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涂膠:厭氧膠通常都是小體積的容器包裝,因此在使用的時(shí)候可以直接涂覆。涂膠時(shí),要避免膠嘴直接接觸到金屬基材,會(huì)造成膠水的污染。膠量要能夠充分填充兩個(gè)基材之間的空隙,保證能把基材中間的空氣排出去。對(duì)于像螺紋鎖固這樣的應(yīng)用,可以將膠水點(diǎn)在螺栓頂端即可,裝配時(shí)可以通過旋轉(zhuǎn)將膠水填滿整個(gè)空隙。膠層厚度:膠水產(chǎn)品在使用的時(shí)候,有一個(gè)膠層厚度的問題。不是膠水用的越多,粘接效果就越好。對(duì)于厭氧膠來說也是一樣。建議厭氧膠的膠層厚度控制在0.03-0.05mm范圍內(nèi)。如果兩個(gè)基材之間的間距過大,那需要在膠層中間增加金屬墊片以獲得理想的粘接效果。未來,涂膠技術(shù)將繼續(xù)發(fā)展,應(yīng)用范圍也將不斷擴(kuò)大。嘉興尼龍涂膠打樣
聚酰亞胺涂膠顯影工藝本文中實(shí)驗(yàn)采用沈陽芯源公司自主研發(fā)的KS-S150型前道Track設(shè)備,該機(jī)型可完成涂膠與顯影工藝。聚酰亞胺材料作為具有特殊性質(zhì)的材料,其光刻工藝參數(shù)也不同于普通光刻膠。聚酰亞胺的特殊性質(zhì)給光刻工藝造成了一定的難度,比如其遠(yuǎn)高于普通光刻膠的黏稠度和不穩(wěn)定性等。普通光刻膠的黏稠度是10~1000CP,而聚酰亞胺材料的黏稠度達(dá)到了2000~15000CP。因此,為了能夠?qū)崿F(xiàn)大規(guī)模聚酰亞胺產(chǎn)品的量產(chǎn),保證工藝良率,工藝仍需優(yōu)化。本實(shí)驗(yàn)工藝流程:非感光負(fù)性聚酰亞胺材料涂覆(PIcoating)→感光光刻膠涂覆(PRcoating)→曝光(EXP)→邊緣曝光(WEE)→顯影(DEV)。硅膠點(diǎn)膠打樣涂膠適用于小面積的粘接。
傳統(tǒng)聚酰亞胺材料涂膠顯影工藝在芯片制造工藝中,可以大致分為:硅片的清洗、氧化、光刻膠涂覆、曝光、顯影、刻蝕、離子注入等。其中很關(guān)鍵的就是涂膠、對(duì)準(zhǔn)曝光和顯影。涂膠工藝是由Track設(shè)備完成的,采用的是旋轉(zhuǎn)式涂膠方法。光刻膠通過噴膠系統(tǒng)噴出,緊接著就是完成涂膠工序。此系統(tǒng)主要包括底部的真空吸盤將硅片固定在涂膠盤上、打膠系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、速度可控的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、膠泵以及邊緣去膠模塊。對(duì)于洗邊液,聚酰亞胺材料配套的洗邊液的洗邊效果較差,在實(shí)際應(yīng)用中,無法達(dá)到普通PR涂覆時(shí)的切邊效果,若涂膠時(shí)邊緣存在切不整齊的問題,在后續(xù)顯影工藝中,邊緣就容易出現(xiàn)聚酰亞胺材料的殘留,影響后續(xù)工藝。
5、螺栓點(diǎn)膠機(jī)涂膠機(jī)非標(biāo)定做涂膠機(jī)要嚴(yán)格按照膠水廠家給出的溫度曲線,對(duì)涂膠后的產(chǎn)品進(jìn)行固化。6、合理選取自動(dòng)涂膠機(jī)的針頭,針頭內(nèi)徑為膠點(diǎn)直徑的一半效果理想,對(duì)于腐蝕性比較強(qiáng)的膠水,要選取鐵氟龍針頭,如果是UV膠的膠水,則選取具有屏蔽UV光作用的針筒及針頭。厭氧膠(Anaerobe)又稱作螺紋膠,絕氧膠等。厭氧膠是一種單組分的膠水,這類型膠水的特點(diǎn)是,當(dāng)它與空氣或者氧氣接觸時(shí)不會(huì)固化,一旦處于隔絕空氣并且有金屬離子存在的環(huán)境下,就會(huì)開始聚合從而形成交聯(lián)的固態(tài)聚合物,可用于粘接和密封。噴涂涂膠適用于需要快速粘接的場(chǎng)合。
涂膠技術(shù)是一種常見的工業(yè)制造技術(shù),它可以將膠水均勻地涂布在物體表面上,從而實(shí)現(xiàn)粘合、密封、涂覆等多種功能。涂膠技術(shù)的應(yīng)用范圍非常廣,涵蓋了汽車、電子、航空航天、建筑等多個(gè)領(lǐng)域。涂膠技術(shù)的心臟是膠水的涂布過程。傳統(tǒng)的涂膠方法包括手工涂膠、刷涂、滾涂等,但這些方法存在著涂布不均勻、浪費(fèi)膠水、工作效率低等問題。隨著科技的發(fā)展,涂膠技術(shù)也在不斷創(chuàng)新,出現(xiàn)了噴涂、滴涂、刮涂等新型涂膠方法,使得涂膠技術(shù)更加高效、精確。涂膠技術(shù)的發(fā)展離不開膠水的研發(fā)。隨著材料科學(xué)的進(jìn)步,新型膠水不斷涌現(xiàn),如熱熔膠、UV膠、水性膠等。這些膠水具有粘性強(qiáng)、干燥快、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn),為涂膠技術(shù)的應(yīng)用提供了更多的選擇。螺栓預(yù)涂膠工藝具體操作流程。金華緊固件涂膠報(bào)價(jià)
在涂膠過程中需要嚴(yán)格控制每個(gè)步驟的質(zhì)量,確保涂膠的質(zhì)量符合要求。嘉興尼龍涂膠打樣
在PIcoating時(shí)做到邊緣減薄,由于邊緣清洗液無法做到將邊緣整齊切掉,故只可起到邊緣減薄的效果,以往邊緣清洗開始步驟是在主轉(zhuǎn)速膜厚控制步驟之后,本實(shí)驗(yàn)在主轉(zhuǎn)速膜厚控制步驟開始時(shí)增加邊緣清洗,以增加邊緣沖洗時(shí)間,減薄邊緣膜厚。涂膠顯影工藝完成后,肉眼可見邊緣殘留明顯減少,證明增加邊緣清洗進(jìn)行邊緣減薄可解決部分邊緣殘留。在邊緣清洗后,采用高速甩干的方法,將多余膠絲甩掉,防止其拉絲后旋轉(zhuǎn)驟停導(dǎo)致膠絲回縮,這樣可優(yōu)化晶圓邊緣區(qū)域,使邊緣膠膜整齊,在該條件下,采用兩次顯影的方式可以做到顯影后晶圓邊緣無殘留。嘉興尼龍涂膠打樣
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