官方晶圓運送機械吸臂工廠

來源: 發(fā)布時間:2022-01-15

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件,隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一,其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械手:大氣機械手(FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上,工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求,控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上取下,搬運到各個工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工,并將加工完的晶圓搬運到接口位置,等待大氣機械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,機械手必須要完全滿足真空潔凈度要求,控制精度和可靠性要求極高。柔性機械臂具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率。官方晶圓運送機械吸臂工廠

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使用匯編語言編寫計算機程序,程序員仍然需要十分熟悉計算機系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu),所以從程序設(shè)計本身上來看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計算機硬件系統(tǒng)關(guān)系密切,在某些特定的場合,如對時空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實時控制程序等,迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設(shè)計工具。工業(yè)機械臂目前還沒有統(tǒng)一的分類標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類。一、按驅(qū)動方式分1.液壓式 液壓驅(qū)動機械臂通常由液動機(各種油缸、油馬達(dá))、伺服閥、油泵、油箱等組成驅(qū)動系統(tǒng),由驅(qū)動機械臂的執(zhí)行機構(gòu)進(jìn)行工作。通常它具有很大的抓舉能力(高達(dá)幾百公斤以上),其特點是結(jié)構(gòu)緊湊,動 作平穩(wěn),耐沖擊,耐振動,防爆性好,但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能,否則漏油將污染環(huán)境。2.氣動式 其驅(qū)動系統(tǒng)通常由氣缸、氣閥、氣罐和空壓機組成,其特點是氣源方便,動作迅速、結(jié)構(gòu)簡單、造價較低、維修方便。但難以進(jìn)行速度控制,氣壓不可太高,故抓舉能力較低。韶關(guān)新款晶圓運送機械吸臂設(shè)計簡單的搬運與碼垛,根本無法稱之為智能制造。

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2.噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上,重復(fù)位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,一般采用液壓驅(qū)動或交流伺服電機驅(qū)動。3.焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂,它又可分為點焊和弧焊兩類。點焊機械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機械人時,許多人會想到有手,有腳的人型機械.不過, 這類機械人往往出現(xiàn)在科幻電影,***所,展覽會和玩具店中,它們與工業(yè)用的機械人大不相同. 工業(yè)機械人(Industrial Robots)簡稱為IR,它們大多為簡單的操作設(shè)備,有時會被稱為機械臂,例如:進(jìn)行簡單的提起或放下動作,在機器內(nèi)放入或取出工件等.不過,亦有不少工業(yè)機械人可以完全用程式控制,并可進(jìn)行不同類型工作,

工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,可重復(fù)編程、多用途,并可以對3個以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成。它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體(工具或工件)?!彼詫I(yè)機械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時變要求進(jìn)行移動,從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。 手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來確定,其誤差是積累誤差,因而精度較差,其位置精度也更難保證。

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    目前,直拉法是生長晶圓**常用的方法了,除了直拉法之外,常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法,簡稱Fz法。1939年,在貝爾實驗室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭,后來在亨利·休勒、丹·多西等人的協(xié)助下,生長出了高純度的鍺以及硅單晶,并獲得了**。這種方法是利用熱能在半導(dǎo)體多晶棒料的一端產(chǎn)生一熔區(qū),使其重結(jié)晶為單晶。使熔區(qū)沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動,進(jìn)而通過整根棒料,使多晶棒料生長成一根單晶棒料,區(qū)熔法也需要籽晶,且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 X移動,Y移動,Z移動組成,通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動,Y轉(zhuǎn)動,Z轉(zhuǎn)動可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點。官方晶圓運送機械吸臂工廠

該機械臂由用戶的頭腦完全控制,靈巧到足以拿起一個玻璃杯,在沒有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料。官方晶圓運送機械吸臂工廠

輸送半導(dǎo)體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構(gòu)成。在本說明書中,將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,上臂連桿的一端連結(jié)于電機的輸出軸,上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且,前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。在各個關(guān)節(jié)處安裝有軸承,以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn)。在輸送半導(dǎo)體晶圓的機械手中,為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽(shield)安裝于關(guān)節(jié)的軸承。官方晶圓運送機械吸臂工廠

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