真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。結(jié)構(gòu),泵總體結(jié)構(gòu)型式。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。高真空一側(cè)的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。螺桿真空泵供貨費用
羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣,在0°位置時,下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當轉(zhuǎn)到45°位置時,該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強較高,引起一部分氣體返沖過來。當轉(zhuǎn)到90°位置時,下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時,上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時,上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,重復上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個v0體積的氣體。干式螺桿真空泵訂做費用水環(huán)真空泵能獲得的極限真空為2000~4000Pa。
水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡?。水環(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液,所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大,如果工作液的溫度較高,真空泵的入口真空度達到液體的飽和蒸汽壓,水(液)環(huán)真空泵便會產(chǎn)生氣蝕現(xiàn)象,氣蝕的存在對泵的壽命損害比較大,主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近,有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產(chǎn)生,可以降低工作液的溫度,或者降低真空泵的使用真空度,極限壓力為3300~5000Pa之間。
低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整的系列,并研究開發(fā)出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定。
對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定,把它與泵的技術(shù)參數(shù)"進氣口允許較大阻力"Por值比較就可以知道選型是否合適。通常根據(jù)經(jīng)驗采用簡便的方法確定,比如下述幾種情況都屬于負載較大(即泵的抽氣端阻力較大),只能在微型真空泵范圍內(nèi)選型:在泵的抽氣端要接很長的管道,或管道彎曲點多、彎曲厲害甚至會阻塞封閉,或管道內(nèi)孔很小(比如小于φ2毫米);在管路上有節(jié)流閥、電磁閥、氣路開關(guān)、過濾器等元件;泵抽氣口與密閉容器連接,或該容器雖未密閉但進氣量較?。槐贸闅饪谂c吸盤連接,用于吸附物體(如集成塊、精密工件等);⑤泵的抽氣端與過濾容器相連,容器口放置濾網(wǎng),用于加速液體過濾。由于真空應用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)真空泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。環(huán)保真空泵廠家供貨
往復真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞。螺桿真空泵供貨費用
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵,真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)荩婵毡帽仨毦哂星凹壉门浜?,方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感,普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。螺桿真空泵供貨費用
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