北京微納NanoscribeQX

來源： 發(fā)布時(shí)間：2024-08-21

基于雙光子聚合（2PP）原理的雙光子灰度光刻（2GL®）是Nanoscribe技術(shù)，具備體素動(dòng)態(tài)控制能力。在掃描激光焦點(diǎn)橫跨掃描平面時(shí)，調(diào)制曝光劑量會(huì)改變光敏樹脂內(nèi)的體素大小，從而實(shí)現(xiàn)對聚合體素尺寸的精細(xì)可控變化。這是激光功率調(diào)制和高速振鏡掃描與精確的橫向載物臺(tái)運(yùn)動(dòng)同步的結(jié)果。為此，將灰度圖像轉(zhuǎn)換為曝光級別的空間變化，從而在一個(gè)平面上打印不同的體素高度。 2GL有什么優(yōu)勢？ 雙光子灰度光刻 技術(shù)（2GL®）使用激光束調(diào)制和高速振鏡的高頻同步進(jìn)行單體素調(diào)節(jié)，從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)質(zhì)量表面結(jié)構(gòu)。通過高精度定位單元和自校準(zhǔn)程序，可在拼接相鄰打印區(qū)域時(shí)以出色準(zhǔn)確性進(jìn)行打印，以制造大型結(jié)構(gòu)。2GL動(dòng)態(tài)調(diào)整打印場邊界處的激光劑量，以補(bǔ)償光敏聚合物的化學(xué)誘導(dǎo)收縮和定位缺陷。通過這種功能組合，可以在幾平方厘米的區(qū)域內(nèi)打印出真正的無縫結(jié)構(gòu)，消除所有拼接痕跡。科學(xué)家們運(yùn)用Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)，實(shí)現(xiàn)微流道母版制造和密閉通道系統(tǒng)內(nèi)部的芯片內(nèi)直接打印。北京微納NanoscribeQX

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德國公司Nanoscribe是高精度增材制造技術(shù)的帶領(lǐng)開發(fā)商，也是 BICO集團(tuán)（前身為Cellin）的一部分，推出了一款新型高精度3D 打印機(jī)，用于制造微納米級的精細(xì)結(jié)構(gòu)。據(jù)該公司稱，新的Quantum X 形狀加入了該公司屢獲殊榮的Quantum X產(chǎn)品線，其晶圓處理能力使“3D 微型零件的批量處理和小批量生產(chǎn)變得容易”。它有望顯著提高生命科學(xué)、材料工程、微流體、微光學(xué)、微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 應(yīng)用的精度、輸出和可用性。基于雙光子聚合(2PP)，一種提供比較高精度和完整設(shè)計(jì)自由度的增材制造方法和Nanoscribe專有的雙光子灰度光刻(2GL)技術(shù)，Nanoscribe認(rèn)為直接激光寫入系統(tǒng)是微加工的比較好選擇幾乎任何2.5D或3D形狀的結(jié)構(gòu)，在面積達(dá)25cm2的區(qū)域上都具有亞微米級精度。Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼首席安全官(CSO)MichaelThiel表示，該公司正在通過其新機(jī)器為科學(xué)和工業(yè)用途的晶圓級高精度微制造設(shè)定新標(biāo)準(zhǔn)。“雖然QuantumX已經(jīng)通過雙光子灰度光刻技術(shù)推動(dòng)了平面微光學(xué)器件的超快速制造，但我們希望QuantumX形狀能夠使基于雙光子聚合的高精度3D打印成為非常出色的高效可靠工具用于研究實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)中的快速原型制作和批量生產(chǎn)?！?/strong>

湖南微納Nanoscribe技術(shù)更多有關(guān)微納3D打印產(chǎn)品和技術(shù)咨詢，歡迎聯(lián)系Nanoscribe中國分公司 - 納糯三維科技（上海）有限公司。

