國際半導體技術(shù)發(fā)展趨勢(ITRS)預測未來45納米節(jié)點上的高性能晶體管的有效柵氧厚度(EOT)將小于1.0納米。隨著有效柵氧厚度(EOT)小于2.0納米,多晶硅柵電極的耗盡效應將成為一道擺在工程師面前難以逾越的鴻溝,于是生產(chǎn)中使用幾乎完全沒有耗盡效應的金屬柵電極將是大勢所趨。而且值得一提的是當有效柵氧厚度(EOT)進入這一范圍后,柵氧與硅之間交接面的質(zhì)量將會明顯影響器件的性能。另外,將高介電常數(shù)絕緣材料和兩種不同功函數(shù)的金屬柵電極引入nMOS和pMOS晶體管的制造流程是非常復雜的。本文針對當今業(yè)界在生產(chǎn)雙金屬柵結(jié)構(gòu)CMOS器件中使用的高介電常數(shù)絕緣材料表面預處理工藝及金屬濕法刻蝕技術(shù)等領(lǐng)域取得的成就和存在的問題進行了總結(jié)與展望四氯化鉿里面的鋯含量可以做到多少 ?海南高純四氯化鉿MSDS
制備方法氯化鉿的制備裝置采用如圖所示裝置進行合成。反應管為內(nèi)徑18mm、長50cm的硼硅酸玻璃管,其一端為陽型磨口接頭,將10處拉細,在距10處2.5cm處裝入硼硅酸玻璃棉。把5.0~15.0g的二氧化鉿裝入管內(nèi),反應管置于電爐9(長度約20cm)的中心。隨后,使另-端在8處與活塞7熔接。從6處將50~100mL的干燥四氯化碳裝入容積為300mL的燒瓶5中,然后將6封閉。關(guān)閉活塞4,將活塞7旋至適當?shù)奈恢?,通入氮氣。使氮氣先?jīng)過五氧化二磷干燥塔1、2及安全阱3以后,再進入反應管。若將電爐加熱到300~400℃,由于所含濕氣被蒸出,可用火焰將濕氣從反應管端逐出。然后,將陰型干燥管與反應管的一端11的陽型接頭接合在一起。在12處裝入硼硅酸玻璃棉,在12與13之間裝入氯化鈣。在磨口連接處涂以硅酮潤滑脂。充分擠壓使該處密封良好。按好干燥管以后,在干燥氮氣中將試樣加熱一夜。隨后將裝有濃氫氧化鈉水溶液的瓶14與干燥管連接起來,開始合成反應。注意,因為從14出來的氣體中也會含有處理不盡的光氣,所以必須導入通風櫥內(nèi)進行排氣。海南高純四氯化鉿MSDS四氯化鉿的溶解度高么?
它們具有兩性,難溶于堿易溶于酸。當將氧化物強熱,即變?yōu)殡y熔物,它們不溶于酸(氫氟酸除外)和堿。難熔二氧化物用作高溫絕熱體。ZrO2由于生成熱和燃燒熱很大,可制照相用閃光燈炮,導火劑,還可用作爐襯,制造坩堝。ZrO2是高質(zhì)量的耐火材料,優(yōu)良高溫陶瓷。二氧化鋯水合物ZrO2·xH2O可由氯化氧鋯水解制得:ZrOCl2+(x+1)H2O→ZrO2·xH2O+2HCl得到的二氧化鋯水合物ZrO2·xH2O是一種白色凝膠,含水量不定。也稱為α型鋯酸,它可溶解在稀酸中,并容易生成溶膠,即被所吸附的酸或堿所膠溶。在加熱下沉淀下來的叫做β型鋯酸。它具較少的水含量,并難溶于水中,這些情況和鈦酸的兩種構(gòu)型相似。二氧化鋯水合物ZrO2·xH2O既能與酸反應呈堿性,又能與堿作用,呈現(xiàn)弱酸性,它的酸性比TiO2·xH2O更弱。它和強堿熔融時,生成晶狀的偏鋯酸鹽M12ZrO3,同時也能生成正鋯酸鹽M14ZrO4。堿金屬鋯酸鹽在水中的溶解度很小,和其它的弱酸鹽一樣,它們在水溶液中也容易水解:Na2ZrO3+2H2O→ZrO(OH)2+2NaOH在濃的強堿中加入鋯鹽,并不生成組成固定的鋯酸鹽,所得到的是吸附了堿金屬氫氧化物的二氧化鋯水合物沉淀。
