在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范)都是這樣規(guī)定的 垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s 水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s 噪聲控制 潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是: 1.煩惱的效應(yīng) 由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。 2.對(duì)工作效率的影響 這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個(gè)方面是:集中精神,動(dòng)作準(zhǔn)確性,工作速度; 3.對(duì)綜合通訊的干擾 這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能 對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來(lái)評(píng)價(jià)。凈化工程是確保生產(chǎn)環(huán)境潔凈度的關(guān)鍵。滁州凈化工程裝修
旋風(fēng)除塵技能具有設(shè)備費(fèi)用低、可處理低溫氣體、操作容易、適合含塵濃度高的氣體的諸多特點(diǎn)。由于旋風(fēng)除塵器是依靠塵粒慣性分離,除塵效率與粒徑成正比,粒徑大除塵效果好;反之,除塵效果較差(一般處理20微米以上的粉塵,除塵效率在百分之七十到九十)。潔凈室又可以分為工業(yè)潔凈室,生物潔凈室,其中工業(yè)潔凈室主要是以控制空氣中的塵埃,凈化工程,在潔凈室內(nèi)部呈正壓。工業(yè)潔凈室一般在機(jī)械工業(yè),化學(xué)工業(yè),電子工業(yè),光磁工業(yè),電腦硬盤,液晶玻璃等多個(gè)行業(yè)用到的比較多。生物潔凈室,主要是將細(xì)1菌和塵埃掉,將工作區(qū)域保持潔凈狀態(tài)。其中生物潔凈室又可以分為兩類,一般生物潔凈室和生物學(xué)安全潔凈室,一般生物潔凈室主要是控制細(xì)1菌。而生物學(xué)安全潔凈室,主要是控制有害物體,保證人體和外界不受污染。無(wú)錫空氣凈化工程標(biāo)準(zhǔn)凈化工程中,物料的進(jìn)出管理同樣重要。
無(wú)塵室潔凈室凈化的幾種形式致力于為各領(lǐng)域客戶提供好的空氣技術(shù)凈化解決方案。主營(yíng)范圍:實(shí)驗(yàn)室凈化工程、GMP車間、無(wú)菌室、手術(shù)室、防靜電實(shí)驗(yàn)室、恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室、千級(jí)實(shí)驗(yàn)室、百級(jí)實(shí)驗(yàn)室等。凈化工程千萬(wàn)凈化工程可分為層流型和亂流型。層流潔凈室是指空氣由一側(cè)面地以同速流向另一側(cè),使室內(nèi)產(chǎn)生的塵?;蚣?xì)不會(huì)向四周擴(kuò)散而被平推出室外或者經(jīng)過(guò)回風(fēng)口過(guò)濾器過(guò)濾處理,而達(dá)到好的除效果。亂流潔凈室是指空氣由潔凈室頂部經(jīng)過(guò)組合式空調(diào)機(jī)組初中效過(guò)濾器過(guò)濾,加壓由經(jīng)過(guò)保溫的風(fēng)管分散送到各個(gè)房間,后經(jīng)過(guò)高效送風(fēng)口送入潔凈室內(nèi),以達(dá)到凈化的效果。高效過(guò)濾器除技術(shù):空氣要達(dá)到潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度主要靠高效或超高效過(guò)濾設(shè)備,向特定的環(huán)境內(nèi)輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。二、潔凈室室局部高潔凈度凈化1、百級(jí)層流罩:百級(jí)層流罩比較常用語(yǔ)醫(yī)院、制藥、實(shí)驗(yàn)室研究行業(yè)局部空氣凈化裝置。2、百級(jí)超凈工作臺(tái):采用水平或垂直層流方式凈化箱體內(nèi)的空氣,可使操作臺(tái)內(nèi)凈化達(dá)到很高別。3、靜電吸附除凈化技術(shù):靜電吸附除是利用工業(yè)電除塵的原理,采用細(xì)線放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級(jí)線裝置;采用鏡象力荷電吸附作用。
光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析 對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì),應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案,以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn),對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機(jī)+FFU??傊?,具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。 凈化工程中空氣凈化處理方案 ●凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。 ●空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器;中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;凈化工程的監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)具備實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功能。
隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。凈化工程的設(shè)計(jì)應(yīng)考慮到車間內(nèi)部的清潔和消毒流程。滁州半導(dǎo)體凈化工程
凈化工程的設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮生產(chǎn)過(guò)程中的物料流轉(zhuǎn)。滁州凈化工程裝修
高效空氣過(guò)濾器或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高效、高效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。 ●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí),應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無(wú)塵室或凈化車間面積較大時(shí),位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。 ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí),應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施。 ●送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、高效空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。 ●凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外,應(yīng)采取防止室外污染空氣通過(guò)新風(fēng)口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。 ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng),凡工藝過(guò)程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r(shí),則不應(yīng)用回風(fēng)。滁州凈化工程裝修