東莞本地晶圓運送機械吸臂設計

工業(yè)機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構件；進行激光切割；噴涂；裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣，特別是工業(yè)機械臂，與人的外貌往往毫無相似之處。根據(jù)國家標準，工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復編程、多用途，并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應用中使用”。操作機又定義為“是一種機器，其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。其特征在于：所述機械臂包括內(nèi)部具有真空腔體的鋁合金平板.東莞本地晶圓運送機械吸臂設計

    為圓柱的單晶硅晶錠更便于運輸，有效的避免了在運輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請仔細回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了減少浪費，只裁剪個圓形小口，叫做Notch。***再進行切片，得到的晶圓如下。那么，這個小豁口是做什么用的呢？很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定，在加工的時候也不容易出錯了。所以，為什么“晶圓”沒有方的？？？答案很簡單，是一個歷史遺留的問題，也是一個技術限制的問題。而且，真的沒有必要做出來正方的硅片呢～。 廣東晶圓運送機械吸臂推廣機械手的剛度、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié)，所述的伸展電機、所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

    基因決定”——生長方法導致若要回答這個問題，首先要說一個大約有100余年歷史的原因。。。1918年，前蘇聯(lián)科學家切克勞斯基（Czochralski）建立起來一種晶體生長方法——直拉式晶體生長方法，簡稱CZ法。硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。首先是硅砂的提純及熔煉。這個階段主要是通過溶解、提純、蒸餾等一系列措施得到多晶硅。接下來是單晶硅生長工藝。就是從硅熔體中生長出單晶硅。高純度的多晶硅放在石英坩堝中，在保護性氣氛中高溫加熱使其熔化。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉著的熔體中緩慢上升，即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠。***一步是晶圓成型。單晶硅錠一般呈圓柱型，直徑從3英寸到十幾英寸不等。硅錠經(jīng)過切片、拋光之后，就得到了單晶硅圓片，也即晶圓。 柔性機械臂具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率。

 晶圓是半導體行業(yè)的關鍵元件，隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展，晶圓的搬運技術逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械手：大氣機械手（FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預對準設備上，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求，控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預對準設備上取下，搬運到各個工位進行刻蝕等工藝流程加工，并將加工完的晶圓搬運到接口位置，等待大氣機械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進行，機械手必須要完全滿足真空潔凈度要求，控制精度和可靠性要求極高。運動元件。如油缸、氣缸、齒條、凸輪等是驅(qū)動手臂運動的部件。廣州原裝晶圓運送機械吸臂代理廠家

為此，手臂一般都采用剛性較好的導向桿來加大手臂的剛度.東莞本地晶圓運送機械吸臂設計

無論是從減輕環(huán)境負擔，還是打破對外貿(mào)易壁壘等方面考慮，節(jié)能環(huán)保之路都將成為我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠發(fā)展的主流趨勢。今后中國機械產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將更加注重轉型升級，而在具體的實施策略中，節(jié)能環(huán)保將成為主要的發(fā)展方向。我國是全球極大的我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠生產(chǎn)國和出口國，擁有完整的產(chǎn)業(yè)鏈布局。我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠是我國國民經(jīng)濟支柱產(chǎn)業(yè)和重要的民生產(chǎn)業(yè)。目前我國纖維加工量占世界總量的50%以上，我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠產(chǎn)業(yè)規(guī)模位居世界優(yōu)先。我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠的發(fā)展帶動了我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)的發(fā)展，我國我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)已具有較大的規(guī)模，已經(jīng)形成較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈布局。在我國經(jīng)濟步入發(fā)展新常態(tài)后，我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠行業(yè)也處于新舊增長模式轉換的關鍵時期。實施轉換的獨一途徑是依靠科技創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展。我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠是我國我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠工業(yè)的裝備技術基礎，圍繞我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠工業(yè)結構調(diào)整的需要，發(fā)展我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠裝備技術，提高國產(chǎn)我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠裝備制造水平，是我國我司技術力量雄厚、設備精良，加工經(jīng)驗豐富。目前擁有多臺精密數(shù)控設備、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具，并配備各種精密檢測儀器，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠產(chǎn)業(yè)由大轉強的重要基礎和關鍵。東莞本地晶圓運送機械吸臂設計

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