一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,該真空吸附機(jī)械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái);設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記,提高了晶圓的合格率。關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。汕尾進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家
隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展,我們?cè)絹?lái)越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè),那么我們來(lái)說(shuō)說(shuō)工業(yè)機(jī)器人如六軸機(jī)器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機(jī)器人是一種用于自然科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器,六軸機(jī)器人的六個(gè)軸,每個(gè)軸都是一個(gè)電機(jī)配備減速機(jī)來(lái)傳動(dòng),各個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)方式和方向都不同,每個(gè)軸其實(shí)是模擬人手的各個(gè)關(guān)節(jié)的動(dòng)作。
一軸:一軸是連接底座的部位,主要是承載上面軸的重量與底座的左右旋轉(zhuǎn),一個(gè)左右旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作就是使用電機(jī)與減速機(jī)傳動(dòng)的結(jié)果,每個(gè)軸都是代替一個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)方式。
二軸:控制機(jī)器人主臂的前后擺動(dòng)、整個(gè)主臂上下運(yùn)動(dòng)的功能。
三軸:三軸同樣是控制機(jī)器人前后擺動(dòng)功能,只是比第二軸的擺臂范圍小。
四軸:四軸是控制機(jī)器人上面的圓形管的部分可自由旋轉(zhuǎn)的部位,活動(dòng)范圍相當(dāng)于人的小臂,不過(guò)不是360°旋轉(zhuǎn)里面有電線跟人小臂的范圍相同。
五軸:第五軸控制微調(diào)的上下翻轉(zhuǎn)動(dòng)作,通常是當(dāng)產(chǎn)品抓取后可以使產(chǎn)品翻轉(zhuǎn)的動(dòng)作。
六軸:第六軸就是末端法蘭哪個(gè)部分旋轉(zhuǎn)功能。可以360°旋轉(zhuǎn)。 佛山晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器,其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是:現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。
為了解決上述問(wèn)題,本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。
可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。
可選地,所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),并通過(guò)與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。
可選地,所述絨毛為硅樹(shù)脂橡膠絨毛或聚酯樹(shù)膠絨毛。
可選地,所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。
可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。
可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上,各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。
工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的,可重復(fù)編程、多用途,并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器,其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。它通常有幾個(gè)自由度,用以抓取或移動(dòng)物體(工具或工件)?!彼詫?duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng),從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。 隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。
多功能一體化機(jī)械臂,包括機(jī)械臂主體,所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,該種多功能一體化機(jī)械臂,改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),本機(jī)械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的,實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),且在生產(chǎn)過(guò)程中由于體積較小,廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低,同時(shí)工人在使用時(shí),移動(dòng)較為方便,設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),在使用過(guò)程中完全依靠程序芯片控制,液壓器液壓精細(xì)不會(huì)如剛性差則會(huì)引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.深圳進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司
注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手、塑料機(jī)機(jī)械手。汕尾進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家
機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè),顧名思義就是與機(jī)械有關(guān)的行業(yè),在很大程度上影響國(guó)民經(jīng)濟(jì)大發(fā)展,機(jī)械制造業(yè)也在一定程度上體現(xiàn)了經(jīng)濟(jì)建設(shè)水平。隨著經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展,我國(guó)機(jī)械行業(yè)發(fā)展迅速,制造水平明顯提升。細(xì)分市場(chǎng)看,推土機(jī)、平地機(jī)市場(chǎng)呈現(xiàn)出較大的回落趨勢(shì),上述兩個(gè)有限責(zé)任公司市場(chǎng)出口也在收縮。(下滑具有一定的周期性,推土機(jī)在2018年銷量大漲)而汽車起重機(jī)則成為了工程機(jī)械行業(yè)“明星產(chǎn)品”。氧化鋁陶瓷,氧化鋯陶瓷,碳化硅陶瓷,陶瓷機(jī)械手產(chǎn)業(yè)的再制造已經(jīng)成為其產(chǎn)業(yè)鏈中的重要一環(huán)。它不僅為客戶提供降低產(chǎn)品全生命周期成本的極優(yōu)方式,也支持了我國(guó)提倡的發(fā)展綠色循環(huán)經(jīng)濟(jì)的號(hào)召,成為工程機(jī)械行業(yè)未來(lái)發(fā)展的重要方向。生產(chǎn)型企業(yè)圍繞生產(chǎn)源頭、制造過(guò)程和產(chǎn)品性能三個(gè)方面加強(qiáng)科技研發(fā),應(yīng)用制造工藝,實(shí)現(xiàn)綠色制造。推廣節(jié)能低碳技術(shù),采用制造工藝,發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟(jì),形成低加入、低消耗、低排放的業(yè)態(tài)模式,實(shí)現(xiàn)低碳制造。汕尾進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家
深圳市德澳美科技有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明,攜手共畫(huà)藍(lán)圖,在廣東省深圳市等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來(lái)公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**德澳美和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績(jī),一直以來(lái),公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針,員工精誠(chéng)努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng),我們一直在路上!