工業(yè)真空泵直銷

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-11-28

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口,其價(jià)格十分昂貴。所以,我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。如果真空泵中的如果物料含水或者是有機(jī)溶劑,需要加液態(tài)水過濾器和冷凝器,起到一個(gè)過濾的作用。工業(yè)真空泵直銷

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真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足工藝工作壓力要求,選型時(shí)真空度要高于真空設(shè)備真空度的半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。(如:真空工藝要求100pa(壓力)的真空度,選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求壓強(qiáng)高于3300Pa,則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置,如果壓強(qiáng)要求低于3300Pa,則不能選擇水環(huán)式真空泵,選擇旋片式真空泵或更高真空級(jí)別的真空泵作為真空獲得裝置。真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下,排出氣體、液體,固體的能力),一般單位:m3/h,L/S,m3/min。具體計(jì)算方法可以參考下面公式自行計(jì)算選型。當(dāng)然,真空泵的選型是一個(gè)綜合過程,涉及到相關(guān)經(jīng)驗(yàn)等因素。工業(yè)真空泵直銷真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭。

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對于真空泵,不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機(jī)組來完成,即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機(jī)組就是一臺(tái)直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級(jí)機(jī)組,中真空一般需要二級(jí)機(jī)組。一臺(tái)高真空泵和一臺(tái)低真空泵難于組成有效的高真空機(jī)組。這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級(jí)耐壓的限制,即前級(jí)高于某一壓力,泵就不能正常工作。

羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣,在0°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí),該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高,引起一部分氣體返沖過來。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí),下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí),上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí),上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通,重復(fù)上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞。

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高真空機(jī)組往往需要三級(jí)機(jī)組的另一個(gè)原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強(qiáng),傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級(jí)泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級(jí)泵抽至這一壓力往往需要較長的時(shí)間,因?yàn)殡S著壓力降低泵的抽速在減小,特別是對于周期性抽氣的真空機(jī)組,對達(dá)到工作真空度的時(shí)間是有要求的,預(yù)抽時(shí)間越長,進(jìn)入工作真空度的時(shí)間也越長,故增加一臺(tái)中真空泵與前級(jí)低真空泵配合,可在較短的時(shí)間達(dá)到主泵可以工作的壓力。微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的:一類是排氣很順暢,直通大氣;另一類是排氣阻力較大。微型真空泵電機(jī)廠家直銷

一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件,進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。工業(yè)真空泵直銷

真空泵中的折疊羅茨泵,從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,國外幾家大公司他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計(jì)才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國外羅茨泵羅茨泵工作原理的價(jià)格遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國際市場,這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量,提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。工業(yè)真空泵直銷