探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。經濟手動型根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);X-Y移動行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關;可搭配Probe card測試;適用領域:晶圓廠、研究所、高校等。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是工作臺的故障。上海芯片探針臺配件廠家
探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產品開發(fā)和故障分析應用。河南智能探針臺上海勤確科技有限公司周邊生態(tài)環(huán)境狀況好。
隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。
手動探針臺規(guī)格描述(以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側標配顯微鏡升降機構,可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側標配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調旋轉輪,可微調控制臺面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉,旋轉角度可微調,微調精度為0.1度,標配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動,移動范圍為150mm or 200mm,移動精度為1μm載物臺具備快速導入導出功能。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。
半導體設備的技術壁壘高。隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產半導體產品所需的制造設備需要綜合運用光學、物理、化學等科學技術,具有技術壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。半導體器件生產中,從半導體單晶片到制成成品,須經歷數(shù)十甚至上百道工序。為了確保產品性能合格、穩(wěn)定可靠,并有高的成品率,根據(jù)各種產品的生產情況,對所有工藝步驟都要有嚴格的具體要求。因而,在生產過程中必須建立相應的系統(tǒng)和精確的監(jiān)控措施,首先要從半導體工藝檢測著手。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。北京探針臺哪里有
手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領域。上海芯片探針臺配件廠家
探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據(jù)不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命,損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命。上海芯片探針臺配件廠家