黑龍江灰度光刻微納加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2025-02-22

NanoscribeQuantumXalign作為前列的3D打印系統(tǒng)具備了A2PL®對準雙光子光刻技術(shù),可實現(xiàn)在光纖和光子芯片上的納米級精確對準。全新灰度光刻3D打印技術(shù)3Dprintingby2GL®在實現(xiàn)優(yōu)異的打印質(zhì)量同時兼顧打印速度,適用于微光學制造和光子封裝領(lǐng)域。3Dprintingby2GL®將Nanoscribe的灰度技術(shù)推向了三維層面。整個打印過程在最高速度掃描的同時實現(xiàn)實時動態(tài)調(diào)制激光功率。這使得聚合的體素得到精確尺寸調(diào)整,以完美匹配任何3D形狀的輪廓。在無需切片步驟,不產(chǎn)生形狀失真的要求下,您將獲得具有無瑕疵光學表面的任意3D打印設(shè)計的真實完美形狀。Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司邀您一起探討灰度光刻技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀。黑龍江灰度光刻微納加工系統(tǒng)

黑龍江灰度光刻微納加工系統(tǒng),灰度光刻

Nanoscribe對準雙光可光刻技術(shù)搭配nanoPrintX,一種基于場景圖概念的軟件工具,可用于定義對準3D打印的打印項目。樹狀數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)提供了所有與打印相關(guān)的對象和操作的分層組織,用于定義何時、何地、以及如何進行打印。在nanoPrintX中可以定義單個對準標記以及基板特征,例如芯片邊緣和光纖表面。使用QuantumXalign系統(tǒng)的共焦單元或光纖照明單元,可以識別這些特定的基板標記,并將其與在nanoPrintX中定義的數(shù)字模型進行匹配。對準雙光子光刻技術(shù)和nanoPrintX軟件是QuantumXalign系統(tǒng)的標配。上海德國灰度光刻3D打印想要了解更多雙光子灰度光刻技術(shù),請致電Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。

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QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計自由度。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應用有著重大意義。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設(shè)備,可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),很大程度推動了生命科學,微流體,材料工程學中復雜應用的快速原型制作。QuantumXshape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng),非常適合標準6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造。

德國Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會展LASERWorldofPhotonics上發(fā)布了全新工業(yè)級雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)QuantumX,并榮獲創(chuàng)新獎。該系統(tǒng)是世界first基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的精密加工微納米打印系統(tǒng),可應用于折射和衍射微光學。該系統(tǒng)的面世表示著Nanoscribe已進軍現(xiàn)代微加工工業(yè)領(lǐng)域。具有全自動化系統(tǒng)的QuantumX無論從外形或者使用體驗上都更符合現(xiàn)代工業(yè)需求。這項技術(shù)的關(guān)鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位達到準同步,這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小,并在不影響速度的情況下,使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術(shù)將灰度光刻的性能與雙光子聚合的精確性和靈活性結(jié)合,使其同時具備高速打印,完全設(shè)計自由度和超高精度的特點。從而滿足了復雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求?;叶裙饪碳夹g(shù)將灰度光刻的性能與雙光子聚合的精確性和靈活性結(jié)合。

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納米紋理在納米技術(shù)中起著越來越重要的作用。近期的研究表明,可以通過空間調(diào)節(jié)其納米級像素的高度來進一步增強其功能。但是,實現(xiàn)該概念非常具有挑戰(zhàn)性,因為它需要對納米像素進行“灰度”打印,其中,納米像素高度的精度需要控制在幾納米之內(nèi)。只有少數(shù)幾種方法(例如,灰度光刻或掃描束光刻)可以滿足這種嚴格的要求,但通常其成本較高,并且它們中的大多數(shù)需要化學開發(fā)過程。因此,具有高垂直和水平分辨率的可重構(gòu)灰度納米像素打印技術(shù)受到高度追捧。更多德國雙光子灰度光刻技術(shù)內(nèi)容,敬請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。黑龍江灰度光刻微納加工系統(tǒng)

灰度光刻技術(shù)可實現(xiàn)掩膜版的自適應優(yōu)化。黑龍江灰度光刻微納加工系統(tǒng)

QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù),克服了這些限制,提供了前所未有的設(shè)計自由度和易用性。高精度的增材制造可打印出頂端的折射微納光學元件。得益于Nanoscribe雙光子灰度光刻技術(shù)所具有的設(shè)計自由度和光學質(zhì)量的特點,您可以進行幾乎任何形狀,包括球形,非球形或者自由曲面和混合的創(chuàng)新設(shè)計。Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)所具有的高設(shè)計自由度,可以在各種預先構(gòu)圖的基板上實現(xiàn)波導和混合折射衍射光學器件等3D微納加工制作。結(jié)合Nanoscribe公司的高精度定位系統(tǒng),可以按設(shè)計需要精確地集成復雜的微納結(jié)構(gòu)。黑龍江灰度光刻微納加工系統(tǒng)