美國、歐洲、日本等發(fā)達國家和地區(qū)十分重視新材料技術(shù)的發(fā)展,都把發(fā)展新材料作為科技發(fā)展戰(zhàn)略的重要組成部分,在制定國家科技與產(chǎn)業(yè)發(fā)展計劃時,將新材料技術(shù)列為21世紀優(yōu)先發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)之一,予以重點發(fā)展,以保持其經(jīng)濟和科技的地位。中國的新材料科技及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,在國家的大力關(guān)心和支持下,也取得了重大的進展和成績,為國民經(jīng)濟和社會發(fā)展提供了強有力的支撐。為研究我國新材料領(lǐng)域的發(fā)展現(xiàn)狀和態(tài)勢,討論了新材料包括超導材料、金屬材料、非金屬材料、高分子材料和復合材料的理論研究、制備工藝、產(chǎn)品應用、技術(shù)裝備等方面的內(nèi)容四氯化鉿是什么,有什么作用?
新材料按材料的屬性劃分,有金屬材料、無機非金屬材料(如陶瓷、砷化鎵半導體等)、有機高分子材料、先進復合材料四大類。按材料的使用性能劃分,有結(jié)構(gòu)材料和功能材料。結(jié)構(gòu)材料主要是利用材料的力學和理化性能,以滿足**度、高剛度、高硬度、耐高溫、耐磨、耐蝕、抗輻照等性能要求;功能材料主要是利用材料具有的電、磁、聲、光熱等效應,以實現(xiàn)某種功能,如半導體材料、磁性材料、光敏材料、熱敏材料、隱身材料和制造氫彈的核材料等。新材料在**建設(shè)上作用重大。例如,超純硅、砷化鎵研制成功,導致大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的誕生,使計算機運算速度從每秒幾十萬次提高到每秒百億次以上;航空發(fā)動機材料的工作溫度每提高100℃,推力可增大24%;隱身材料能吸收電磁波或降低武器裝備的紅外輻射,使敵方探測系統(tǒng)難以發(fā)現(xiàn),等等。新材料技術(shù)被稱為“發(fā)明之母”和“產(chǎn)業(yè)糧食”。四氯化鉿四氯化鉿多錢錢,價格貴嗎?海南制造四氯化鉿CAS#
四氯化鉿中氧含量要如何測定?海南高純四氯化鉿MSDS
所制備的HfC陶瓷先驅(qū)體具有制備工藝簡單、溶解性能優(yōu)良、陶瓷產(chǎn)物性能好的優(yōu)點,在聚合物浸漬裂解工藝制備超高溫陶瓷基復合材料上有很好的應用前景本文通過先驅(qū)體轉(zhuǎn)化法,以四氯化鉿,乙酰**,乙醇,1,4-丁二醇為原料合成了HfC陶瓷先驅(qū)體。采用元素分析、紅外光譜、核磁共振、TGA等對先驅(qū)體的組成、結(jié)構(gòu)及性能進行了表征。結(jié)果表明:先驅(qū)體是一種主鏈含Hf-O鍵和-C4H8-鍵,側(cè)鏈含乙酰**的線性聚合物。先驅(qū)體1000℃陶瓷產(chǎn)率為53.1wt%。采用元素分析、紅外光譜、XRD、SEM等對先驅(qū)體的無機化過程及陶瓷產(chǎn)物的組成、結(jié)構(gòu)與性能進行了表征。結(jié)果表明:1000℃時陶瓷產(chǎn)物主要為HfO2,1400℃逐漸轉(zhuǎn)化為HfC陶瓷。。四氯化鉿海南高純四氯化鉿MSDS
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