滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養(yǎng):由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態(tài),所以對需要調整的工作臺應有專業(yè)生產廠家或經過培訓的專業(yè)人員完成。在探針臺上裝上打點器,打點器根據系統(tǒng)的信號來判斷是否給芯片打點標記。重慶智能探針臺配件廠家
有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng):平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。陜西控溫探針臺機構晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。
以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上,從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。
探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精確扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。
探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命,損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命。磁場探針臺主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料。湖南自動探針臺機構
手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領域。重慶智能探針臺配件廠家
手動探針臺應用領域:Failure analysis集成電路失效分析;Wafer level reliability晶元可靠性認證;Device characterization元器件特性量測;Process modeling塑性過程測試(材料特性分析);IC Process monitoring制成監(jiān)控;Package part probing IC封裝階段打線品質測試;Flat panel probing液晶面板的特性測試;PC board probing PC主板的電性測試;ESD&TDR testing ESD和TDR測試;Microwave probing微波量測(高頻);Solar太陽能領域檢測分析;LED、OLED、LCD領域檢測分析。重慶智能探針臺配件廠家