江蘇芯片測試探針臺(tái)哪家好

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-02-19

探針臺(tái)為研究和工程實(shí)驗(yàn)室在測試運(yùn)行期間移動(dòng)通過多個(gè)溫度點(diǎn)時(shí),提供前所未有的自動(dòng)化水平。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知,學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境,在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前,大多數(shù)芯片在兩個(gè)溫度點(diǎn)進(jìn)行晶圓級(jí)測試,通常為20?C(室溫)和90?C?,F(xiàn)在,該范圍已經(jīng)擴(kuò)大到-40?C至125?C,并且可能需要在此范圍內(nèi)的四個(gè)溫度步驟中進(jìn)行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍,如-55?C至200?C,晶圓可靠性測試可能要求高達(dá)300?C的溫度。探針卡使用一段時(shí)間后,由于探針加工及使用過程中的微小差異導(dǎo)致所有探針不能在同一平面上會(huì)造成。江蘇芯片測試探針臺(tái)哪家好

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以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測試、分析。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng),移動(dòng)范圍12mm,移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說明探針是耗材,一般客戶自己準(zhǔn)備),探針探測到的信號(hào)可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上,從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測試同種器件,多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測試。江蘇芯片測試探針臺(tái)哪家好上海勤確科技有限公司堅(jiān)持科學(xué)管理規(guī)范、完善服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)。

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探針卡沒焊好:1.探針卡針焊得不到位;2.基板上銅箔剝落,針焊接不牢固,或焊錫沒有焊好而造成針虛焊;3.探針卡布線斷線或短路;背面有突起物,焊錫線頭針尖磨平:1.針在使用很長時(shí)間后尖正常損耗;2.操作工用過粗的砂子;3.砂針尖時(shí)用力過猛;4.砂得時(shí)間過長;針尖如磨平,使針尖偏離壓點(diǎn),測試無法通過,針尖接觸面大,而接觸電阻大影響參數(shù)測試,所以平時(shí)如果在測片子之前,先拿上卡到顯微鏡下檢查針尖有否磨平,如已磨平應(yīng)及時(shí)換針,操作工在砂針尖時(shí)注意技能,應(yīng)輕輕打磨針尖,而不致于磨平針尖。

在設(shè)備方面,生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的相關(guān)設(shè)備價(jià)格較高,國內(nèi)廠商沒有足夠的資金實(shí)力,采購日本廠商的設(shè)備。另一方面,對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備而言,產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)均會(huì)采購定制化的設(shè)備,客戶提出自身需求和配置,上游設(shè)備廠商通過與大型客戶合作開發(fā),生產(chǎn)出經(jīng)過優(yōu)化的適合該客戶的設(shè)備。因此,即使國產(chǎn)探針廠商想采購日本設(shè)備廠商的專業(yè)設(shè)備,也只能得到標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)品。在原材料方面,國產(chǎn)材質(zhì)、加工的刀具等也不能達(dá)到生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的要求,同時(shí)日本廠商在半導(dǎo)體上游原材料方面占據(jù)的優(yōu)勢,其提供給客戶的原材料也是分等級(jí)的,包括A級(jí)、B級(jí)、S級(jí),需要依客戶的規(guī)模和情況而定。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。

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手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)。在探針臺(tái)上裝上打點(diǎn)器,打點(diǎn)器根據(jù)系統(tǒng)的信號(hào)來判斷是否給芯片打點(diǎn)標(biāo)記。山西全自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)

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探針臺(tái)概要:晶圓探針臺(tái)是在半導(dǎo)體開發(fā)和制造過程中用于晶片電氣檢查的設(shè)備。在電氣檢查中,通過探針或探針卡向晶片上的各個(gè)設(shè)備提供來自測量儀器或測試器的測試信號(hào),并返回來自設(shè)備的響應(yīng)信號(hào)。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設(shè)備上的預(yù)定位置。探針臺(tái)是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段,主要工作是檢測芯片設(shè)計(jì)的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測過程中會(huì)對(duì)芯片樣品逐一檢查,只有通過設(shè)計(jì)驗(yàn)證的產(chǎn)品型號(hào)才會(huì)量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進(jìn)行,主要用到的設(shè)備為測試機(jī)和探針臺(tái)。江蘇芯片測試探針臺(tái)哪家好

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