微納光刻N(yùn)anoscribe微納加工系統(tǒng)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-17

科學(xué)家們基于Nanoscribe的雙光子聚合 技術(shù)(2PP) ,發(fā)明了GRIN 光學(xué)微納制造工藝。這種新的制造技術(shù)實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)單一步操作即可同時(shí)控制幾何形狀和折射率來(lái)打印自由曲面光學(xué)元件。憑借這種全新的制造工藝,科學(xué)家們完成了令人印象深刻的展示制作,打印了世界上特別小的可聚焦可見光的龍勃透鏡(15?μm 直徑)。相似于人類眼睛晶狀體的梯度,這種球面晶狀體的折射率向中心逐漸增加,使其具有獨(dú)特的聚光特性。Nanoscribe的Photonic Professional打印系統(tǒng)可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學(xué)組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅)。突出特點(diǎn)是不再像常規(guī)的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進(jìn)行直寫,而是在孔型支架內(nèi)。通過調(diào)整直寫激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內(nèi)材料的聚合量,從而影響打印材料的有效折射率。更多有關(guān)微納3D打印產(chǎn)品和技術(shù)咨詢,歡迎聯(lián)系Nanoscribe中國(guó)分公司 - 納糯三維科技.微納光刻N(yùn)anoscribe微納加工系統(tǒng)

微納光刻N(yùn)anoscribe微納加工系統(tǒng),Nanoscribe

基于雙光子聚合(2PP)原理的雙光子灰度光刻(2GL®)是Nanoscribe技術(shù),具備體素動(dòng)態(tài)控制能力。在掃描激光焦點(diǎn)橫跨掃描平面時(shí),調(diào)制曝光劑量會(huì)改變光敏樹脂內(nèi)的體素大小,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)聚合體素尺寸的精細(xì)可控變化。這是激光功率調(diào)制和高速振鏡掃描與精確的橫向載物臺(tái)運(yùn)動(dòng)同步的結(jié)果。為此,將灰度圖像轉(zhuǎn)換為曝光級(jí)別的空間變化,從而在一個(gè)平面上打印不同的體素高度。 2GL有什么優(yōu)勢(shì)? 雙光子灰度光刻 技術(shù)(2GL®)使用激光束調(diào)制和高速振鏡的高頻同步進(jìn)行單體素調(diào)節(jié),從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)質(zhì)量表面結(jié)構(gòu)。通過高精度定位單元和自校準(zhǔn)程序,可在拼接相鄰打印區(qū)域時(shí)以出色準(zhǔn)確性進(jìn)行打印,以制造大型結(jié)構(gòu)。2GL動(dòng)態(tài)調(diào)整打印場(chǎng)邊界處的激光劑量,以補(bǔ)償光敏聚合物的化學(xué)誘導(dǎo)收縮和定位缺陷。通過這種功能組合,可以在幾平方厘米的區(qū)域內(nèi)打印出真正的無(wú)縫結(jié)構(gòu),消除所有拼接痕跡。海南2GLNanoscribe多組柱狀體3D復(fù)雜微結(jié)構(gòu)支架是用Nanoscribe自行研發(fā)的IP-Dip光刻膠進(jìn)行3D打印。

微納光刻N(yùn)anoscribe微納加工系統(tǒng),Nanoscribe

Nanoscribe Quantum X align作為前列的3D打印系統(tǒng)具備了A2PL®對(duì)準(zhǔn)雙光子光刻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)在光纖和光子芯片上的納米級(jí)精確對(duì)準(zhǔn)。全新灰度光刻3D打印技術(shù)3D printing by 2GL®在實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的打印質(zhì)量同時(shí)兼顧打印速度,適用于微光學(xué)制造和光子封裝領(lǐng)域。3D printing by 2GL®將Nanoscribe的灰度技術(shù)推向了三維層面。整個(gè)打印過程在最高速度掃描的同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)調(diào)制激光功率。這使得聚合的體素得到精確尺寸調(diào)整,以完美匹配任何3D形狀的輪廓。在無(wú)需切片步驟,不產(chǎn)生形狀失真的要求下,您將獲得具有無(wú)瑕疵光學(xué)表面的任意3D打印設(shè)計(jì)的真實(shí)完美形狀。

Nanoscribe的Photonic Professional GT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,例如用光敏聚合物,納米顆粒復(fù)合物,或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人,并可以選擇添加金屬涂層。此外,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件(DOE),并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻,刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝,衍射光學(xué)元件(DOE)的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長(zhǎng)且成本高。  高度定制化產(chǎn)品,咨詢納糯三維科技(上海)有限公司。

微納光刻N(yùn)anoscribe微納加工系統(tǒng),Nanoscribe

Nanoscribe稱,QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photongrayscalelithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),目前該技術(shù)正在申請(qǐng)專利。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型。該系統(tǒng)配備三個(gè)用于實(shí)時(shí)過程控制的攝像頭和一個(gè)樹脂分配器。為了簡(jiǎn)化硬件配置之間的轉(zhuǎn)換,物鏡和樣品夾持器識(shí)別會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。多層衍射光學(xué)元件(diffractiveopticalelement,DOE)可以通過在掃描平面內(nèi)調(diào)制激光功率來(lái)完成,從而減少多層微制造所需的打印時(shí)間。Nanoscribe表示,折射微光學(xué)也受益于2GL工藝的加工能力,可制作單個(gè)光學(xué)元件、填充因子高達(dá)100%的陣列,以及可以在直接和無(wú)掩模工藝中實(shí)現(xiàn)各種形狀,如球面和非球面透鏡。   Nanoscribe專注于微納米3D打印設(shè)備的額研發(fā)和應(yīng)用。海南科研Nanoscribe多少錢

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Nanoscribe稱,Quantum X是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photon grayscale lithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),目前該技術(shù)正在申請(qǐng)專利。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型。多層衍射光學(xué)元件(diffractiveopticalelement,DOE)可以通過在掃描平面內(nèi)調(diào)制激光功率來(lái)完成,從而減少多層微制造所需的打印時(shí)間。Nanoscribe表示,折射微光學(xué)也受益于2GL工藝的加工能力,可制作單個(gè)光學(xué)元件、填充因子高達(dá)100%的陣列,以及可以在直接和無(wú)掩模工藝中實(shí)現(xiàn)各種形狀,如球面和非球面透鏡。QuantumX的軟件能實(shí)時(shí)控制和監(jiān)控打印作業(yè),并通過交互式觸摸屏控制面板進(jìn)行操作。為了更好地管理和安排用戶的項(xiàng)目,打印隊(duì)列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè)。 微納光刻N(yùn)anoscribe微納加工系統(tǒng)