真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到較好的配置，選擇真空系統(tǒng)時，應(yīng)考慮下述各點： 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。 在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應(yīng)同時動作。上海標(biāo)準(zhǔn)泵生產(chǎn)廠家
水環(huán)泵初始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到了應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。如圖：（見附加圖片）在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時針旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的下部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個小腔。閔行區(qū)現(xiàn)代泵推薦咨詢真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。 立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。 臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。青浦區(qū)發(fā)展泵哪家好
真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實堅固的場所，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護、保養(yǎng)。上海標(biāo)準(zhǔn)泵生產(chǎn)廠家
滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設(shè)備上?；y泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.4Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。 由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡，在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運動軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡?？梢酝ㄟ^動平衡測試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)做好滑閥的質(zhì)量平衡。上海標(biāo)準(zhǔn)泵生產(chǎn)廠家
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