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一端通過匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負(fù)半周分別打到絕緣靶上。由于電子遷移率高于正離子,絕緣靶表面帶負(fù)電,在達(dá)到動態(tài)平衡時,靶處于負(fù)的偏置電位,從而使正離子對靶的濺射持續(xù)進(jìn)行。采用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個數(shù)量級。離子鍍蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面,稱為離子鍍。這種技術(shù)是D.麥托克斯于1963年提出的。離子鍍是真空蒸發(fā)與陰極濺射技術(shù)的結(jié)合。一種離子鍍系統(tǒng)如圖4[離子鍍系統(tǒng)示意圖],將基片臺作為陰極,外殼作陽極,充入惰性氣體(如氬)以產(chǎn)生輝光放電。從蒸發(fā)源蒸發(fā)的分子通過等離子區(qū)時發(fā)生電離。正離子被基片臺負(fù)電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發(fā)料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。電場對離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和氬離子對基片的濺射清洗作用,使膜層附著強(qiáng)度提高。離子鍍工藝綜合了蒸發(fā)(高沉積速率)與濺射(良好的膜層附著力)工藝的特點(diǎn),并有很好的繞射性,可為形狀復(fù)雜的工件鍍膜。操作規(guī)程1.在真空鍍膜機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常情況下,開動真空鍍膜機(jī)時。通過在真空環(huán)境中加熱、蒸發(fā),進(jìn)而在基材表面形成一層均勻、致密的薄膜!永嘉pvd真空鍍膜效果圖
真空鍍膜后的產(chǎn)品膜層脫落可能由多種因素導(dǎo)致。以下是一些主要原因及解決方法:表面清潔度不足:產(chǎn)品表面如果不夠潔凈,會導(dǎo)致鍍膜附著力不佳??梢酝ㄟ^離子源清洗時增加氬氣流量和延長清洗時間來解決。清洗過程中的問題:鍍前清洗不到位或更換了清洗液都可能導(dǎo)致膜層附著力減弱。應(yīng)確保鍍前清洗徹底,并避免隨意更換清洗液。工藝參數(shù)變動:工藝參數(shù)如鍍膜時間和電流的變化都可能影響膜層質(zhì)量。需要在這些參數(shù)上做適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。靶材問題:如鈦靶中毒或老化,都會影響鍍膜質(zhì)量。需要定期檢查并更換靶材。真空腔漏氣:真空腔如果漏氣,會導(dǎo)致鍍膜過程中的真空度不足,影響膜層質(zhì)量。需要進(jìn)行檢漏并修復(fù)漏氣點(diǎn)。產(chǎn)品表面氧化:產(chǎn)品表面如果發(fā)生氧化,會直接影響膜層的附著性。應(yīng)控制氧化過程并采取措施減少氧化因素。過度蒸發(fā):在金屬真空鍍膜過程中,由于蒸發(fā)源的熱量和濺射材料的過度加熱,蒸發(fā)比率會提高,導(dǎo)致膜層變薄甚至掉落。為避免過度蒸發(fā),需要嚴(yán)格控制蒸發(fā)源的熱量和濺射材料的加熱過程。沉積物問題:如果在真空鍍膜前沒有正確清洗基材,沉積物會附著在基材表面,干擾薄膜的生長,導(dǎo)致掉膜。因此,定期清洗基材以去除沉積物是必要的。 永嘉pvd真空鍍膜效果圖在真空環(huán)境下,有利于金屬或其他材料原子或分子的蒸發(fā)和濺射,從而確保鍍層的質(zhì)量和均勻性!
