“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對高產(chǎn)出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強化更小晶粒定位的精確性,需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產(chǎn)出損失。晶圓級半自動面內(nèi)磁場探針臺詳細參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場探針臺,通用性設(shè)計;容納12寸晶圓。湖南芯片測試探針臺公司
為什么要射頻探測?由于器件小形化及高頻譜的應(yīng)用,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,使得儀表本身無法與待測物進行直接連接,如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個問題。射頻探頭和校準基板允許工程師進行精確、重復(fù)的測量與校準。且任何受過一定訓練的工程師都可以進行探針臺的架設(shè)與儀表的校準,以分鐘為單位進行測量。同樣一個Pad測試點,如果通過探針測量與通過焊接SMA接口引出測量線的方法進行測試對比會發(fā)現(xiàn),探針的精度是高于焊接Cable的精度。湖北手動探針臺加工廠家探針卡使用一段時間后,由于探針加工及使用過程中的微小差異導(dǎo)致所有探針不能在同一平面上會造成。
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù)。
高性能密閉微暗室有效屏蔽:腔體采用導(dǎo)電的處理工藝,確保了各零件之間的導(dǎo)通狀態(tài)從而達到全屏蔽的效果,降低系統(tǒng)噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了合理的測試環(huán)境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內(nèi)部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環(huán)境的模擬測試,有效地避免了空氣中的水分在樣品上結(jié)露或者結(jié)霜的存在,通過氣流的特性,填充滿密封腔體內(nèi),使腔體里內(nèi)的氣體露的點進行降低直至到一定的點。探針臺可編程承片臺則安裝在動子之上。
探針臺概要:晶圓探針臺是在半導(dǎo)體開發(fā)和制造過程中用于晶片電氣檢查的設(shè)備。在電氣檢查中,通過探針或探針卡向晶片上的各個設(shè)備提供來自測量儀器或測試器的測試信號,并返回來自設(shè)備的響應(yīng)信號。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設(shè)備上的預(yù)定位置。探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的設(shè)計驗證階段,主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設(shè)計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進行,主要用到的設(shè)備為測試機和探針臺。上海勤確科技有限公司以“真誠服務(wù),用戶滿意”為服務(wù)宗旨。湖南芯片測試探針臺公司
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探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。湖南芯片測試探針臺公司