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掃描電鏡:掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測(cè)器,使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)X射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。掃描電鏡是顯微鏡家族中的后起之秀。貴州臺(tái)式掃描電鏡批發(fā)
掃描電鏡照片是灰度圖像,分為二次電子像和背散射電子像,主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。一般二次電子像主要反映樣品表面微觀形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情況需要對(duì)比分析。背散射電子像主要反映樣品表面元素分布情況,越亮的區(qū)域,原子序數(shù)越高??幢砻嫘蚊?,電子成像,亮的區(qū)域高,暗的區(qū)域低。非常薄的薄膜,背散射電子會(huì)造成假像。導(dǎo)電性差時(shí),電子積聚也會(huì)造成假像。掃描電鏡圖像放大倍數(shù)定義為顯示器上圖像寬度與電子束在試樣上相應(yīng)方向掃描寬度之比。例如顯示器上圖像寬度為100mm,入射電子束在試樣上掃描寬度為10um,則放大倍數(shù)M為:M=100mm/10um=10000因顯示器上圖像寬度一定,只要改變電子束在試樣表面的掃描寬度,就可連續(xù)地幾倍、十幾倍直至幾萬(wàn)倍地改變圖像放大倍數(shù)。放大倍數(shù)調(diào)整范圍寬是掃描電鏡的一個(gè)突出優(yōu)點(diǎn),低倍數(shù)便于選擇視場(chǎng)、觀察試樣的全貌,高倍數(shù)則觀察部分微區(qū)表面的精細(xì)形貌結(jié)構(gòu)。貴州小型掃描電鏡的廠家有哪些掃描電鏡景深大,視野大。
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡:場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度又分別高出10-100倍,放大倍率由25倍到650000倍,同時(shí)電子能量散布但為0.2-0.3eV,在使用加速電壓15kV時(shí),分辨率可達(dá)到1nm,加速電壓1kV時(shí),分辨率可達(dá)到2.2nm,所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具,一般鎢絲型的掃描電鏡儀器上的放大倍率可到200000倍,實(shí)際操作時(shí),大部份均在20000倍時(shí)影像便不清楚了,但如果樣品的表面形貌及導(dǎo)電度合適,較大倍率650000倍是可以達(dá)成的。
掃描電鏡特點(diǎn):裝上波長(zhǎng)色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測(cè)樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時(shí),對(duì)樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件,通過(guò)電動(dòng)勢(shì)象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動(dòng)和半自動(dòng)控制,因而較大提高了定量分析的速度。掃描電鏡對(duì)信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
光學(xué)顯微鏡以可見(jiàn)光為介質(zhì),掃描電鏡以電子束為介質(zhì),由于電子束波長(zhǎng)遠(yuǎn)較可見(jiàn)光小,故掃描電鏡分辨率遠(yuǎn)比光學(xué)顯微鏡高。光學(xué)顯微鏡放大倍率較高只有約1500倍,掃描電鏡可放大到10000倍以上。在10KV的加速電壓之下,電子的波長(zhǎng)但為0.12?,遠(yuǎn)低于可見(jiàn)光的4000-7000?,所以掃描電鏡分辨率自然比光學(xué)顯微鏡優(yōu)越許多,但是掃描電鏡的電子束直徑大多在50-100?之間,電子與原子核的彈性散射(ElasticScattering)與非彈性散射(InelasticScattering)的反應(yīng)體積又會(huì)比原有的電子束直徑增大,因此一般穿透式掃描電鏡的分辨率比掃描電鏡高。掃描電鏡在觀察形貌的同時(shí),可以進(jìn)行微區(qū)的成分分析。貴州臺(tái)式掃描電鏡批發(fā)
掃描電鏡可以在大視場(chǎng)、低放大倍數(shù)下觀察樣品。貴州臺(tái)式掃描電鏡批發(fā)
掃描電鏡是對(duì)樣品表面形態(tài)進(jìn)行測(cè)試的一種大型儀器。電子長(zhǎng)筒械具發(fā)射的電子束在掃描電鏡鏡筒中,通過(guò)電磁透鏡聚焦和電場(chǎng)加速,入射到樣品中,束電子與樣品原子核或核外電子發(fā)生多種相互作用,而被散射,引起束電子的運(yùn)動(dòng)方向或能量(或兩者同時(shí))發(fā)生變化,從而產(chǎn)生各種反映樣品特征的信號(hào)。這些信號(hào)包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、電子電動(dòng)勢(shì)、陰極熒光、X射線等,這些信號(hào)能夠表征固體表面或內(nèi)部的某些物理或化學(xué)性質(zhì)。它們是各類電子束顯微分析的物理基礎(chǔ)。貴州臺(tái)式掃描電鏡批發(fā)
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