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來源: 發(fā)布時間:2024-07-01

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VAISALA維薩拉是許多半導(dǎo)體制造廠測定鎢的CMP研磨液中H2O2濃度的儀器供應(yīng)商Published:三月17,2021工業(yè)測量液體測量化學(xué)機械研磨/拋光(CMP)將化學(xué)反應(yīng)和機械研磨結(jié)合在一起,是一項成本高昂且具有挑戰(zhàn)性的重要納米拋光工藝。這一工藝是集成電路制造中關(guān)鍵的使能步驟,對產(chǎn)量和工作效率都會產(chǎn)生影響。CMP簡介拋光工藝使用含氧化劑的漿料完成,氧化劑通常為過氧化氫(H2O2)。在制造過程中,將晶圓和拋光墊緊密地壓在一起,同時使二者各自以略微不同的速度逆時針旋轉(zhuǎn)。將漿料鋪在拋光墊中心,然后結(jié)合運用機械操作和化學(xué)操作,逐步除去晶圓表面的材料,使晶圓表面局部和整體都順滑平坦。使用CMP漿料前,先在工廠對其進行混合或稀釋。氧化物拋光漿料在購買時通常為濃縮狀態(tài),使用前在現(xiàn)場加水稀釋,以減少運輸和人工成本。一些多組分拋光漿料只能隨用隨混,因為這些漿料在混合后有效期很短。確保正確地混合至關(guān)重要,寧波蔬菜大棚溫濕度傳感器品牌7100-0066-0100-000 WH-400 1200-0010-4000-0 WH-20 1202-1042-0000-001 LS-Kabelsonde 7000-0050-2200-100 SF-M。

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維薩拉VAISALA工業(yè)測量部的產(chǎn)品涵蓋了測量溫濕度、露點儀、二氧化碳、油中水分、變壓器溶解氣體、過氧化氫、沼氣、液體濃度、大氣壓力等,并廣泛應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、民用及科研院所,主要包括半導(dǎo)體、汽車制造、食品與飲料、電力、生命科學(xué)、暖通空調(diào)等諸多領(lǐng)域。儀表手持式溫濕度表HM70維薩拉 HUMICAP HM70 設(shè)計用于要求嚴苛的現(xiàn)場抽檢及比對,也是用于維薩拉固定濕度儀的現(xiàn)場檢查和校準的理想選擇。Image儀表溫度和濕度探頭 HMP1維薩拉 HUMICAP® 溫濕度探頭 HMP1 設(shè)計用于室內(nèi)空間的環(huán)境測量。

本質(zhì)安全型溫濕度變送器系列HMT370EX適用于0區(qū)和20區(qū)HMT370EX已獲得ATEX、IECEx、CML、NEPSI、KC、FM、CSA和UKEX本質(zhì)安全認證。本質(zhì)安全型HMT370EX是適用于級別在0區(qū)和20區(qū)的危險區(qū)域的理想解決方案。除了測量相對濕度和溫度外,該變送器還輸出其他濕度參數(shù):露點儀溫度、濕球溫度、***濕度、混合比、水濃度、水質(zhì)量分數(shù)、水汽壓和焓值。另有用于測量油中和噴氣燃料油中微量水分的特殊型號可供選擇。聯(lián)系我們數(shù)據(jù)表典型應(yīng)用場景典型應(yīng)用場景包括燃料儲罐,化學(xué)品生產(chǎn)、藥品和食品加工,沼氣生產(chǎn),噴漆車間,以及任何其他需要本質(zhì)安全型濕度或油中微量水分測量的行業(yè)或工藝流程。查看ee372-teha03d08/cd2-td03 ee372-teha07d08/cd2-td03 ee372-tiha03d08/cd3-td03 ee372-tiha07d08/cd2-td03 .

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因為混合效果直接關(guān)系到化學(xué)反應(yīng)速率和晶圓拋光速率;混合過程中的任何缺陷都會對可制造性和可靠性產(chǎn)生負面影響。盡管制造點(POM)的漿料控制很嚴格,但后續(xù)過程(包括運輸、處理和過濾)會影響化學(xué)特性,因此需要對漿料進行連續(xù)監(jiān)測,直到抵達使用點(POU)為止,以確保實現(xiàn)高產(chǎn)量。這樣就需要有效、快速、可靠、準確且經(jīng)濟高效的計量工具和方法,因此許多制造廠選擇使用折光儀。如何借助折射率測量技術(shù)來提高生產(chǎn)質(zhì)量折射率(RI)測量技術(shù)是一種不消耗漿料的連續(xù)在線測量方法,可幫助制造廠在傳遞工藝相關(guān)的實時信息時迅速識別出漿料成分錯誤,從而減少存在風(fēng)險的晶圓數(shù)量。CMP漿料攜帶納米顆粒,其固體含量為1-30%(取決于漿料類型),因此對其中的過氧化氫濃度進行分析極具挑戰(zhàn)性。但通過對特定漿料的折射率及溫度特性進行標定,RI測量法可以不懼這些困難條件,成功測量出鎢漿料中的過氧化氫濃度并將誤差控制在±0.03%(重量)以內(nèi)。此外,內(nèi)蒙古溫濕度變送器溫濕度傳感器價格

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