場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡:場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度又分別高出10-100倍,放大倍率由25倍到650000倍,同時(shí)電子能量散布但為0.2-0.3eV,在使用加速電壓15kV時(shí),分辨率可達(dá)到1nm,加速電壓1kV時(shí),分辨率可達(dá)到2.2nm,所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具,一般鎢絲型的掃描電鏡儀器上的放大倍率可到200000倍,實(shí)際操作時(shí),大部份均在20000倍時(shí)影像便不清楚了,但如果樣品的表面形貌及導(dǎo)電度合適,較大倍率650000倍是可以達(dá)成的。掃描電鏡普遍應(yīng)用于結(jié)晶學(xué)領(lǐng)域的研究。廣西日立掃描電鏡供應(yīng)商
掃描電鏡特點(diǎn):制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應(yīng)等,對(duì)于導(dǎo)電材料,可直接放入樣品室進(jìn)行分析,對(duì)于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層?;窘Y(jié)構(gòu):從結(jié)構(gòu)上看,掃描電鏡主要由七大系統(tǒng)組成,即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。電子光學(xué)系統(tǒng):電子光學(xué)系統(tǒng)包括電子長(zhǎng)筒械具、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室等,主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。深圳sem掃描電鏡制造商掃描電鏡可以直接觀察大試樣的原始表面。
熱場(chǎng)發(fā)射式(thermalfieldemission,TF):熱場(chǎng)發(fā)式電子長(zhǎng)筒械具是在1800K溫度下操作,避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面,所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發(fā)射電流穩(wěn)定度,并能在較差的真空度下(10-9torr)操作,雖然亮度與冷式相類似,但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍。熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析,但其影像分辨率較差。肖特基發(fā)射式(Schottkyemission,SE):雖然很多廠商都稱其為場(chǎng)發(fā)射,但其實(shí)它并不是一個(gè)場(chǎng)發(fā)射源,因?yàn)樗念^部是較鈍的,而且如果停止加熱,就不會(huì)有發(fā)射電流,更確切的說(shuō)肖特基是“場(chǎng)輔助熱電子源”。
掃描電鏡試樣制備技術(shù):粉末狀試樣的制備:首先在載物盤(pán)上粘上雙面膠帶,然后取少量粉末試樣在膠帶上的靠近載物盤(pán)圓心部位,然后用洗耳球朝載物盤(pán)徑向朝外方向輕吹(注意不可用嘴吹氣,以免唾液粘在試樣上,也不可用工具撥粉末,以免破壞試樣表面形貌),以使粉末可以均勻分布在膠帶上,也可以把粘結(jié)不牢的粉末吹走(以免污染鏡體)。然后在膠帶邊緣涂上導(dǎo)電銀漿以連接樣品與載物盤(pán),等銀漿干了之后就可以進(jìn)行較后的蒸金處理。溶液試樣的制備:對(duì)于溶液試樣我們一般采用薄銅片作為載體。首先,在載物盤(pán)上粘上雙面膠帶,然后粘上干凈的薄銅片,然后把溶液小心滴在銅片上,等干了(一般用臺(tái)燈近距離照射10分鐘)之后觀察析出來(lái)的樣品量是否足夠,如果不夠再滴一次,等再次干了之后就可以涂導(dǎo)電銀漿和蒸金了。不同類型的掃描電鏡存在性能上的差異。
掃描電鏡主要是觀察物體的表面形貌,能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),也可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察,樣品制備過(guò)程簡(jiǎn)單。掃描電鏡有普通掃描電鏡、分析型掃描電鏡和場(chǎng)發(fā)射長(zhǎng)筒械具掃描電鏡。掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的人射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。掃描電鏡可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口。六盤(pán)水二手掃描電鏡費(fèi)用
掃描電鏡普遍應(yīng)用于地球化學(xué)領(lǐng)域的研究。廣西日立掃描電鏡供應(yīng)商
鎢(W)燈絲掃描電鏡:價(jià)錢(qián)較便宜使用較普遍的是鎢燈絲,以熱發(fā)射(Thermionization)式來(lái)發(fā)射電子,電子能量散布為2eV,鎢的功函數(shù)約為4.5eV,鎢燈絲系一直徑約100μm,彎曲成V形的細(xì)線,操作溫度約2700K,電流密度為1.75A/cm2,在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小,使用壽命約為40~80小時(shí)。熱發(fā)射方式電子長(zhǎng)筒械具工作原理:鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲都是熱發(fā)射方式的電子長(zhǎng)筒械具,此類掃描電鏡對(duì)真空度要求不如場(chǎng)發(fā)射的高,一般不需要配離子泵。它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子長(zhǎng)筒械具材料的功函數(shù)(workfunction)能障而逃離。對(duì)發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù),但因操作電子長(zhǎng)筒械具時(shí)均希望能以較低的溫度來(lái)操作,以減少材料的揮發(fā),所以在操作溫度不提高的狀況下,就需采用低功函數(shù)的材料來(lái)提高發(fā)射電流密度。對(duì)于鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲作為陰極材料的熱發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具,束斑尺寸增加,束斑電流增大,圖像信噪比提高,但分辨率相對(duì)較低。廣西日立掃描電鏡供應(yīng)商
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