃描電鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。南寧二手掃描電鏡多少錢一臺(tái)

掃描電鏡儀器放大倍數(shù)變化范圍大。遵義日立分析儀器掃描電鏡制造商

掃描電鏡特點(diǎn):樣品制備簡(jiǎn)單,只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理,就可直接放到掃描電鏡中進(jìn)行觀察,因而更接近于物質(zhì)的自然狀態(tài)。可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量,如亮度及反差自動(dòng)保持,試樣傾斜角度校正,圖象旋轉(zhuǎn),或通過Y調(diào)制改善圖象反差的寬容度,以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖象選擇器,可在熒光屏上同時(shí)觀察放大倍數(shù)不同的圖象??蛇M(jìn)行綜合分析?;窘Y(jié)構(gòu):1-鏡筒;2-樣品室;3-EDS探測(cè)器;4-監(jiān)控器;5-EBSD探測(cè)器;6-計(jì)算機(jī)主機(jī);7-開機(jī)/待機(jī)/關(guān)機(jī)按鈕;8-底座;9-WDS探測(cè)器。遵義日立分析儀器掃描電鏡制造商

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