凈化工程是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。中文名凈化工程外文名Purificationengineering工程性質(zhì)環(huán)境保護(hù)應(yīng)用制造業(yè)原理亂流潔凈室,單向流潔凈室作用控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度目錄1原理?亂流潔凈室?單向流潔凈室2控制3作用4分類5等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)6行業(yè)應(yīng)用7解決方案凈化工程原理編輯凈化工程亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。這比用紊流來(lái)描述亂流潔凈室更確切、更。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個(gè)5f722852-96d8-430b-a29b-c34頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因?yàn)樗且粋€(gè)突變流和非均勻流。凈化工程中的潔凈室應(yīng)定期進(jìn)行空氣質(zhì)量檢測(cè)和評(píng)估,以確保滿足生產(chǎn)要求。鎮(zhèn)江車間凈化工程
相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露。如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說(shuō)明。對(duì)于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;。鎮(zhèn)江車間凈化工程潔凈室的通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)定期進(jìn)行維護(hù)和檢查,確保其正常運(yùn)行和凈化效果。
其防煙樓梯間、前室、共用前室、合用前室(除共用前室與消防電梯前室合用外)及消防電梯前室應(yīng)采用自然通風(fēng)系統(tǒng);當(dāng)不能設(shè)置自然通風(fēng)系統(tǒng)時(shí),應(yīng)采用機(jī)械加壓送風(fēng)系統(tǒng)。防煙系統(tǒng)的選擇,尚應(yīng)符合下列規(guī)定:1當(dāng)前室或合用前室滿足下列條件之一時(shí),樓梯間可不設(shè)置防煙系統(tǒng):1)采用全敞開的陽(yáng)臺(tái)或凹廊;2)設(shè)有兩個(gè)及以上不同朝向的可開啟外窗,且前室兩個(gè)外窗面積分別不小于2.0m2,合用前室兩個(gè)外窗面積分別不小于3.0m2。2當(dāng)前室、共用前室及合用前室的機(jī)械加壓送風(fēng)口設(shè)置在前室的頂部或正對(duì)前室入口的墻面時(shí)
2.1.8陽(yáng)臺(tái)溢出型煙羽流balconyspillplume從著火房間的門(窗)梁處溢出,并沿著火房間外的陽(yáng)臺(tái)或水平突出物流動(dòng),至陽(yáng)臺(tái)或水平突出物的邊緣向上溢出至相鄰高大空間的煙羽流。2.1.9窗口型煙羽流windowplume從發(fā)生通風(fēng)受限火災(zāi)的房間或隔間的門、窗等開口處溢出至相鄰高大空間的煙羽流。2.1.10擋煙垂壁draftcurtain用不燃材料制成,垂直安裝在建筑頂棚、梁或吊頂下,能在火災(zāi)時(shí)形成一定的蓄煙空間的擋煙分隔設(shè)施。2.1.11儲(chǔ)煙倉(cāng)smokereservoir位于建筑空間頂部,由擋煙垂壁、梁或隔墻等形成的用于蓄積火災(zāi)煙氣的空間。儲(chǔ)煙倉(cāng)高度即設(shè)計(jì)煙層厚度。2.1.12清晰高度clearheight煙層下緣至室內(nèi)地面的高度。2.1.13煙羽流質(zhì)量流量massflowrateofplume單位時(shí)間內(nèi)煙羽流通過(guò)某一高度的水平斷面的質(zhì)量,單位為kg/s。2.1.安裝在機(jī)械排煙系統(tǒng)的管道上,平時(shí)呈開啟狀態(tài),火災(zāi)時(shí)當(dāng)排煙管道內(nèi)煙氣溫度達(dá)到280℃時(shí)關(guān)閉,并在一定時(shí)間內(nèi)能滿足漏煙量和耐火完整性要求,起隔煙阻火作用的閥門。一般由閥體、葉片、執(zhí)行機(jī)構(gòu)和溫感器等部件組成。2.1.b閥smokedamper安裝在機(jī)械排煙系統(tǒng)各支管端部(煙氣吸入口)處。平時(shí)呈關(guān)閉狀態(tài)并滿足漏風(fēng)量要求,火災(zāi)時(shí)可手動(dòng)和電動(dòng)啟閉。凈化工程中的潔凈室應(yīng)建立詳細(xì)的維護(hù)記錄和檔案,方便追溯和管理。
3.對(duì)綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意。稍困難,困難,不可能對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來(lái)評(píng)價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過(guò)該曲線。后來(lái)了解到刷A等級(jí)來(lái)計(jì)量噪聲與噪聲的語(yǔ)音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適,可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。向有很高的要求。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式:(1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。(2)局部照明這是指為增加某一指定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國(guó)外潔凈室的強(qiáng)度要求極高,例如美國(guó)關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是.人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí),500x也是允許的。對(duì)于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為(25—501x),用天然光時(shí)可允許更高的照度,因而對(duì)工作是有利的。在凈化工程中,潔凈室的墻壁和天花板應(yīng)使用無(wú)縫拼接材料,減少塵埃積聚的可能。常州食品凈化工程
潔凈室的潔凈度等級(jí)通常以單位體積內(nèi)空氣中的顆粒物數(shù)量來(lái)表示,如ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)。鎮(zhèn)江車間凈化工程
壁面色彩要和諧、雅致,并便于識(shí)別污染物。?3.門窗與內(nèi)墻而要平直,結(jié)構(gòu)要充分考慮對(duì)空氣和水汽的密封,使污染粒子不易從外部滲入,防止由于室內(nèi)外溫差而產(chǎn)生結(jié)露。室內(nèi)不同潔凈度房間之間的內(nèi)門、內(nèi)窗以及隔斷等縫隙均須密封。?4.施工中應(yīng)控制施工作業(yè)中的發(fā)塵量,特別是吊頂和夾墻內(nèi)部等隱蔽空間,必須隨時(shí)清掃。5.在己安裝高效過(guò)濾器的房間,不能進(jìn)行有粉塵的裝修作業(yè)。?6.注意保護(hù)已完成的作業(yè)面,不得因撞擊、敲打、多水作業(yè)等造成板材凹陷、暗裂和表面裝修的污染。??,提醒一下大家在無(wú)塵車間進(jìn)行裝修施工時(shí)要注意的事項(xiàng):?1.無(wú)塵車間裝修建筑裝飾工程必須與各專業(yè)工種間制定嚴(yán)格的施工程序,一般依次為:留洞打底,各專業(yè)安裝,內(nèi)門窗安裝,修補(bǔ)洞口及周邊,基層打底,飾面抹灰和罩面板工程,嵌縫處理,油漆刷漿工程和裱糊工程。?2.在無(wú)塵車間裝修建筑裝飾施工過(guò)程中,必須隨時(shí)清掃灰塵,對(duì)隱蔽空間(如吊頂和夾墻內(nèi)部等),還應(yīng)做好清掃記錄。?3.塑料板材和卷材面層鋪貼前應(yīng)預(yù)先按規(guī)格大小,厚薄分類,板材或卷材與地面之間應(yīng)滿涂粘接劑,表面趕平,不得漏涂或殘存空氣。?4.密封膠嵌固前,應(yīng)將基槽內(nèi)的雜質(zhì),油污剔除干凈,并保持表面干燥。鎮(zhèn)江車間凈化工程