正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。 真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。 真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數(shù)量級。常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等。閔行區(qū)維修泵批發(fā)價格
真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的缺點是:a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便;b.整體結構不勻稱,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。靜安區(qū)質量泵客戶至上真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。
滑閥泵由于其結構特點,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設備上?;y泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.4Pa(均關氣鎮(zhèn)),雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(關氣鎮(zhèn))。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。 由于滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心,如果滑閥沒有很好的質量平衡,在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線,因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡??梢酝ㄟ^動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。
水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水環(huán)式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。 水環(huán)泵初始用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到了應用。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應用日益增多。真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。普陀區(qū)有口碑的泵經(jīng)驗豐富
真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。閔行區(qū)維修泵批發(fā)價格
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到較好的配置,選擇真空系統(tǒng)時,應考慮下述各點: 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍,必須認真研究確定之。 在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發(fā)生反應,泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。閔行區(qū)維修泵批發(fā)價格
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