“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機(jī)制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對高產(chǎn)出的進(jìn)階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強(qiáng)化更小晶粒定位的精確性,需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產(chǎn)出損失。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是工作臺的故障。貴州全自動探針臺生產(chǎn)廠家
電纜安裝探針既可以手動使用,也可以與多軸探針定位器一起使用。與典型的探針臺不同,這些探針足夠大,操作員可以手動使用,非常可靠。探針定位器的位置精度和可重復(fù)性更高,而且本身可以放置,便于進(jìn)行測試。與探針臺不同,同軸電纜安裝探針和定位器可以在工程師或技術(shù)人員的典型測試臺上用作網(wǎng)絡(luò)分析儀、信號發(fā)生器、頻譜分析儀、示波器和其他用于射頻/微波、毫米波和高速數(shù)字應(yīng)用的配件。電纜安裝射頻探針的占位面積小、無損壞,并且具有非侵入式設(shè)計(jì),可在高密度應(yīng)用中進(jìn)行測試,例如天線陣列、超材料、分形天線、微帶傳輸線、緊湊組件以及具有微小表面安裝包裝組件的印刷電路板。北京全自動探針臺配件廠家探針臺廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。
磁場探針臺主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測試,能夠提供磁場或變溫環(huán)境,并進(jìn)行高精度的直流/射頻測量。我們生產(chǎn)各類磁場探針臺,穩(wěn)定性強(qiáng)、功能多樣、可升級擴(kuò)展,適用于各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)的實(shí)驗(yàn)研究和生產(chǎn)。詳細(xì)參數(shù):二維磁場探針臺,包含兩組磁鐵,可同時提供垂直與面內(nèi)磁場;面內(nèi)磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調(diào)整以獲得大的磁場,兼容性強(qiáng);大兼容7組探針(4組RF,3組DC同時測試使用);Y軸提供大行程位移裝置,在不移動探針情況下快速抽拉更換樣品;配備樣品臺傾斜微調(diào)旋鈕,確保樣品平面平行于面內(nèi)磁場方向;至多支持7組探針同時放置:直流探針(3組)+微波探針(4組);XY軸位移行程±12.5mm,T軸旋轉(zhuǎn)±5°;面內(nèi)磁場單獨(dú)施加時,磁場垂直分量優(yōu)于0.025%。
x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。探針臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的。
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品??v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異。重慶高溫探針臺生產(chǎn)廠家
上海勤確科技有限公司一切從實(shí)際出發(fā)、注重實(shí)質(zhì)內(nèi)容。貴州全自動探針臺生產(chǎn)廠家
如果需要一款高量測精度的探針臺,并不是有些廠商單純的認(rèn)為,通過簡單的機(jī)械加工加上一臺顯微鏡就可以完成,我們在探針臺設(shè)備的研發(fā)中有著近二十年的經(jīng)驗(yàn),并有著精細(xì)機(jī)械加工的技術(shù)能力,可以為您提供高準(zhǔn)確的探針臺電學(xué)檢測儀器,同時我們與世界電學(xué)信號測試廠家有著多年的合作,可以提供各類電學(xué)測試解決方案。在對射頻設(shè)備進(jìn)行原型設(shè)計(jì)和測試時,很多情況下,在電路的非端口位置進(jìn)行測試有助于優(yōu)化設(shè)計(jì)或者故障排除。然而實(shí)際操作中,在較高的頻率下進(jìn)行測試是一項(xiàng)更大的挑戰(zhàn)。貴州全自動探針臺生產(chǎn)廠家