人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中。由于風速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風速保持在(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復,充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風速可以正確地表示出單向流,因為風速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩停虼瞬贿m合用來表示單向流。單向流室內(nèi)的送風量是紊流室的很多倍(10到100倍)。凈化工程控制編輯潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。在凈化工程中,潔凈室的空氣質(zhì)量監(jiān)測應實現(xiàn)自動化和智能化,提高管理效率。手術(shù)室凈化工程等級
噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下。越是電導率小的非導體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動,因此表現(xiàn)為越容易帶電。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重,是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災害未被重視以前,這些材料料是被廣采用的。凈化工程作用編輯控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。凈化工程分類編輯亂流式(TurbulentFlow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再,欲達需求之潔凈度。滁州車間凈化工程設計在潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)活動時,應盡量減少人員的活動和操作,以減少塵埃的產(chǎn)生。
壁面色彩要和諧、雅致,并便于識別污染物。?3.門窗與內(nèi)墻而要平直,結(jié)構(gòu)要充分考慮對空氣和水汽的密封,使污染粒子不易從外部滲入,防止由于室內(nèi)外溫差而產(chǎn)生結(jié)露。室內(nèi)不同潔凈度房間之間的內(nèi)門、內(nèi)窗以及隔斷等縫隙均須密封。?4.施工中應控制施工作業(yè)中的發(fā)塵量,特別是吊頂和夾墻內(nèi)部等隱蔽空間,必須隨時清掃。5.在己安裝高效過濾器的房間,不能進行有粉塵的裝修作業(yè)。?6.注意保護已完成的作業(yè)面,不得因撞擊、敲打、多水作業(yè)等造成板材凹陷、暗裂和表面裝修的污染。??,提醒一下大家在無塵車間進行裝修施工時要注意的事項:?1.無塵車間裝修建筑裝飾工程必須與各專業(yè)工種間制定嚴格的施工程序,一般依次為:留洞打底,各專業(yè)安裝,內(nèi)門窗安裝,修補洞口及周邊,基層打底,飾面抹灰和罩面板工程,嵌縫處理,油漆刷漿工程和裱糊工程。?2.在無塵車間裝修建筑裝飾施工過程中,必須隨時清掃灰塵,對隱蔽空間(如吊頂和夾墻內(nèi)部等),還應做好清掃記錄。?3.塑料板材和卷材面層鋪貼前應預先按規(guī)格大小,厚薄分類,板材或卷材與地面之間應滿涂粘接劑,表面趕平,不得漏涂或殘存空氣。?4.密封膠嵌固前,應將基槽內(nèi)的雜質(zhì),油污剔除干凈,并保持表面干燥。
AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前先由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設計與施工建設的主流趨勢。目前,國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設計院則在防微震方面技術(shù)。潔凈室的溫度和濕度也需要嚴格控制,以確保生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性和舒適性。
樓梯間可采用自然通風系統(tǒng);當機械加壓送風口未設置在前室的頂部或正對前室入口的墻面時,樓梯間應采用機械加壓送風系統(tǒng)。3當防煙樓梯間在裙房高度以上部分采用自然通風時,不具備自然通風條件的裙房的前室、共用前室及合用前室應采用機械加壓送風系統(tǒng),且前室、共用前室及合用前室送風口的設置方式應符合本條第2款的規(guī)定。3.1.4建筑地下部分的防煙樓梯間前室及消防電梯前室,當無自然通風條件或自然通風不符合要求時,應采用機械加壓送風系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的空氣循環(huán)應盡可能減少渦流和湍流,以提高潔凈度水平。滁州醫(yī)院凈化工程施工
潔凈室的墻面和地面材料應具有抗靜電、易清潔和耐磨損等特性。手術(shù)室凈化工程等級
行業(yè)需求非常巨大。凈化工程解決方案編輯大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求,d4c02075-7d96-4783-993f-d對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此,在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應的措施,例如:夏季要降溫、去濕(因為夏季室外空氣是高溫、高濕的),冬季要加熱加濕(因為冬季室外空氣是寒冷干燥的,室內(nèi)濕度過低會產(chǎn)生靜電,靜電對電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的)。對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調(diào)送風中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。從確保潔凈室內(nèi)相對濕度的精度而言,上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高,故當潔凈室內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題,并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風中,而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。因此,選擇干蒸汽加濕的加濕量時應考慮其噴蒸的效率。手術(shù)室凈化工程等級