國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,較大的提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。閔行區(qū)發(fā)展泵修理
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到較好的配置,選擇真空系統(tǒng)時,應(yīng)考慮下述各點: 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。 在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。黃浦區(qū)標(biāo)準(zhǔn)泵生產(chǎn)真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。
真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機(jī)端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動方式的缺點是:a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便;b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱,泵的重心偏向電動機(jī)和齒輪箱一側(cè)。
滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設(shè)備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.4Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn)),雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。 由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心,如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡,在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運動軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線,因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡??梢酝ㄟ^動平衡測試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)做好滑閥的質(zhì)量平衡。真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。
正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。 真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。 真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。真空泵口安裝電磁閥時,閥與真空泵應(yīng)同時動作。長寧區(qū)標(biāo)準(zhǔn)泵推薦咨詢
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。閔行區(qū)發(fā)展泵修理
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