氣體捕集泵是真空泵的一種。 氣體捕集泵：這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。 吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵 吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。 吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。 （1）蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。 （2）濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來(lái)的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。福建單滑閥式真空泵
真空泵的機(jī)械安裝： ⑴真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。 ⑵真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動(dòng)小。 ⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少?gòu)濐^。（焊接管路時(shí)應(yīng)清理管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。） ⑷在連接管路中，用戶可在真空泵進(jìn)氣口上方安裝閥門(mén)及真空計(jì)，隨時(shí)可檢查真空泵的極限壓力。上海雙循環(huán)水真空泵廠家在有機(jī)化學(xué)實(shí)驗(yàn)室里常用的減壓泵有水泵和真空泵兩種。
真空泵的噪音來(lái)源： 真空泵的噪音主要為運(yùn)行時(shí)帶來(lái)的機(jī)械噪音，真空泵排氣是帶來(lái)的空氣性噪音，以及真空泵引起的管道振動(dòng)。 解決方案： 隔音罩 對(duì)真空泵帶來(lái)的噪音主要還是以隔音防振為主。對(duì)真空泵機(jī)組安裝隔聲罩，隔聲罩大小是根據(jù)真空泵的尺寸大小設(shè)計(jì)，并且在真空泵隔聲罩上安裝消聲器。 減振器 針對(duì)真空泵噪聲結(jié)合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況，如果真空泵存在機(jī)房就應(yīng)該對(duì)機(jī)房進(jìn)行隔音處理，安裝隔音材料，在地面使用減震墊，在真空泵下安裝減震器。對(duì)真空泵和管道連接可以使用彈性支撐架，并且使用減振材料包扎整個(gè)管道用于降低整個(gè)設(shè)備帶來(lái)的振動(dòng)影響。 隔音屏障 對(duì)真空泵機(jī)四周設(shè)置雙層吸隔聲屏障，并在隔音屏障上安裝隔音材料。 真空泵的噪聲是可以通過(guò)吸音隔音材、減振等材料進(jìn)行綜合降噪，可以有效的降低噪音對(duì)周圍環(huán)境的影響。
粗真空系低溫真空泵主要用來(lái)抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。普遍用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過(guò)程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便、工作可靠、維護(hù)方便的特點(diǎn)。 主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過(guò)程中。它主要用來(lái)抽除空氣和其它無(wú)腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被普遍應(yīng)用于機(jī)械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒(méi)有一種真空泵能覆蓋這個(gè)范圍。
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。 立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。 臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。 泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵。上海工業(yè)真空泵供應(yīng)商
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。福建單滑閥式真空泵
分子真空泵的應(yīng)用情況： 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場(chǎng)合的需要。福建單滑閥式真空泵
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