本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍告訴您什么是網(wǎng)帶爐?浙江大型網(wǎng)帶爐
連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐,是指連續(xù)地或間歇地裝料,工件在爐內(nèi)不斷移動(dòng),完成加熱、保溫,有時(shí)包括冷卻在內(nèi)全過程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機(jī)械機(jī)構(gòu)連續(xù)地或間歇地進(jìn)行裝料和出料,連續(xù)順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高勞動(dòng)生產(chǎn)率和改善勞動(dòng)條件。下面為大家介紹一下連續(xù)爐的技術(shù)參數(shù)。1.送風(fēng)方式:送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng);2.溫度范圍:RT+30℃~300℃;3.溫度精度:±1℃4.溫度均勻性:±1℃5.溫控裝置:富士智能PID溫控儀,LED數(shù)字顯示,PID自動(dòng)演算及定時(shí);6.材質(zhì):內(nèi)膽不銹鋼,外箱體鋼板靜電噴塑;7.傳送方式:鏈桿、鏈網(wǎng)、自動(dòng)錕輪,相當(dāng)強(qiáng)承重;8.復(fù)合式電加熱器;9.保護(hù)裝置:漏電保護(hù)、斷路保護(hù)、電機(jī)過載保護(hù)、接地保護(hù)、非正常運(yùn)行情況下蜂鳴報(bào)警。江蘇網(wǎng)帶爐網(wǎng)帶爐的結(jié)構(gòu)如何組成?
下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。 一、爐體配置 爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來石材料砌筑而成 有效尺寸:φ 300×320mm(D×H) 設(shè)備重量:約 1200Kg 外觀材料顏色:掛板采用高溫噴塑,顏色為江淮藍(lán) 外形尺寸:W1300×H2200×D1510 (mm),不含(囪、指示燈) 二、熱工系統(tǒng) 1.額定溫度 :1550℃ 2.限制溫度 :1600℃ 3.加熱元件: U 型硅鉬棒 4.加熱功率 :16kW 5.空爐保溫功率 ≤8kW 6.溫區(qū)個(gè)數(shù) :1 個(gè) 7.控溫點(diǎn)數(shù) :1 點(diǎn) 8.熱偶 :B 分度 9.程序**精度 :±2℃(大于 600℃,升溫速率≤3℃/min) 10.控溫穩(wěn)定度 :±1℃(恒溫平臺(tái)) 11.爐膛溫度均勻度: ±4℃(恒溫 1500℃,2h)
真空烘箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。1.長方體工作室,使有效容積達(dá)到相當(dāng)大,微電腦溫度控制器,精確控溫。2.鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3.箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度4.工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5.儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行,所以不會(huì)氧化。6.相當(dāng)短加熱時(shí)間,與傳統(tǒng)干燥烘箱比加熱時(shí)間減少50%以上。真空烘箱因?yàn)槭怯呻娏μ峁崮?,而濕的物品是?huì)導(dǎo)電的,故在使用上宜小心不要有漏電的現(xiàn)象發(fā)生,故一般烘箱都要接地使用,以保安全。若沒有地線也要確認(rèn)烘箱沒有漏電的現(xiàn)象;若有輕微的漏電現(xiàn)象,可試著將插座拔起后將插腳以相反方向再插入,若沒有漏電現(xiàn)象可小心使用,若仍有漏電現(xiàn)象則應(yīng)立即停用。上海哪家網(wǎng)帶爐值得信賴?
無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技無氧干燥箱。一、技術(shù)指標(biāo)與基本配置:1.使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;2.爐膛腔數(shù):2個(gè),上下布置;3.爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度4.溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;二、氧含量(配氧分析儀):1.高溫狀態(tài)氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.控溫穩(wěn)定度:±1℃;2.3溫度均勻度:±2%℃(260℃平臺(tái));上海網(wǎng)帶爐的發(fā)展趨勢。福建網(wǎng)帶爐
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恒溫恒濕試驗(yàn)箱是航空、汽車、家電、科研等領(lǐng)域必備的檢測設(shè)備,主要用于測試電子、電工及其它產(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫、低溫、交變濕熱度或恒定試驗(yàn)的溫度環(huán)境變化參數(shù)及性能。該系列產(chǎn)品適用于航空航天產(chǎn)品、信息電子儀器儀表、材料、電工、電子產(chǎn)品、各種電子元?dú)饧诟叩蜏鼗驖駸岘h(huán)境下、檢驗(yàn)其各項(xiàng)性能指標(biāo)。下面為大家介紹一下真萍科技的恒溫恒濕試驗(yàn)箱的構(gòu)造特點(diǎn)。 在箱體構(gòu)造方面,恒溫恒濕箱是采用數(shù)控機(jī)床加工成型,造型美觀大方、新穎,并采用無反作用把手,操作簡便。工作室采用進(jìn)口鏡面板不銹鋼制作而成,箱體外膽采用A3鋼板噴塑。箱體外與內(nèi)膽之間填充超細(xì)保溫棉,隔溫效果很好,有效的降低試驗(yàn)箱內(nèi)的溫度波動(dòng)率,再配合抗老化硅橡膠密封條的嚴(yán)實(shí)密封,使箱體無霧氣泄漏現(xiàn)象產(chǎn)生。由于試驗(yàn)箱內(nèi)的環(huán)境惡劣,為觀察清晰試驗(yàn)箱內(nèi)的情況,合肥真萍在觀察窗方面是選用多層鋼化玻璃制作,并且在觀察窗設(shè)置單獨(dú)的照明燈和霧刷,保持良好的觀察視野,隨時(shí)監(jiān)控試驗(yàn)情況。當(dāng)然,為采集試驗(yàn)數(shù)據(jù),箱體專門配置了直徑50mm的測試孔,可連接記錄儀,打印機(jī)和電腦浙江大型網(wǎng)帶爐