掃描電鏡基本原理:掃描電鏡電子長筒械具發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點(diǎn)光源;點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),在透過較后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面,同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時,電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實(shí)時成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有:俄歇電子(AuE)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號的用途因作用深度而異。掃描電鏡掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對圖象象元掃掠的工作過程。廈門日立掃描電鏡哪家好
掃描電鏡基本知識:掃描電鏡電子光學(xué)系統(tǒng):由電子長筒械具,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強(qiáng)度和圖像分辨率,掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。信號收集及顯示系統(tǒng):檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號?,F(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導(dǎo)管和光電倍增器所組成。真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作,防止樣品污染,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。廈門日立掃描電鏡哪家好掃描電鏡可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察。
掃描電鏡應(yīng)用范圍:在大視場、低放大倍數(shù)下觀察樣品。用掃描電鏡觀察試樣的視場大。在掃描電鏡中,能同時觀察試樣的視場范圍F由下式來確定:F=L/M,式中F——視場范圍;M——觀察時的放大倍數(shù);L——顯象管的熒光屏尺寸。若掃描電鏡采用30cm(12英寸)的顯象管,放大倍數(shù)15倍時,其視場范圍可達(dá)20mm。大視場、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對有些領(lǐng)域是很必要的,如刑事偵察和考古。進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察。放大倍數(shù)的可變范圍很寬,且不用經(jīng)常對焦。掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍,從低倍到高倍連續(xù)觀察,不用重新聚焦,這對進(jìn)行事故分析特別方便。
掃描電鏡應(yīng)用范圍:進(jìn)行動態(tài)觀察。在掃描電鏡中,成象的信息主要是電子信息。根據(jù)近代的電子工業(yè)技術(shù)水平,即使高速變化的電子信息,也能毫不困難的及時接收、處理和儲存,故可進(jìn)行一些動態(tài)過程的觀察。如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件,則可以通過電視裝置,觀察相變、斷裂等動態(tài)的變化過程。10從試樣表面形貌獲得多方面資料。在掃描電鏡中,不但可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來成象,而且可以通過信號處理方法,獲得多種圖象的特殊顯示方法,還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。掃描電鏡是顯微鏡家族中的后起之秀。
SEM的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級電子,次級電子的多少與電子束入射角有關(guān),也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān),次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?,再?jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹?qiáng)度,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。分辨率高,放大倍數(shù)范圍廣,可以從幾倍到幾十萬倍,連續(xù)可調(diào),便于尋找缺陷并建立微觀形貌和宏觀形貌之間的聯(lián)系;景深大,有很強(qiáng)的立體感,適于觀察像斷口那樣粗糙的表面;加配能譜儀和波譜儀后,可同時進(jìn)行成分分析。掃描電鏡本身具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),受到人們的歡迎。南寧日立掃描電鏡怎么樣
掃描電鏡普遍應(yīng)用于地球化學(xué)領(lǐng)域的研究。廈門日立掃描電鏡哪家好
掃描電鏡特點(diǎn):裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時,對樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件,通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動和半自動控制,因而較大提高了定量分析的速度。廈門日立掃描電鏡哪家好
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