佛山正規(guī)晶圓運送機械吸臂設(shè)計

來源: 發(fā)布時間:2022-06-06

可選地,所述托板包括:

主板;

排列成八字形的***支板和第二支板,在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接;

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。

可選地,所述表面為平面。

另外,本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術(shù)方案中,機械手臂傳送晶圓時,晶圓放置在托板的表面,并與絨毛墊接觸,借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上,不易發(fā)生平移,這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷,還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚。 直角坐標(biāo)系機械手臂有三個主自由度。佛山正規(guī)晶圓運送機械吸臂設(shè)計

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有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機械手。具體地,該機械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室(process chamber),或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室(transfer chamber)連結(jié)于處理室。機械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動。傳送室相當(dāng)于小的無塵室。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓。在傳送室內(nèi)保持空氣(或者氣體)清潔。另外,傳送室內(nèi)有時被保持為真空。要求使在傳送室內(nèi)工作的機械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法。佛山官方晶圓運送機械吸臂賣價機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能,用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。

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它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體(工具或工件)?!彼詫I(yè)機械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時變要求進行移動,從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***,對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊;搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件;進行激光切割;噴涂;裝配機械零部件等等。編程就是讓計算機為解決某個問題而使用某種程序設(shè)計語言編寫程序代碼,并**終得到結(jié)果的過程。為了使計算機能夠理解人的意圖,人類就必須要將需解決的問題的思路、方法、和手段通過計算機能夠理解的形式告訴計算機,使得計算機能夠根據(jù)人的指令一步一步去工作,完成某種特定的任務(wù)。這種人和計算機之間交流的過程就是編程。

中國擁有龐大的制造業(yè),是世界弟一工業(yè)機器人市場,有著1000多家與工業(yè)機器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機械臂制造領(lǐng)域處于大而不強的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低。現(xiàn)在國內(nèi)很多機器人企業(yè)有很多都不是在真心實意地在做技術(shù),很多都是跟著國家提出的中國未來制造的政策與支持來進行獲利的。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進口。所以,中國的機械臂在技術(shù)方面遠遠落后于國外,占有的只是低端市場的份額。不過,在非民用機器人與航天機械臂領(lǐng)域,中國的技術(shù)也不遜色于美國。所以說只要經(jīng)過技術(shù)的積累,中國的機械臂技術(shù)也會不比國外的差多少。 在運動臂上加裝滾動軸承或采用滾珠導(dǎo)軌也能使手臂運動輕快、平穩(wěn)。

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工業(yè)機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時變要求進行移動,從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***,對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊;搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件;進行激光切割;噴涂;裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響,人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣,特別是工業(yè)機械臂,與人的外貌往往毫無相似之處。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn),工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,可重復(fù)編程、多用途,并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成。柔性機械臂具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率。佛山官方晶圓運送機械吸臂賣價

手臂一般有3個運動:伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降.佛山正規(guī)晶圓運送機械吸臂設(shè)計

作為傳統(tǒng)支柱產(chǎn)業(yè)的銷售不知何時被貼上了夕陽產(chǎn)業(yè)的標(biāo)簽,認為它就是一個勞動密集型產(chǎn)業(yè),和智能制造搭不上邊。殊不知,在科學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的當(dāng)下,競爭對手也紛紛出臺了紡織產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)展戰(zhàn)略。新的氧化鋁陶瓷,氧化鋯陶瓷,碳化硅陶瓷,陶瓷機械手等產(chǎn)品在工作效率、作業(yè)質(zhì)量、環(huán)境保護、操作性能及自動化程度諸方面都是以往所不可比擬的,并且在向著進一步的智能化和機器人化方向邁進。2019年上半年,汽車起重機銷售了2.55萬臺,較有限責(zé)任公司上年同期大幅增長53.3%。(2016年我國汽車起重機銷量跌至低谷,近年來受*****的影響,大型工程建設(shè)需要增加,我國汽車起重機銷量迅速反彈,預(yù)計未來汽車起重機仍將保持大幅增長的趨勢)。無論是從減輕環(huán)境負擔(dān),還是打破對外貿(mào)易壁壘等方面考慮,節(jié)能環(huán)保之路都將成為我司技術(shù)力量雄厚、設(shè)備精良,加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設(shè)備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具,并配備各種精密檢測儀器,以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠發(fā)展的主流趨勢。今后中國機械產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將更加注重轉(zhuǎn)型升級,而在具體的實施策略中,節(jié)能環(huán)保將成為主要的發(fā)展方向。佛山正規(guī)晶圓運送機械吸臂設(shè)計

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