探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓,易于配置環(huán)境和轉換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。半導體行業(yè)向來有“一代設備,一代工藝,一代產品”的說法。浙江直流探針臺公司
探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺??v觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。浙江直流探針臺公司上海勤確科技有限公司專業(yè)的一站式多方位貼心服務。
探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到器件制造的完成需經過復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關鍵設備。經過檢測,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。
探針臺大家不陌生了,是我們半導體實驗室電性能測試的常用設備,也是各大實驗室的熟客。優(yōu)點太多了,成本低,用途廣,操作方便,對環(huán)境要求也不高,即使沒有超凈間,普通的壞境也可以配置,測試結果穩(wěn)定,客觀。深受工程師們的青睞。手動探針臺用途:探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途??v觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異。
晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時,它的位置會被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時,芯片有內部備用資源可用于修復(即閃存IC);如果它沒有通過某些測試模式,則可以使用這些備用資源。如果故障管芯的冗余是不可能的,則管芯被認為有故障并被丟棄。未通過電路通常在芯片中間用一個小墨水點標記,或者通過/未通過信息存儲在一個名為wafermap的文件中。該地圖通過使用bins對通過和未通過的die進行分類。然后將bin定義為好或壞的裸片。探針臺廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。江蘇直流探針臺加工廠家
隨著探針開始接觸并逐漸深入焊點氧化物和污染物的表層,接觸電阻減小而電流流動迅速開始。浙江直流探針臺公司
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂應與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器(定位器):探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當的位置。一旦固定,操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,并且在某些情況下提供旋轉運動。浙江直流探針臺公司