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皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時,由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導(dǎo)率降低,導(dǎo)致加熱絲溫度進(jìn)一步升高。這一溫度變化會引起導(dǎo)線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。
皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號放大和信號數(shù)字化的工作。 真空計選型需要注意什么?溫州大氣壓真空計供應(yīng)商
真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細(xì)注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.15K)時,在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr山東大氣壓真空計生產(chǎn)企業(yè)皮拉尼真空計是如何實現(xiàn)的?
利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產(chǎn)生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。a)熱陰極電離規(guī)通過加熱陰極使其發(fā)射電子,進(jìn)而與氣體分子發(fā)生碰撞并電離。電離產(chǎn)生的離子流隨壓力變化,通過測量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到壓力大小。熱陰極電離規(guī)能夠提供高精度的真空度測量,常用于科研和高精度工業(yè)領(lǐng)域。
b)冷陰極電離規(guī)同熱陰極一樣,也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理,不同的是,冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。在測量過程中無需加熱陰極,因此具有較低的能耗和更高的可靠性。它特別適用于需要長時間連續(xù)工作的場合,如大型科研設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)線。其測量精度和穩(wěn)定性也相當(dāng)出色。
真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器,主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測試。其工作原理是通過測量氣體在不同壓力下對傳感器的影響來進(jìn)行壓力測量。常見的真空計包括熱導(dǎo)式真空計、熱陰極離子化真空計和毛細(xì)壓力計等。熱導(dǎo)式真空計通過測量氣體傳熱的方式來測量壓力,熱陰極離子化真空計則利用氣體分子的離子化電流來測量壓力,而毛細(xì)壓力計則利用毛細(xì)管的表面張力和氣體壓力之間的關(guān)系來測量壓力。真空計在科學(xué)研究、電子制造、航空航天等領(lǐng)域都有較廣的應(yīng)用。選擇真空計時需要綜合考慮多個因素。
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號轉(zhuǎn)換:形變通過壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號。信號處理:電信號經(jīng)放大和處理后,輸出與壓力對應(yīng)的讀數(shù)。主要特點高精度:測量精度高,適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕:陶瓷材料耐腐蝕,適合惡劣環(huán)境。穩(wěn)定性好:長期穩(wěn)定性優(yōu)異,漂移小。寬量程:覆蓋從低真空到高真空的范圍。如何選擇真空計才具有更高的性價比?無錫mems真空計生產(chǎn)廠家
真空計按原理可以分哪幾類?溫州大氣壓真空計供應(yīng)商
熱傳導(dǎo)真空計:利用氣體在不同壓強下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導(dǎo)真空計主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴大測量范圍。不過,熱傳導(dǎo)真空計的指示不但和氣體種類有關(guān),而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響,故準(zhǔn)確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計:利用在真空中轉(zhuǎn)動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運動衰減的現(xiàn)象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關(guān)。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中,用旋轉(zhuǎn)磁場把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒,然后停止加速,任其自然衰減,用電子學(xué)方法精確測量其轉(zhuǎn)速衰減率,從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度,吸氣、放氣速率小,壓強指示受氣體種類影響小,如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數(shù)受振動影響較大,測量時間也較長。因此,它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標(biāo)準(zhǔn)真空計或用作標(biāo)準(zhǔn)傳遞真空計。溫州大氣壓真空計供應(yīng)商