掃描電鏡儀器結(jié)構(gòu)：產(chǎn)生高能電子束的鏡筒，包括：電子長(zhǎng)筒械具、電磁透鏡和掃描線圈；接收并處理各種電子信號(hào)的成像系統(tǒng)：掃描信號(hào)發(fā)生器、探測(cè)器、掃描放大器、電子信息處理器和監(jiān)控器；記錄電子圖像的信息記錄系統(tǒng)：攝像頭、圖像分析器和記錄設(shè)備；作為電子束與樣品作用載體的真空系統(tǒng)：樣品室、真空閥門、機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、離子泵和真空檢測(cè)裝置；調(diào)控掃描電鏡外部環(huán)境的電源系統(tǒng)：不間斷電源、變壓器、穩(wěn)壓器、安全控制線路和單獨(dú)地線。掃描電鏡是一種多功能的儀器,具有很多優(yōu)越的性能。六盤水日本電子掃描電鏡的廠家有哪些
掃描電鏡基本原理：掃描電鏡電子長(zhǎng)筒械具發(fā)射出的電子束經(jīng)過(guò)聚焦后匯聚成點(diǎn)光源;點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個(gè)電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),在透過(guò)較后一級(jí)帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面,同時(shí)激發(fā)出不同深度的電子信號(hào)。此時(shí),電子信號(hào)會(huì)被樣品上方不同信號(hào)接收器的探頭接收,通過(guò)放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實(shí)時(shí)成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來(lái)的電子信號(hào)有:俄歇電子(AuE)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號(hào)的用途因作用深度而異。六盤水日立分析儀器掃描電鏡多少錢一臺(tái)掃描電鏡利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品。
掃描電鏡應(yīng)用范圍：直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100mm,高50mm,或更大尺寸的試樣,對(duì)試樣的形狀沒(méi)有任何限制,粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時(shí),能得到高的分辨率和較真實(shí)的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射掃描電鏡之間。但在對(duì)厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時(shí),因?yàn)樵谕干鋻呙桦婄R中還要采用復(fù)膜方法,而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實(shí)的試樣表面資料。
掃描電鏡工作原理：從電子長(zhǎng)筒械具陰極發(fā)出的直徑20-30nm的電子束，受到陰陽(yáng)極之間的加速電壓的作用，射向鏡筒。經(jīng)過(guò)聚光鏡和物鏡聚焦后，形成一個(gè)具有一定能量、強(qiáng)度和斑點(diǎn)直徑的入射電子束。在物鏡上部掃描線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)作用下，入射電子束按一定時(shí)間、空間順序作光柵式掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用，從樣品中激發(fā)出的信號(hào)被不同的檢測(cè)器收集，并成像。掃描電鏡配備有檢測(cè)二次電子的SE2和Inlens檢測(cè)器，形成樣品形貌像；檢測(cè)背散射電子的ASB檢測(cè)器，形成樣品成分襯度像；檢測(cè)特征X射線能量的X射線能譜儀，用于元素定性、定量分析。掃描電鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。
成像原理：掃描電鏡是利用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分、或晶體結(jié)構(gòu)等)的差異，在電子束作用下通過(guò)試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異，從而獲得具有一定襯度的圖像。成像信號(hào)是二次電子、背散射電子或吸收電子，其中二次電子是較主要的成像信號(hào)。為其成像原理圖，高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號(hào)，再利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像信息。掃描電鏡除能檢測(cè)二次電子圖像以外，還能檢測(cè)背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號(hào)圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進(jìn)行掃描電鏡觀察前，要對(duì)樣品作相應(yīng)的處理。掃描電鏡普遍應(yīng)用于礦床學(xué)領(lǐng)域的研究。六盤水日本電子掃描電鏡的廠家有哪些
掃描電鏡普遍應(yīng)用于工程地質(zhì)領(lǐng)域的研究。六盤水日本電子掃描電鏡的廠家有哪些
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的條件要求：場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡對(duì)真空的要求較高，有些儀器在電子長(zhǎng)筒械具及磁透鏡部份配備了3組離子泵(ionpump)，在樣品室中，配置了2組擴(kuò)散泵(diffusionpump)，在機(jī)體外，以1組機(jī)械泵負(fù)責(zé)粗抽，所以有6組大小不同的真空泵來(lái)達(dá)成超高真空的要求，另外在樣品另有以液態(tài)氮冷卻的冷阱(coldtrap)，協(xié)助保持樣品室的真空度。場(chǎng)發(fā)射的操作注意事項(xiàng)：場(chǎng)發(fā)射式電子長(zhǎng)筒械具的電子產(chǎn)生率與真空度有密切的關(guān)系，其使用壽命也隨真空度變差而急劇縮短，因此在樣品制備上必須非常注意水氣，或固定用的碳膠或銀膠是否烤干，以免在觀察的過(guò)程中，真空陡然變差而影響燈絲壽命，甚至系統(tǒng)當(dāng)機(jī)。六盤水日本電子掃描電鏡的廠家有哪些
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