UV真空鍍膜技術(shù)是一種采用紫外線輔助的真空鍍膜技術(shù)。該技術(shù)能夠在高度真空的條件下,利用物理或化學(xué)方法,將被鍍材料的原子、分子或離子從固態(tài)或液態(tài)源材料中揮發(fā)、蒸發(fā)、剝離后,再通過凝結(jié)的方式沉積在被鍍物體的表面,形成薄膜。UV真空鍍膜技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):高沉積速率:該工藝能夠快速地沉積薄膜,縮短了整個鍍膜過程的時間。高光學(xué)性能:制備的薄膜材料具有良好的光學(xué)性能,例如高透射率和低反射率等。環(huán)保節(jié)能:在薄膜制備過程中不使用有害化學(xué)物質(zhì),對環(huán)境無污染,并且能夠節(jié)約能源。薄膜均勻性好:該工藝可以有效地控制薄膜的成分和厚度,確保薄膜具有良好的均勻性。適用性:UV真空鍍膜技術(shù)可以制備多種不同的薄膜材料,并普遍應(yīng)用于多個領(lǐng)域,如汽車、消費(fèi)電子、家居裝飾和包裝行業(yè)等。綜上所述,UV真空鍍膜技術(shù)因其高速度、高光學(xué)性能、環(huán)保節(jié)能、薄膜均勻性好等優(yōu)點(diǎn),在多個領(lǐng)域中得到了普遍的應(yīng)用。
主要包括常壓化學(xué)氣相沉積、低壓化學(xué)氣相沉積和兼有CVD和PVD兩者特點(diǎn)的等離子化學(xué)氣相沉積等。[1]特點(diǎn)/真空鍍膜[一種機(jī)械工程]編輯真空鍍膜技術(shù)與濕式鍍膜技術(shù)相比較,具有下列優(yōu)點(diǎn):(1)薄膜和基體選材廣,薄膜厚度可進(jìn)行控制,以制備具有各種不同功能的功能性薄膜。(2)在真空條件下制備薄膜,環(huán)境清潔,薄膜不易受到污染,因此可獲得致密性好、純度高和涂層均勻的薄膜。(3)薄膜與基體結(jié)合強(qiáng)度好,薄膜牢固。(4)干式鍍膜既不產(chǎn)生廢液,也無環(huán)境污染。真空鍍膜技術(shù)主要有真空蒸發(fā)鍍、真空濺射鍍、真空離子鍍、真空束流沉積、化學(xué)氣相沉積等多種方法。除化學(xué)氣相沉積法外,其他幾種方法均具有以下的共同特點(diǎn):(1)各種鍍膜技術(shù)都需要一個特定的真空環(huán)境,以保證制膜材料在加熱蒸發(fā)或?yàn)R射過程中所形成蒸氣分子的運(yùn)動,不致受到大氣中大量氣體分子的碰撞、阻擋和干擾,并消除大氣中雜質(zhì)的不良影響。(2)各種鍍膜技術(shù)都需要有一個蒸發(fā)源或靶子,以便把蒸發(fā)制膜的材料轉(zhuǎn)化成氣體。由于源或靶的不斷改進(jìn),擴(kuò)大了制膜材料的選用范圍,無論是金屬、金屬合金、金屬間化合物、陶瓷或有機(jī)物質(zhì),都可以蒸鍍各種金屬膜和介質(zhì)膜,而且還可以同時蒸鍍不同材料而得到多層膜。。真空鍍膜技術(shù)憑借其獨(dú)特的技術(shù)特點(diǎn),在眾多領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用!
電鍍金使用的材質(zhì)是真金,但它是以離子形式存在于電解液中。電鍍金是通過電化學(xué)反應(yīng),在金屬表面形成一層金屬或合金的表面處理工藝,其中金層是真金,并且其純度和電解液中金離子的純度相同。通過控制電解液中金離子的純度,可以控制電鍍出來的金層的純度。電鍍金鍍層具有耐蝕性強(qiáng)、導(dǎo)電性好、易于焊接、耐高溫、耐磨性等特點(diǎn),同時金合金鍍層還具有多種色調(diào),因此被普遍用于裝飾性鍍層,如首飾、鐘表零件、藝術(shù)品等,也用于功能性鍍層,如精密儀器儀表、集成電路、電子管殼等要求電參數(shù)性能長期穩(wěn)定的零件電鍍。需要注意的是,雖然電鍍金使用的是真金,但由于金的價(jià)格昂貴,應(yīng)用受到一定限制,因此在實(shí)際應(yīng)用中,為了節(jié)約成本,可能會出現(xiàn)刷鍍金、脈沖鍍金等選擇性或薄層電鍍技術(shù)。同時,電鍍金工藝中的某些步驟可能涉及環(huán)保問題,如無氰電鍍技術(shù)正逐漸取代含氰電鍍技術(shù),以減少對環(huán)境和人體的危害。如涉及具體的應(yīng)用或購買決策,請進(jìn)一步咨詢專業(yè)人士或查閱相關(guān)技術(shù)資料。 靈活性高:真空鍍膜技術(shù)適用于多種基材,如金屬、塑料、玻璃等!龍港真空鍍膜單價(jià)
真空鍍膜技術(shù),作為一種在真空環(huán)境下進(jìn)行的電鍍技術(shù),具有許多的技術(shù)特點(diǎn)!永嘉pvd真空鍍膜效果圖
可精確地做出所需成分和結(jié)構(gòu)的單晶薄膜。分子束外延法普遍用于制造各種光集成器件和各種超晶格結(jié)構(gòu)薄膜。濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上。濺射現(xiàn)象于1870年開始用于鍍膜技術(shù),1930年以后由于提高了沉積速率而逐漸用于工業(yè)生產(chǎn)。常用的二極濺射設(shè)備如圖3[二極濺射示意圖]。通常將欲沉積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?;糜谡龑Π忻娴年枠O上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入10~1帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽極間加幾千伏電壓,兩極間即產(chǎn)生輝光放電。放電產(chǎn)生的正離子在電場作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點(diǎn)的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法,即將反應(yīng)氣體(O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對面的電極上。高頻電源一端接地。永嘉pvd真空鍍膜效果圖