真空泵相關(guān)的術(shù)語解釋——真空系統(tǒng)常用名稱： ①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。 ②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。 ③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。 干泵的應(yīng)用情況： 國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，較大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。江蘇螺桿式真空泵供應(yīng)
真空泵的抽氣速率是指單位時間排出氣體的體積.常用單位為升·秒(L·S)。名義抽速：名義抽速是旋片真空泵出廠的標(biāo)牌抽速。按國家標(biāo)準(zhǔn).旋片泵的名義抽速已經(jīng)規(guī)格化了。幾何抽速：幾何抽速是旋片泵在額定轉(zhuǎn)速下.單位時間排出的幾何容積。與吸氣終了時的吸氣腔容積.轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速.以及轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周的吸、排氣次數(shù)有關(guān)。為了使泵充分吸氣.吸氣終了時封閉的吸氣腔應(yīng)為較大。考慮泵中存在返流、泄漏以及進氣通道阻力.為保證泵能夠達到其名義抽速，在設(shè)計時.幾何抽速應(yīng)為名義抽速的1.1~1.15倍。提高泵的轉(zhuǎn)速，可以提高泵的抽速、縮小泵的幾何尺寸。實際抽速：實際抽速為旋片真空泵實際測得的抽速.是入口壓力的函數(shù)。泵在一定壓力范圍內(nèi)，保持一定的抽速.當(dāng)泵人入口壓力較低時，其實際抽速將下降。達到泵的極限壓力時.實際抽速為零。江蘇螺桿式真空泵供應(yīng)變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。
真空泵電機溫度高的對策處理效果： (1)由于軸流風(fēng)機轉(zhuǎn)速高，風(fēng)壓風(fēng)量大，冷卻效果較大增強，在相同的環(huán)境溫度、負荷電流下，主電機溫度下降了12℃。夏季主電機溫度未再超限。 (2)軸流風(fēng)機可人為控制，主電機停運后，軸流風(fēng)機仍可運行，可以使主電機得到充分冷卻。 (3)盡量使2段母線負荷分配平衡，以防某段母線因負荷過重造成電壓下降過多。 (4)電壓調(diào)整后，真空泵運行電流降為210A，發(fā)熱量相對減小。 (5)減緩了主電機的絕緣老化速度，延長了其使用壽命。
真空泵的噪音來源： 真空泵的噪音主要為運行時帶來的機械噪音，真空泵排氣是帶來的空氣性噪音，以及真空泵引起的管道振動。 解決方案： 隔音罩 對真空泵帶來的噪音主要還是以隔音防振為主。對真空泵機組安裝隔聲罩，隔聲罩大小是根據(jù)真空泵的尺寸大小設(shè)計，并且在真空泵隔聲罩上安裝消聲器。 減振器 針對真空泵噪聲結(jié)合現(xiàn)場實際情況，如果真空泵存在機房就應(yīng)該對機房進行隔音處理，安裝隔音材料，在地面使用減震墊，在真空泵下安裝減震器。對真空泵和管道連接可以使用彈性支撐架，并且使用減振材料包扎整個管道用于降低整個設(shè)備帶來的振動影響。 隔音屏障 對真空泵機四周設(shè)置雙層吸隔聲屏障，并在隔音屏障上安裝隔音材料。 真空泵的噪聲是可以通過吸音隔音材、減振等材料進行綜合降噪，可以有效的降低噪音對周圍環(huán)境的影響。真空泵的噪音主要為運行時帶來的機械噪音，真空泵排氣是帶來的空氣性噪音，以及真空泵引起的管道振動。
干式真空泵的制冷方法：現(xiàn)階段目前市面上的干泵要用筒夾冷卻循環(huán)水對轉(zhuǎn)子開展制冷。而有的立柱式螺桿機械泵的制冷系統(tǒng)更與眾不同，例如在泵內(nèi)提升了螺桿內(nèi)部冷卻液制冷及立即汽體制冷，非常好的保持內(nèi)表層的溫度，不會溫度過高或過低，自始至終保持在一個適合的溫度，防止被抽的熱敏性化學(xué)物質(zhì)溶解，及高溫易聚合物的化學(xué)物質(zhì)。干式真空泵的密封性。泵內(nèi)既無與外部中間的水泵密封又無泵腔與制冷冷卻循環(huán)水控制回路中間的密封性，因而能夠 抽除有害危害介質(zhì)。絕大多數(shù)泵的常見故障全是由水泵密封處損壞導(dǎo)致的,而此泵每一軸只能一處無觸碰密封性，不會有由水泵密封損害產(chǎn)生的關(guān)機，及其水泵密封泄漏導(dǎo)致減速箱里的油被抽中泵里，造成真空自然環(huán)境及出氣口環(huán)境污染。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝。江蘇螺桿式真空泵供應(yīng)
真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。江蘇螺桿式真空泵供應(yīng)
旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種形式： ① 油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。 ②干式螺桿真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變?nèi)菡婵毡谩?③液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?④羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。江蘇螺桿式真空泵供應(yīng)
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