掃描電鏡特點(diǎn)：裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時,對樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件,通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計算機(jī)自動和半自動控制,因而較大提高了定量分析的速度。掃描電鏡的樣品制備很簡單。柳州國產(chǎn)掃描電鏡供應(yīng)商
掃描電鏡類型多樣,不同類型的掃描電鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子長筒械具種類可分為三種:場發(fā)射電子長筒械具、鎢絲長筒械具和六硼化鑭。其中,場發(fā)射掃描電鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電鏡和熱場發(fā)射掃描電鏡。冷場發(fā)射掃描電鏡對真空條件要求高,束流不穩(wěn)定,發(fā)射體使用壽命短,需要定時對針尖進(jìn)行清洗,但局限于單一的圖像觀察,應(yīng)用范圍有限;而熱場發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時間長,還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中,我們不但需要對樣品進(jìn)行初步形貌觀察,還需要結(jié)合分析儀對樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析,所以熱場發(fā)射掃描電鏡的應(yīng)用更為普遍。柳州國產(chǎn)掃描電鏡供應(yīng)商掃描電鏡對信息收集、放大、再成像以達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
掃描電鏡照片是灰度圖像，分為二次電子像和背散射電子像，主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。一般二次電子像主要反映樣品表面微觀形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情況需要對比分析。背散射電子像主要反映樣品表面元素分布情況，越亮的區(qū)域，原子序數(shù)越高。看表面形貌，電子成像，亮的區(qū)域高，暗的區(qū)域低。非常薄的薄膜，背散射電子會造成假像。導(dǎo)電性差時，電子積聚也會造成假像。掃描電鏡圖像放大倍數(shù)定義為顯示器上圖像寬度與電子束在試樣上相應(yīng)方向掃描寬度之比。例如顯示器上圖像寬度為100mm，入射電子束在試樣上掃描寬度為10um,則放大倍數(shù)M為:M=100mm/10um=10000因顯示器上圖像寬度一定，只要改變電子束在試樣表面的掃描寬度，就可連續(xù)地幾倍、十幾倍直至幾萬倍地改變圖像放大倍數(shù)。放大倍數(shù)調(diào)整范圍寬是掃描電鏡的一個突出優(yōu)點(diǎn)，低倍數(shù)便于選擇視場、觀察試樣的全貌，高倍數(shù)則觀察部分微區(qū)表面的精細(xì)形貌結(jié)構(gòu)。
掃描電鏡應(yīng)用范圍：直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時,能得到高的分辨率和較真實(shí)的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射掃描電鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時,因?yàn)樵谕干鋻呙桦婄R中還要采用復(fù)膜方法,而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實(shí)的試樣表面資料。掃描電鏡在電子掃描中,把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動叫做幀掃描或稱作垂直掃描。
掃描電鏡主要是觀察物體的表面形貌，能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，也可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察，樣品制備過程簡單。掃描電鏡有普通掃描電鏡、分析型掃描電鏡和場發(fā)射長筒械具掃描電鏡。掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的人射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。掃描電鏡是用途較為普遍的一種儀器。柳州國產(chǎn)掃描電鏡供應(yīng)商
掃描電鏡可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口。柳州國產(chǎn)掃描電鏡供應(yīng)商
場發(fā)射掃描電鏡：場發(fā)射式電子長筒械具則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度又分別高出10-100倍，放大倍率由25倍到650000倍，同時電子能量散布但為0.2-0.3eV，在使用加速電壓15kV時，分辨率可達(dá)到1nm，加速電壓1kV時，分辨率可達(dá)到2.2nm，所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場發(fā)射式電子長筒械具，一般鎢絲型的掃描電鏡儀器上的放大倍率可到200000倍，實(shí)際操作時，大部份均在20000倍時影像便不清楚了，但如果樣品的表面形貌及導(dǎo)電度合適，較大倍率650000倍是可以達(dá)成的。柳州國產(chǎn)掃描電鏡供應(yīng)商
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