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聚酰亞胺材料顯影工藝影響聚酰亞胺顯影工藝的因素較多,隨著烘烤的條件、膠的厚度、曝光能量以及顯影方式等多種因素而不斷變化,并且它是產(chǎn)生各種缺陷的關(guān)鍵因素。如果顯影不足會造成顯影不凈,而顯影過度則會造成過顯,導(dǎo)致線寬偏大。由于聚酰亞胺高黏稠度導(dǎo)致它相對一般光刻膠而言較難被顯影干凈,所以選擇兩次顯影方式。聚酰亞胺的顯影工藝是光刻工藝中至關(guān)重要的部分。本實(shí)驗(yàn)中,聚酰亞胺較難被清洗干凈的位置為晶圓邊緣,存在PI微殘留。涂膠不均勻或者膠水選擇不當(dāng),會導(dǎo)致粘合不牢,影響產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。緊固件防松涂膠廠家
涂膠機(jī)床身:涂膠機(jī)床身為工業(yè)鋁型材與鈑金結(jié)構(gòu),尺寸設(shè)計(jì)緊湊,外觀輕巧美觀,占地尺約寸控制在1.1m*1.1m左右。部位說明:(1)為了減少上料的頻繁性,添加缺料檢測裝置。(2)為了減少噪音,設(shè)備工作區(qū)域?yàn)榉忾]式。(3)考慮到滑槽的耐磨與美觀性;滑槽采用不銹鋼制作。(4)上料裝置添加無料探測裝置。(5)自動檢測墊片正反面(在保證墊片合格的情況下),墊片正反識別率99%以上。(6)膠水料桶加裝無膠檢測,膠料到達(dá)一定量時(shí)設(shè)備自動報(bào)警,提示添加膠水。(7)螺栓供料位加裝有螺栓涂膠位螺牙除塵裝置,并配有灰塵收集系統(tǒng)。設(shè)備生產(chǎn)節(jié)拍單料道涂膠的時(shí)間6-9秒;雙料道涂膠的時(shí)間7-10秒。蘇州硅膠涂膠廠家機(jī)械涂膠是一種高效的涂膠方法,適用于大面積的粘接。
2.含再生膠通用涂膠參考配方天然橡膠 100份,再生膠 150份,硫化油膏 100份,硬脂酸 3份,氧化鋅 7.5份,碳酸鈣 300份,立德粉 20份,硫磺 2.5份,促進(jìn)劑DM 0.5份;合計(jì):683.5份。3.配合劑在通用涂膠中的作用橡膠促進(jìn)劑DM在膠料中易分散、不污染,硫磺硫化膠配合DM涂膠耐老化性能更好。碳酸鈣在通用涂膠中具有填充、增加涂膠粘度的作用,多選擇力度小的精細(xì)HYL13Y4Y2Y-MXF碳酸鈣,產(chǎn)品質(zhì)地更加細(xì)膩均勻。硫化油膏在通用涂膠制備中可以增加天然橡膠、再生膠的可塑性、流動性和粘著性,促進(jìn)碳酸鈣等粉狀配合劑均勻分散,改善通用涂膠耐低溫性;在實(shí)際生產(chǎn)中,棕色硫化油膏更常見。
三、涂膠步驟1.清洗螺絲和孔洞涂膠初期的表現(xiàn)與工件和螺絲清潔有關(guān),因此,首先要確保螺絲和孔洞的清潔程度。2.涂膠劑涂布將適量的涂膠劑涂抹在螺絲的螺紋上。特別是小直徑的螺絲要注意,涂布必須均勻,才能確保其緊固效果。3.緊固螺絲在涂好膠水的螺栓安裝前,先讓膠水在螺栓孔內(nèi)干燥,直至涂層底部變干。緊固螺絲時(shí)必須適度加力,以便使膠水與兩側(cè)表面黏合。四、應(yīng)用范圍涂膠加工多數(shù)應(yīng)用在一些需要長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的設(shè)備和機(jī)器上,如飛機(jī)、汽車、裝備、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域。在這些行業(yè)中,需注意松動和震動所帶來的危險(xiǎn),因此需要采取有效的鎖緊措施??傊?,螺絲防松涂膠加工是一種簡單、實(shí)用的方法,可以減小螺絲松動帶來的風(fēng)險(xiǎn),也可以保證設(shè)備的正常運(yùn)行。不過需要注意的是,涂膠的質(zhì)量與涂膠工藝對于防松效果有著至關(guān)重要的影響,需要嚴(yán)格按照操作規(guī)程進(jìn)行,并及時(shí)更換使用膠水的日期,以保證其鎖緊效果。常用的涂膠質(zhì)量檢測方法包括拉伸試驗(yàn)、剪切試驗(yàn)、剝離試驗(yàn)等。
邊緣殘留解決——PIcoating時(shí)EBR優(yōu)化由于顯影后存在殘留部分為wafer邊緣位置,為證實(shí)實(shí)際造成殘留的工序,特做了如下實(shí)驗(yàn),在晶圓上涂覆PI材料,經(jīng)烘烤之后,直接去用顯影液沖洗,因該材料為非感光負(fù)性材料,故可以直接被顯影液沖洗干凈,實(shí)驗(yàn)證實(shí),聚酰亞胺材料涂覆完成后,邊緣無法被顯影液沖洗干凈,存在膠殘留,可以認(rèn)定該殘留為聚酰亞胺材料涂覆(PIcoating)時(shí)影響。觀察PIcoating后晶圓表面,發(fā)現(xiàn)晶圓邊緣存在輕微膠膜不整齊區(qū)域(微鋸齒狀),懷疑由于聚酰亞胺材料的高黏度原因,在光膠甩開的時(shí)候邊緣會存在輕微拉絲,在旋轉(zhuǎn)驟停后,膠絲存在回縮現(xiàn)象,造成邊緣不整齊,該區(qū)域即為殘留風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域。為解決該問題,優(yōu)化PIcoating。涂膠時(shí)要注意膠水的選擇,不同的膠水適用于不同的材料和環(huán)境。緊固件防松涂膠廠家
涂膠的應(yīng)用也面臨著一些挑戰(zhàn)。緊固件防松涂膠廠家
螺絲防松涂膠加工是一種常見的防松措施。螺絲在使用過程中容易發(fā)生松動,給設(shè)備的穩(wěn)定性和安全性帶來威脅。因此,對于一些需要長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的機(jī)器和設(shè)備,需要采取措施進(jìn)行防松。其中常用的方法就是涂膠加工。接下來,本文將從涂膠的原理、分類、涂膠步驟以及應(yīng)用等方面進(jìn)行分析。
一、涂膠原理涂膠加工是指在螺絲表面涂抹一層粘性物質(zhì),如膠水、膠墊等,來增加螺絲的摩擦力。涂膠后的螺絲不僅能夠增強(qiáng)其在裝配后的緊固度,而且能夠有效地防止螺絲在振動、受力等情況下松動。涂膠的原理主要有以下兩點(diǎn):1.增加摩擦力涂膠后,由于膠層具有一定的黏性,螺絲的直接接觸面積會增加,從而增大了螺絲與工件之間的摩擦力,使得螺絲更容易鎖緊。2.吸收沖擊當(dāng)機(jī)器或設(shè)備運(yùn)行時(shí),會產(chǎn)生很大的沖擊力,這些沖擊力會對螺絲產(chǎn)生一定的松動,從而影響設(shè)備的正常運(yùn)行。而涂膠工藝可以通過膠層的彈性來吸收沖擊,從而保證螺絲的緊固度。 緊固件防松涂膠廠家
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