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下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。合肥真萍與您分享存儲柜發(fā)揮的重要作用?;瘜W(xué)品存儲柜銷售價(jià)格
超高真空烘箱廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項(xiàng)或同時(shí)作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的降溫速率。 1.升溫時(shí)間:①常壓時(shí):90min(常溫~ +260℃) ②低氣壓0.0001pa時(shí):180min(常溫~ +260℃) 2.降溫時(shí)間:3℃~10℃/min(260℃~ 120℃), 1℃~5℃/min(120℃~ 常溫℃) 3.降溫方式:水冷降溫 4.試驗(yàn)箱承壓方式:采用內(nèi)承壓方式 5.壓力范圍:常壓~0.0001Pa廈門存儲柜價(jià)格存儲柜使用時(shí)的注意事項(xiàng)。
它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空干燥箱的特點(diǎn)。1.長方體工作室,增加有效容積,微電腦溫度控制器,精確控溫。2.雙層玻璃視窗觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3.箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。4.工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5.儲存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行,所以不會氧化。6.真空程序分段控制,該型號機(jī)型,抽真空過程可提供程序化編程,根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時(shí)間值??蓪?shí)現(xiàn)多段抽真空和保壓編程。
本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親 水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。 增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍告訴您什么是存儲柜?
真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦倪^濾系統(tǒng)。1.EBM電子式EC馬達(dá)控制無塵室FFU。2.鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。3.特殊導(dǎo)流風(fēng)道設(shè)計(jì),風(fēng)壓平均,可有效提供風(fēng)量,降低噪音。4.電路板控制模塊,提供安全保護(hù)裝置,運(yùn)轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點(diǎn)輸出。5.無段式風(fēng)量調(diào)速器可任意調(diào)整風(fēng)量大小。6.濾網(wǎng)ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過濾效果。7.電力規(guī)格:單相220V50Hz0.95A,輸出功率150W。存儲柜哪家便宜?合肥真萍告訴您。寧波存儲柜報(bào)價(jià)
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電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機(jī)械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.工作室與外箱之間的保溫材質(zhì)是優(yōu)良超細(xì)玻璃纖維保溫棉,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從內(nèi)到外有內(nèi)腔、外殼、超細(xì)玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽結(jié)構(gòu)獨(dú)特,極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。2.門與門框之間采用高性能密封材料及獨(dú)特的橡膠密封結(jié)構(gòu),密封、耐高溫性、抗老化性好。3.箱內(nèi)風(fēng)道采用雙循環(huán)系統(tǒng),不銹鋼多翼式離心風(fēng)輪及循環(huán)風(fēng)道組成,置于箱體背部的電加熱器熱量通過側(cè)面風(fēng)道向前排出,經(jīng)過干燥物后再被背部的離心風(fēng)輪吸入,形成合理的風(fēng)道,能使熱氣充分對流,使箱內(nèi)溫度相當(dāng)大限度達(dá)到均勻。提高了空氣流量加熱的能力,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。4.加熱器用不銹鋼電加熱管,升溫快,壽命長?;瘜W(xué)品存儲柜銷售價(jià)格