佛山正規(guī)晶圓運送機械吸臂價格

來源: 發(fā)布時間:2022-07-21

技術實現(xiàn)要素:


本實用新型要解決的技術問題是:現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題,本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內(nèi),并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,各個所述絨毛墊之間間隔排布。 如剛性差則會引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側向扭轉變形.佛山正規(guī)晶圓運送機械吸臂價格

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可選地,所述托板包括:

主板;

排列成八字形的***支板和第二支板,在所述主板的同一側與所述主板固定連接;

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地,所述表面為平面。

另外,本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術方案中,機械手臂傳送晶圓時,晶圓放置在托板的表面,并與絨毛墊接觸,借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上,不易發(fā)生平移,這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷,還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚。 深圳庫存晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇操作機又定義為“是一種機器,其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。

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    基因決定”——生長方法導致若要回答這個問題,首先要說一個大約有100余年歷史的原因。。。1918年,前蘇聯(lián)科學家切克勞斯基(Czochralski)建立起來一種晶體生長方法——直拉式晶體生長方法,簡稱CZ法。硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。首先是硅砂的提純及熔煉。這個階段主要是通過溶解、提純、蒸餾等一系列措施得到多晶硅。接下來是單晶硅生長工藝。就是從硅熔體中生長出單晶硅。高純度的多晶硅放在石英坩堝中,在保護性氣氛中高溫加熱使其熔化。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉著的熔體中緩慢上升,即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠。***一步是晶圓成型。單晶硅錠一般呈圓柱型,直徑從3英寸到十幾英寸不等。硅錠經(jīng)過切片、拋光之后,就得到了單晶硅圓片,也即晶圓。

工業(yè)機械臂不應該稱之為智能制造的未來,智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎?答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應、多傳感信息融合等,將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層次,工業(yè)機械臂只是時下研究的熱點,工業(yè)機械臂在未來智能場景中的角色目前還未能給出定論。簡單的搬運與碼垛,根本無法稱之為智能制造。工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走,而且這條路是否能走得通,還是一個問號呢,目前各國的研究人員都比較看好這個方向,普遍認為機械臂是實現(xiàn)智能制造的很好的載體,可以實現(xiàn)五軸數(shù)控無法實現(xiàn)的大操作空間與靈活性。 機械手臂的應用場景有哪些呢?

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    確定性主要分為兩種主要類型:結構(structured)不確定性和非結構(unstructured)不確定性,非結構不確定性主要是由于測量噪聲、外界干擾及計算中的采樣時滯和舍入誤差等非被控對象自身因素所引起的不確定性。結構不確定性和建模模型本身有關,可分為系統(tǒng)模型①參數(shù)不確定性如負載質(zhì)量、連桿質(zhì)量、長度及連桿質(zhì)心等參數(shù)未知或部分已知。②未建模動態(tài)高頻未建模動態(tài),如執(zhí)行器動態(tài)或結構振動等;低頻未建模動態(tài),如動/靜摩擦力等。模型不確定性給機械臂軌跡**的實現(xiàn)帶來影響,同時部分控制算法受限于一定的不確定性。應用于機械臂控制系統(tǒng)的設計方法主要包括PID控制、自適應控制和魯棒控制等,然而由于它們自身所存在的缺點,促使其與神經(jīng)網(wǎng)絡、模糊控制等算法相結合,一些新的控制方法也在涌現(xiàn),很多算法是彼此結合在一起的。 實現(xiàn)旋轉、升降運動是由橫臂和產(chǎn)柱去完成。韶關新款晶圓運送機械吸臂供應商家

機械手臂根據(jù)結構形式的不同分為多關節(jié)機械手臂.佛山正規(guī)晶圓運送機械吸臂價格

機械臂是指高精度,多輸入多輸出、高度非線性、強耦合的復雜系統(tǒng)。因其獨特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領域得到廣泛應用。機械臂是一個復雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動、外界干擾及未建模動態(tài)等不確定性。因而機械臂的建模模型也存在著不確定性,對于不同的任務, 需要規(guī)劃機械臂關節(jié)空間的運動軌跡,從而級聯(lián)構成末端位姿 [1]  。機器人系統(tǒng)是由視覺傳感器、機械臂系統(tǒng)及主控計算機組成,其中機械臂系統(tǒng)又包括模塊化機械臂和靈巧手兩部分。整個系統(tǒng)的構建模型如圖1 所示.佛山正規(guī)晶圓運送機械吸臂價格

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