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Nanoscribe的Photonic Professional GT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性，可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作，例如用光敏聚合物，納米顆粒復(fù)合物，或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人，并可以選擇添加金屬涂層。此外，微納米器件也可以直接打印在不同的基材上，甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級衍射光學(xué)元件（DOE），并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級。由于需要多次光刻，刻蝕和對準(zhǔn)工藝，衍射光學(xué)元件（DOE）的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長且成本高。 

對準(zhǔn)雙光子光刻技術(shù)(A2PL®)是Nanoscribe基于雙光子聚合（2PP）的一種新型專利納米微納制造技術(shù)。該技術(shù)可以將打印的結(jié)構(gòu)自動(dòng)對準(zhǔn)到光纖和光子芯片上，例如用于光子封裝中的光學(xué)互連。同時(shí)高精度檢測系統(tǒng)還可以識別基準(zhǔn)點(diǎn)或拓?fù)浠滋卣?，確保對3D打印進(jìn)行高度精確的對準(zhǔn)。 Nanoscribe對準(zhǔn)雙光可光刻技術(shù)搭配nanoPrintX，一種基于場景圖概念的軟件工具，可用于定義對準(zhǔn)3D打印的打印項(xiàng)目。樹狀數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)提供了所有與打印相關(guān)的對象和操作的分層組織，用于定義何時(shí)、何地、以及如何進(jìn)行打印。在nanoPrintX中可以定義單個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)記以及基板特征，例如芯片邊緣和光纖表面。使用Quantum X align系統(tǒng)的共焦單元或光纖照明單元，可以識別這些特定的基板標(biāo)記，并將其與在nanoPrintX中定義的數(shù)字模型進(jìn)行匹配。對準(zhǔn)雙光子光刻技術(shù)和nanoPrintX軟件是Quantum X align系統(tǒng)的標(biāo)配。更多有關(guān)3D微納加工的咨詢。

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科學(xué)家們基于Nanoscribe的雙光子聚合 技術(shù)(2PP) ，發(fā)明了GRIN 光學(xué)微納制造工藝。這種新的制造技術(shù)實(shí)現(xiàn)了簡單一步操作即可同時(shí)控制幾何形狀和折射率來打印自由曲面光學(xué)元件。憑借這種全新的制造工藝，科學(xué)家們完成了令人印象深刻的展示制作，打印了世界上特別小的可聚焦可見光的龍勃透鏡（15?μm 直徑）。相似于人類眼睛晶狀體的梯度，這種球面晶狀體的折射率向中心逐漸增加，使其具有獨(dú)特的聚光特性。Nanoscribe的Photonic Professional打印系統(tǒng)可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學(xué)組件打印于微孔支架材料上（例如孔狀硅材及二氧化硅）。突出特點(diǎn)是不再像常規(guī)的雙光子聚合（2PP）那樣在基體表面進(jìn)行直寫，而是在孔型支架內(nèi)。通過調(diào)整直寫激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內(nèi)材料的聚合量，從而影響打印材料的有效折射率。采用全新SCRIBE技術(shù)（通過激光束曝光控制的亞表面折射率）可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時(shí)，對折射率的調(diào)節(jié)范圍甚至超過0.3。


使用Nanoscribe的Photonic Professional系列打印系統(tǒng)制作的微流控元件可以完全嵌入進(jìn)預(yù)制的二維微流道系統(tǒng)。湖南德國Nanoscribe中國

Nanoscribe秉持著卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）的技術(shù)背景，已然成為微納米生產(chǎn)領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)。北京微納NanoscribeQX

Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)Quantum X ,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)Quantum X，適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件。 Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)Quantum X，適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件。 利用Nanoscribe的雙光子聚合微納3D打印技術(shù)，斯圖加特大學(xué)和阿德萊德大學(xué)的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學(xué)研究中心的科學(xué)家們新研發(fā)的微型內(nèi)窺鏡。將12050微米直徑的微光學(xué)器件直接打印在光纖上，構(gòu)建了一款功能齊全的超薄像差校正光學(xué)相干斷層掃描探頭 北京微納NanoscribeQX