手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù)。創(chuàng)造價值是我們永遠(yuǎn)的追求!江西自動探針臺一般多少錢
晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進(jìn)行引用:晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器(自動測試設(shè)備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。云南直流探針臺生產(chǎn)廠家上海勤確科技有限公司終善的服務(wù)、及時的服務(wù)、正確的服務(wù),服務(wù)到每一個客戶滿意。
探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進(jìn)行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺和機(jī)器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。
晶圓級半自動面內(nèi)磁場探針臺詳細(xì)參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場探針臺,通用性設(shè)計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現(xiàn)高效測試;磁場強(qiáng)度≥330 mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150 mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動調(diào)節(jié)±5°,小至調(diào)節(jié)精度5’。晶圓級半自動二維磁場探針臺:詳細(xì)參數(shù)可對晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場,兼容性設(shè)計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現(xiàn)高效測試;磁場強(qiáng)度≥0.7 T;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150 mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動調(diào)節(jié)±5°,小到調(diào)節(jié)精度5’。上海勤確科技有限公司優(yōu)良的服務(wù)隊伍、完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)及強(qiáng)大的合作伙伴。
全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別(自動對準(zhǔn))。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試??梢?4小時連續(xù)工作,通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠(yuǎn)比手動/半自動探針臺要昂貴。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,程序可以設(shè)置映射以匹配器件,可以選擇要檢測的器件。半導(dǎo)體行業(yè)向來有“一代設(shè)備,一代工藝,一代產(chǎn)品”的說法。安徽探針臺公司
探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)。江西自動探針臺一般多少錢
x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。江西自動探針臺一般多少錢