出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機(jī)械臂的構(gòu)造模塊。TO-DOM由兩個(gè)旋轉(zhuǎn)模塊及一個(gè)連接模塊共三個(gè)基本模塊組成。根據(jù)空間機(jī)械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個(gè)基本模塊之間的機(jī)械接口進(jìn)行專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì),即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)。由這樣數(shù)個(gè)不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個(gè)自由度的空間機(jī)器臂。采用一體化概念設(shè)計(jì)的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過(guò)對(duì)由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進(jìn)行的試驗(yàn)初步驗(yàn)證了TODOM設(shè)計(jì)概念的合理性及可行性。手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧,才能做手臂運(yùn)動(dòng)輕快、靈活。佛山正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷(xiāo)批發(fā)
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱(chēng)為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.9%。
晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜 韶關(guān)正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。
區(qū)熔法分為兩種:水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長(zhǎng);后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長(zhǎng)的不同捏?這是由于硅的熔點(diǎn)高,化學(xué)性能活潑,容易受到異物的玷污,所以難以找到適合的器皿來(lái)盛方,自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長(zhǎng)上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于:區(qū)熔法一般不使用坩鍋,引入的雜質(zhì)更少,生長(zhǎng)的材料雜質(zhì)含量也就更少??偠灾?,單晶硅棒是圓柱形的,使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個(gè)樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎?Bingo,圖左的尖尖是籽晶,圖右的尖尖是晶棒長(zhǎng)到***,從熔融態(tài)里出來(lái)后,由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理,以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導(dǎo)致的。
一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái);設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺(tái)呈環(huán)形,所述吸附絕緣凸臺(tái)所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的偽絕緣凸臺(tái),所述偽絕緣凸臺(tái)與手臂一體成型,所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺(tái)內(nèi);在垂直于所述手臂的方向上,所述吸附絕緣凸臺(tái)比所述偽絕緣凸臺(tái)突出;所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。對(duì)于工業(yè)應(yīng)用來(lái)說(shuō),有時(shí)并不需要機(jī)械手臂具有完整的六個(gè)自由度.
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,該真空吸附機(jī)械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái);設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記,提高了晶圓的合格率。手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來(lái)確定,其誤差是積累誤差,因而精度較差,其位置精度也更難保證。廣東銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜
精確地定位到三維(或二維)空間上的某一點(diǎn)進(jìn)行作業(yè)。佛山正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷(xiāo)批發(fā)
機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè),顧名思義就是與機(jī)械有關(guān)的行業(yè),在很大程度上影響國(guó)民經(jīng)濟(jì)大發(fā)展,機(jī)械制造業(yè)也在一定程度上體現(xiàn)了經(jīng)濟(jì)建設(shè)水平。隨著經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展,我國(guó)機(jī)械行業(yè)發(fā)展迅速,制造水平明顯提升。我國(guó)工業(yè)通過(guò)供給側(cè)更改逐步完成了產(chǎn)能去化,機(jī)械及行業(yè)設(shè)備業(yè)粗放式投錢(qián)的時(shí)代已經(jīng)過(guò)去,傳統(tǒng)制造業(yè)升級(jí)趨勢(shì)明顯。設(shè)備行業(yè)與下游制造業(yè)投錢(qián)需求緊密相關(guān),具有較強(qiáng)的周期屬性,機(jī)械及行業(yè)設(shè)備公司往往被貼上周期股的標(biāo)簽。在我國(guó)經(jīng)濟(jì)步入發(fā)展新常態(tài)后,氧化鋁陶瓷,氧化鋯陶瓷,碳化硅陶瓷,陶瓷機(jī)械手行業(yè)也處于新舊增長(zhǎng)模式轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵時(shí)期,實(shí)施轉(zhuǎn)換的獨(dú)一途徑是依靠科技創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展。生產(chǎn)型企業(yè)要完善機(jī)械服務(wù)業(yè)體系,培育機(jī)械后市場(chǎng)增長(zhǎng)點(diǎn)。帶動(dòng)維修、售后、網(wǎng)點(diǎn)、租賃、進(jìn)出口、二手市場(chǎng)等相關(guān)產(chǎn)業(yè)同步發(fā)展。建立信息管理系統(tǒng),加強(qiáng)分類(lèi)回收管理,完善機(jī)械再制造體系,提升零部件循環(huán)利用能力。佛山正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷(xiāo)批發(fā)
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