對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求； (1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。 (2)吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。 對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風(fēng)速的可行性。 潔凈室的空氣質(zhì)量不僅影響產(chǎn)品質(zhì)量，還直接關(guān)系到員工的健康和生產(chǎn)效率。蕪湖凈化工程標(biāo)準(zhǔn)
近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。 光學(xué)微電子凈化工程一般包括： 1、 潔凈生產(chǎn)區(qū) 2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等） 3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息） 4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房） 材料 1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。江蘇手術(shù)室凈化工程報(bào)價(jià)凈化工程中的潔凈室應(yīng)定期進(jìn)行消毒和清潔處理，以確保環(huán)境的衛(wèi)生和安全。
無菌操作室注意事項(xiàng)：1.安全注意事項(xiàng)嚴(yán)格無菌操作，防止微生物污染；操作人員進(jìn)入無菌室應(yīng)先關(guān)掉紫外燈。2.無菌室應(yīng)設(shè)有無菌操作間和緩沖間，無菌操作間潔凈度應(yīng)達(dá)到10000級(jí)，室內(nèi)溫度保持在20-24℃，濕度保持在45-60%。超凈臺(tái)潔凈度應(yīng)達(dá)到100級(jí)。3.無菌室應(yīng)保持清潔，嚴(yán)禁堆放雜物，以防污染。嚴(yán)防一切滅菌器材和培養(yǎng)基污染，已污染者應(yīng)停止使用。4.無菌室應(yīng)定期用適宜的消毒液滅菌清潔，以保證無菌室的潔凈度符合要求。5.需要帶入無菌室使用的儀器，器械，平皿等一切物品，均應(yīng)包扎嚴(yán)密，萬級(jí)凈化工程標(biāo)準(zhǔn)，并應(yīng)經(jīng)過適宜的方法滅菌。6.工作人員進(jìn)入無菌室前，必須用肥皂或消毒液洗手消毒，然后在緩沖間更換工作服，鞋，帽子，口罩和手套(或用70%的---再次擦拭雙手)，方可進(jìn)入無菌室進(jìn)行操作。7.無菌室使用前必須打開無菌室的紫外燈輻照滅菌30分鐘以上，并且同時(shí)打開超凈臺(tái)進(jìn)行吹風(fēng)。操作完畢，應(yīng)及時(shí)清理無菌室，再用紫外燈輻照滅菌20分鐘。8.供試品在檢查前，應(yīng)保持外包裝完整，不得開啟，以防污染。檢查前，用70％的酒精棉球消毒外表面。9.凡帶有活菌的物品，必須經(jīng)消毒后，萬級(jí)凈化工程造價(jià)，才能在水龍頭下沖洗，嚴(yán)禁污染下水道。
氣壓規(guī)定 對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則： 1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。 壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。 潔凈室中的氣流速度規(guī)定 這里要討論的氣流速度是指 潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說明。 在潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)，應(yīng)盡量避免使用易產(chǎn)生塵埃的設(shè)備和材料。
隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了，所以必須有±，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。潔凈室的潔凈度水平直接影響到產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性，因此應(yīng)給予足夠的重視。南京凈化工程設(shè)備
在凈化工程中，應(yīng)建立嚴(yán)格的潔凈室管理制度和操作規(guī)范，確保潔凈室的長期穩(wěn)定運(yùn)行。蕪湖凈化工程標(biāo)準(zhǔn)
3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口 這是簡易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。 優(yōu)點(diǎn)： A.不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活的; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.造價(jià)比較低。如此類無塵車間初投資約需要40萬; D.送風(fēng)均勻度好。 缺點(diǎn)： A.溫濕度控制較差; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.FFU的維修頻率高。 4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無塵車間的特點(diǎn) A、無塵車間 潔凈度: LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。 蕪湖凈化工程標(biāo)準(zhǔn)