廣東銷售晶圓運送機(jī)械吸臂公司

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題，本實用新型的一個實施例提供了一種機(jī)械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上，各個所述絨毛墊之間間隔排布。 機(jī)械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢？廣東銷售晶圓運送機(jī)械吸臂公司

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動控制的，可重復(fù)編程、多用途，并可以對3個以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成。它通常有幾個自由度，用以抓取或移動物體（工具或工件）。”所以對工業(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進(jìn)行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。 廣東銷售晶圓運送機(jī)械吸臂公司一般也都裝在手臂上。所以手臂的結(jié)構(gòu)、工作范圍、承載能力和動作精度都直接影響機(jī)械手的工作性能。

裝配機(jī)械人 ；這燈機(jī)械臂要有較高的位姿精度，手腕具有較大的柔性。目前大多用于機(jī)電產(chǎn)品的裝配作業(yè)。⒌專門用途的機(jī)械臂 如醫(yī)用護(hù)理機(jī)械臂、航天用機(jī)械臂、探海用機(jī)械臂以及排險作業(yè)機(jī)械臂等。三、按操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機(jī)械臂操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)型式是機(jī)械臂重要的外形特征，按這一類標(biāo)準(zhǔn)，機(jī)械臂可分為直角坐標(biāo)型，圓柱坐標(biāo)型，球（極）坐標(biāo)型、關(guān)節(jié)型機(jī)械臂（或擬人機(jī)械臂）。操作機(jī)本身的軸數(shù)（自由度數(shù)）**能反應(yīng)機(jī)械臂的工作能力，也是分類的重要依據(jù)。按這一分類要求，機(jī)械臂可分為4軸（自由度）、5軸（自由度）、6軸（自由度）、7軸（自由度）等機(jī)械臂。還有其它多種分類方式?；窘榻B工業(yè)設(shè)計工業(yè)機(jī)械人通常由六項基本元素所組成，包括：結(jié)構(gòu),臂端工具，電腦數(shù)碼控制器，驅(qū)動器，量度回輸系統(tǒng)和感應(yīng)器。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。 如剛性差則會引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

實現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性。東莞直銷晶圓運送機(jī)械吸臂維修電話

實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、升降運動是由橫臂和產(chǎn)柱去完成。廣東銷售晶圓運送機(jī)械吸臂公司

機(jī)械臂的工作原理：

一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動、人力驅(qū)動。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)（如臺虎鉗）、斜鍥壓緊、

導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)（破碎機(jī)常用）、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)（如抓磚頭的）等等。還有簡單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品，可直接購買FESTO等公司的氣動手指。

底座是用來安裝和固定機(jī)器的。

油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的。

升降位置檢測器，要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個預(yù)定高度位置，要么是實時檢測其高度的。

手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時也可以旋轉(zhuǎn)的。

手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器，只是測量對象換了。

機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。 廣東銷售晶圓運送機(jī)械吸臂公司

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